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基于伺服自动聚焦的精密激光位移传感器研究
被引量:
2
1
作者
解旭辉
王芸
李婷
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2006年第3期212-215,共4页
研究开发了一种低成本、高精度的非接触式激光微位移传感器。该传感器采用光驱内激光头作为探测元件,利用其自动聚焦原理开发了S曲线法,同时提出了一种新的测量方法———自动搜寻法,将这两种方法相结合,用来测量复杂物体表面的面形,既...
研究开发了一种低成本、高精度的非接触式激光微位移传感器。该传感器采用光驱内激光头作为探测元件,利用其自动聚焦原理开发了S曲线法,同时提出了一种新的测量方法———自动搜寻法,将这两种方法相结合,用来测量复杂物体表面的面形,既可进行大量程的测量,也可进行较小量程内高分辨率的测量。大量程(1.8mm)内分辨率为2μm,在较小量程(200μm)内可达0.2μm。
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关键词
计量学
微位移传感器
光驱激光头
自动聚焦探测
自动
搜寻法
S曲线法
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职称材料
题名
基于伺服自动聚焦的精密激光位移传感器研究
被引量:
2
1
作者
解旭辉
王芸
李婷
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院机电工程系
出处
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2006年第3期212-215,共4页
文摘
研究开发了一种低成本、高精度的非接触式激光微位移传感器。该传感器采用光驱内激光头作为探测元件,利用其自动聚焦原理开发了S曲线法,同时提出了一种新的测量方法———自动搜寻法,将这两种方法相结合,用来测量复杂物体表面的面形,既可进行大量程的测量,也可进行较小量程内高分辨率的测量。大量程(1.8mm)内分辨率为2μm,在较小量程(200μm)内可达0.2μm。
关键词
计量学
微位移传感器
光驱激光头
自动聚焦探测
自动
搜寻法
S曲线法
Keywords
Metrology
Micro-displacement sensor
Laser pick-up head
Auto-focusing detecting
Auto-searching method
S-curve method
分类号
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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作者
出处
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1
基于伺服自动聚焦的精密激光位移传感器研究
解旭辉
王芸
李婷
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2006
2
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