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基于伺服自动聚焦的精密激光位移传感器研究 被引量:2
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作者 解旭辉 王芸 李婷 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第3期212-215,共4页
研究开发了一种低成本、高精度的非接触式激光微位移传感器。该传感器采用光驱内激光头作为探测元件,利用其自动聚焦原理开发了S曲线法,同时提出了一种新的测量方法———自动搜寻法,将这两种方法相结合,用来测量复杂物体表面的面形,既... 研究开发了一种低成本、高精度的非接触式激光微位移传感器。该传感器采用光驱内激光头作为探测元件,利用其自动聚焦原理开发了S曲线法,同时提出了一种新的测量方法———自动搜寻法,将这两种方法相结合,用来测量复杂物体表面的面形,既可进行大量程的测量,也可进行较小量程内高分辨率的测量。大量程(1.8mm)内分辨率为2μm,在较小量程(200μm)内可达0.2μm。 展开更多
关键词 计量学 微位移传感器 光驱激光头 自动聚焦探测 自动搜寻法 S曲线法
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