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半导体制造设备自动化作业系统设计研究
1
作者
刘乐
《通讯世界》
2024年第12期31-33,共3页
随着半导体制造工艺的不断升级和复杂化,传统人工操作模式及低效自动化系统已经无法满足高精度、高效率和大规模生产需求。为满足当前半导体制造过程中对高可靠性、灵活性及智能化设备控制的迫切需求,分析半导体制造设备的类型以及自动...
随着半导体制造工艺的不断升级和复杂化,传统人工操作模式及低效自动化系统已经无法满足高精度、高效率和大规模生产需求。为满足当前半导体制造过程中对高可靠性、灵活性及智能化设备控制的迫切需求,分析半导体制造设备的类型以及自动化作业系统的应用优势,提出模块化的设计思路,将半导体制造设备自动化作业系统划分为4个核心模块,提升半导体制造设备的可维护性、扩展性和运行效率,以期为相关人员提供参考。
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关键词
半导体制造设备
自动化作业系统
模块化
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职称材料
题名
半导体制造设备自动化作业系统设计研究
1
作者
刘乐
机构
国家知识产权局专利局半导体节能器件处
出处
《通讯世界》
2024年第12期31-33,共3页
文摘
随着半导体制造工艺的不断升级和复杂化,传统人工操作模式及低效自动化系统已经无法满足高精度、高效率和大规模生产需求。为满足当前半导体制造过程中对高可靠性、灵活性及智能化设备控制的迫切需求,分析半导体制造设备的类型以及自动化作业系统的应用优势,提出模块化的设计思路,将半导体制造设备自动化作业系统划分为4个核心模块,提升半导体制造设备的可维护性、扩展性和运行效率,以期为相关人员提供参考。
关键词
半导体制造设备
自动化作业系统
模块化
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
半导体制造设备自动化作业系统设计研究
刘乐
《通讯世界》
2024
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