TB92 2004064437 三维形貌测量中自动调焦系统的设计=Design on an automatic focusing system for 3-D topography measurement[刊,中]/童凯(燕山大学.河北,秦皇岛(066004)),任锐…∥光电工程.—2004,31(3).—56-59 在相移干涉显微镜...TB92 2004064437 三维形貌测量中自动调焦系统的设计=Design on an automatic focusing system for 3-D topography measurement[刊,中]/童凯(燕山大学.河北,秦皇岛(066004)),任锐…∥光电工程.—2004,31(3).—56-59 在相移干涉显微镜中增加了自动调焦系统,使其快速获取高清晰干涉图像,提高了三维形貌的测量速度和测量精度。调焦系统采用图像自动调焦方法,分别以图像标准差函数和图像最大熵函数作为粗调函数和精调函数。实验表明本系统自动调焦范围扩大到士150μm。展开更多
文摘TB92 2004064437 三维形貌测量中自动调焦系统的设计=Design on an automatic focusing system for 3-D topography measurement[刊,中]/童凯(燕山大学.河北,秦皇岛(066004)),任锐…∥光电工程.—2004,31(3).—56-59 在相移干涉显微镜中增加了自动调焦系统,使其快速获取高清晰干涉图像,提高了三维形貌的测量速度和测量精度。调焦系统采用图像自动调焦方法,分别以图像标准差函数和图像最大熵函数作为粗调函数和精调函数。实验表明本系统自动调焦范围扩大到士150μm。
