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相位光栅自动对准技术研究
被引量：
1
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作者
庞亚军
《电子工业专用设备》
1996年第3期8-14,共7页
阐述了相位光栅的成象原理，以及在分步曝光机关键技术自动对准上的应用，并对自动对准光路系统和电气控制系统进行了具体分析和研究。
关键词
相位光栅
空间滤波
曝光机
光刻
自动对准技术
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职称材料
题名
相位光栅自动对准技术研究
被引量：
1
1
作者
庞亚军
机构
电子工业部第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
1996年第3期8-14,共7页
文摘
阐述了相位光栅的成象原理，以及在分步曝光机关键技术自动对准上的应用，并对自动对准光路系统和电气控制系统进行了具体分析和研究。
关键词
相位光栅
空间滤波
曝光机
光刻
自动对准技术
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
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作者
出处
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1
相位光栅自动对准技术研究
庞亚军
《电子工业专用设备》
1996
1
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