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基于CPN Tools的可重入自动组合设备的建模与仿真被引量：1: 1; 作者张梅陈广森游佳《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期2927-2934,2941,共9页; 提出将全自动免疫分析检测设备看作一种可重入的双臂自动组合设备。采用时间着色的Petri网(TCPN)对该类检测设备的检测过程进行建模,并利用CPN tools评价模型性能及仿真实验。为优化检测过程,设计了DPC动态投料策略和LSPON、FIFO调度策... 展开更多; 关键词可重入自动组合设备调度 PETRI网 CPN TOOLS; 在线阅读下载PDF 职称材料

晶圆制造自动化组合设备的调度问题研究被引量：13: 2; 作者潘春荣伍乃骐《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2009年第3期522-528,共7页; 晶圆制造的加工工艺日趋复杂,存在严格的逗留时间约束,无法解决自动化组合设备的调度问题,尤其对于重入加工、作业时间的随机波动及多自动化组合设备等复杂的加工过程更是如此。通过分析晶圆制造自动化组合设备调度的难点和局限性以及... 展开更多; 关键词自动化组合设备晶圆制造调度 PETRI网建模; 在线阅读下载PDF 职称材料

虚拟晶圆制造双臂自动组合装置的实现被引量：3: 3; 作者李飞伍乃骐《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第23期2871-2875,共5页; 以eM-Plant系统仿真软件为工具,构建出一个虚拟的双臂自动组合装置。该装置克服了传统解析法的缺点,通过仿真模型来描述与分析半导体加工装置的调度问题,是研究人员研究自动组合装置控制问题的有效手段,也是半导体制造工程师验证生产调... 展开更多; 关键词晶圆制造自动组合设备仿真 EM-PLANT; 在线阅读下载PDF 职称材料

晶圆重入加工的组合设备初始暂态建模和分析被引量：4: 4; 作者潘春荣伍乃骐《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2015年第8期2072-2078,共7页; 随着晶圆直径的增大以及小批量、多批次加工,生产过程频繁地在暂态和稳态之间切换。为了满足大晶圆的加工需求和提高组合设备的加工性能,研究具有重入的晶圆加工组合设备的初始暂态具有重要意义。此外,组合设备除机械手外没有缓冲,使系... 展开更多; 关键词自动化组合设备重入加工建模与仿真 EM-PLANT; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于CPN Tools的可重入自动组合设备的建模与仿真被引量：1: 1; 作者张梅陈广森游佳; 机构华南理工大学自动化科学与工程学院华南理工大学精密电子制造装备教育部工程研究中心; 出处《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期2927-2934,2941,共9页; 基金中央高校基本科研业务费专项资金资助(2014zz0033 x2zd-D2153910) 广州市科技重大专项计划-产学研专项资助(2012Y5-00004); 文摘提出将全自动免疫分析检测设备看作一种可重入的双臂自动组合设备。采用时间着色的Petri网(TCPN)对该类检测设备的检测过程进行建模,并利用CPN tools评价模型性能及仿真实验。为优化检测过程,设计了DPC动态投料策略和LSPON、FIFO调度策略,并综合两类策略提出复合控制策略对TCPN模型进行调度求解。针对不同规模的批量检测项目实例在CPN tools平台上结合提出的不同策略进行调度。仿真结果验证了TCPN模型与所提出策略相结合调度方法的合理性。; 关键词可重入自动组合设备调度 PETRI网 CPN TOOLS; Keywords reentrant automatic assembly equipment modeling and scheduling Petri nets CPN tool; 分类号 TP274 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TP301.1 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名晶圆制造自动化组合设备的调度问题研究被引量：13: 2; 作者潘春荣伍乃骐; 机构广东工业大学机电工程学院汕头大学工学院; 出处《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2009年第3期522-528,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(60574066) 广东省科技计划项目(2008B010400015)~~; 文摘晶圆制造的加工工艺日趋复杂,存在严格的逗留时间约束,无法解决自动化组合设备的调度问题,尤其对于重入加工、作业时间的随机波动及多自动化组合设备等复杂的加工过程更是如此。通过分析晶圆制造自动化组合设备调度的难点和局限性以及现有的调度方法及其局限性,提出了"仿真+启发式+优化"的方法,可能是有效解决组合设备调度问题的途径。; 关键词自动化组合设备晶圆制造调度 PETRI网建模; Keywords cluster tools wafer fabrication scheduling Petri net modeling; 分类号 TP278 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名虚拟晶圆制造双臂自动组合装置的实现被引量：3: 3; 作者李飞伍乃骐; 机构广东工业大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第23期2871-2875,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(60574066); 文摘以eM-Plant系统仿真软件为工具,构建出一个虚拟的双臂自动组合装置。该装置克服了传统解析法的缺点,通过仿真模型来描述与分析半导体加工装置的调度问题,是研究人员研究自动组合装置控制问题的有效手段,也是半导体制造工程师验证生产调度的可行性的仿真平台。; 关键词晶圆制造自动组合设备仿真 EM-PLANT; Keywords wafer fabrication cluster tool simulation eM-Plant; 分类号 TP206 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名晶圆重入加工的组合设备初始暂态建模和分析被引量：4: 4; 作者潘春荣伍乃骐; 机构江西理工大学机电工程学院广东工业大学机电工程学院; 出处《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2015年第8期2072-2078,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(71361014) 江西省自然科学基金资助项目(20121512040080) 江西省教育厅资助项目(GJJ13418)~~; 文摘随着晶圆直径的增大以及小批量、多批次加工,生产过程频繁地在暂态和稳态之间切换。为了满足大晶圆的加工需求和提高组合设备的加工性能,研究具有重入的晶圆加工组合设备的初始暂态具有重要意义。此外,组合设备除机械手外没有缓冲,使系统的调度和控制变得更加困难。基于eM-Plant仿真平台和优化算法,对重入加工双臂组合设备的初始暂态进行建模和仿真,分析了重入加工的初始暂态至稳态的过渡过程。采用仿真例子验证了该仿真系统的有效性,为组合设备重入加工的优化控制提供了借鉴。; 关键词自动化组合设备重入加工建模与仿真 EM-PLANT; Keywords cluster tool revisiting processing modeling and simulation eM-Plant; 分类号 TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于CPN Tools的可重入自动组合设备的建模与仿真	张梅陈广森游佳	《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心	2015	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	晶圆制造自动化组合设备的调度问题研究	潘春荣伍乃骐	《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心	2009	13	在线阅读下载PDF 职称材料
3	虚拟晶圆制造双臂自动组合装置的实现	李飞伍乃骐	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	晶圆重入加工的组合设备初始暂态建模和分析	潘春荣伍乃骐	《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心	2015	4	在线阅读下载PDF 职称材料