自加热化学气相法制备连续碳纤维增强碳化硅复合材料 被引量：9

1

作者 李俊红 朱时珍 +1 位作者 于晓东 苏铁健 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期29-32,共4页

通过自加热化学气相渗积法制备了 Cf/ Si C复合材料 ,对其力学性能进行了测试与分析 ,运用 SEM对复合材料显微结构和断口形貌进行了分析。研究表明 :自加热化学气相渗积法具有较快的渗积速率 ;气体流量的适度增加可改善复合材料的性能 ... 通过自加热化学气相渗积法制备了 Cf/ Si C复合材料 ,对其力学性能进行了测试与分析 ,运用 SEM对复合材料显微结构和断口形貌进行了分析。研究表明 :自加热化学气相渗积法具有较快的渗积速率 ;气体流量的适度增加可改善复合材料的性能 ;碳涂层的厚度对复合材料的力学性能有较大的影响 ,适合的涂层厚度在 0 .35～ 0 .5 展开更多

关键词 碳化硅复合材料 制备 碳纤维增强 自加热化学气相渗积法 CF/SIC复合材料 力学性能 显微结构

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快速化学气相渗积制备碳/碳复合材料的工艺研究 被引量：6

2

作者 朱时珍 杨勇 于晓东 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期342-345,共4页

研究了一种快速制备碳 /碳复合材料的新工艺—自加热化学气相渗积法 (SHCVI)。该工艺沉积时间 10h ,复合材料密度可达到 1 63g/cm3。通过测定材料的体积密度及力学性能 ,分析了温度制度、反应气体流量、气体压力对复合材料致密度以及复... 研究了一种快速制备碳 /碳复合材料的新工艺—自加热化学气相渗积法 (SHCVI)。该工艺沉积时间 10h ,复合材料密度可达到 1 63g/cm3。通过测定材料的体积密度及力学性能 ,分析了温度制度、反应气体流量、气体压力对复合材料致密度以及复合材料力学性能的影响。采用扫描电镜观察复合材料断口形貌 。 展开更多

关键词 快速化学气相渗积 制备 碳/碳复合材料 工艺 致密度 力学性能

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光加热低压金属有机化学气相淀积生长AlGaN

3

作者 周玉刚 李卫平 +7 位作者 沈波 陈鹏 陈志忠 臧岚 张荣 顾书林 施毅 郑有翀 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2000年第8期34-36,共3页

采用光加热低压金属有机化学气相淀积方法成功地制备出高质量的、组分均匀的AlGaN外延层。结果表明 ,铝和镓的并入效率基本相等 ,这有别于其他研究报道。此外 ,建立了铝相对镓的并入效率与气相预反应之间的关系模型 ,它表明 ,光加热对... 采用光加热低压金属有机化学气相淀积方法成功地制备出高质量的、组分均匀的AlGaN外延层。结果表明 ,铝和镓的并入效率基本相等 ,这有别于其他研究报道。此外 ,建立了铝相对镓的并入效率与气相预反应之间的关系模型 ,它表明 ,光加热对预反应有较大的影响。结合GaN的生长可以看出 ,光加热有利于抑制预反应 ,从而有利于提高样品质量和铝组分的均匀性。 展开更多

关键词 ALGAN GAN 金属有机化学气相淀积 气相寄生反应 光加热

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化学气相渗积压力对渗积速率和热解炭组织结构的影响(英文)

4

作者 张云峰 罗瑞盈 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期42-48,共7页

采用天然气为前躯体在不同压力下使用化学气相渗积法制备炭/炭复合材料。利用甲烷分解热力学与沉积动力学研究了渗积压力对渗积速率和热解炭组织结构的影响。采用偏光显微镜观察热解炭的组织结构。结果表明:随着渗积压力的增加,初始渗... 采用天然气为前躯体在不同压力下使用化学气相渗积法制备炭/炭复合材料。利用甲烷分解热力学与沉积动力学研究了渗积压力对渗积速率和热解炭组织结构的影响。采用偏光显微镜观察热解炭的组织结构。结果表明:随着渗积压力的增加,初始渗积速率增大;但在渗积后期,渗积速率随着渗积压力的增大而降低,导致在高渗积压力下相同时间制备样品的最终密度降低。热解炭组织结构对渗积压力具有很强的依赖性。在低压(1 kPa)下渗积得到的热解炭基体全部为粗糙层结构。在适中的压力(3kPa,5 kPa,10 kPa)下,以炭纤维为圆心由内到外依次得到各向同性和粗糙层热解炭,整个基体以粗糙层为主。在15 kPa下,得到的热解炭组织结构为各向同性和光滑层组织。 展开更多

关键词 炭/炭复合材料 化学气相渗积 热解炭 显微结构

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用化学气相沉积法由烷氧化铋制备铁电薄膜

5

《表面技术》 EI CAS CSCD 2008年第2期13-13,共1页

化学气相沉积被用来在加热的底物上通过分解一些氧化物的前体而在该底物表面上形成氧化铋、氧化锶和氧化钽的薄膜。氧化铋的前体是一种铋的络合物，它包含至少一个烷氧基并且可在低于450℃的温度条件下分解和沉积。用低温CVD方法获得的... 化学气相沉积被用来在加热的底物上通过分解一些氧化物的前体而在该底物表面上形成氧化铋、氧化锶和氧化钽的薄膜。氧化铋的前体是一种铋的络合物，它包含至少一个烷氧基并且可在低于450℃的温度条件下分解和沉积。用低温CVD方法获得的氧化铋、锶、钽的薄膜主要是徘铁电性的薄膜，但可通过后续的加热过程而转化成铁电性薄膜。 展开更多

关键词 化学气相沉积法 铁电薄膜 氧化铋 制备 加热过程 温度条件 氧化钽 氧化锶

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C／C-SiC复合材料的反应熔渗法制备与微观组织 被引量：8

6

作者 赵彦伟 孙文婷 +2 位作者 李军平 刘宏瑞 张国兵 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期64-69,共6页

采用无压反应熔渗法在1 550℃下将熔融Si或Si0.9Zr0.1浸渗入多孔C/C预制体中制备了高致密的C/C-SiC复合材料。系统研究了多孔C/C预制体中酚醛树脂热解碳(PIP-C)和化学气相渗透碳(CVI-C)对反应熔渗Si或Si0.9Zr0.1的浸渗行为、反应程度、... 采用无压反应熔渗法在1 550℃下将熔融Si或Si0.9Zr0.1浸渗入多孔C/C预制体中制备了高致密的C/C-SiC复合材料。系统研究了多孔C/C预制体中酚醛树脂热解碳(PIP-C)和化学气相渗透碳(CVI-C)对反应熔渗Si或Si0.9Zr0.1的浸渗行为、反应程度、物相成分和微观组织的影响。结果表明:熔融Si或Si0.9Zr0.1完全渗入到相邻碳纤维束间的大孔和碳纤维形成的小孔中,多孔PIP-C/C预制体较易浸渗,且反应较充分,熔渗Si0.9Zr0.1后复合材料中除了生成大量SiC外,还有少量ZrC和ZrSi2生成,未发现游离Si。多孔PIP-C/C预制体中部分碳纤维与熔体反应,损伤纤维,而多孔CVI-C/C预制体中的沉积碳仅与熔体反应生成了一薄层,很好地保护了碳纤维,保持了碳纤维的高性能。提出反应熔渗制备C/C-SiC复合材料的形成机制:由初期的溶解-沉淀控制和后期的C向SiC层扩散控制为主。 展开更多

关键词 多孔C C预制体 C C—SiC复合材料 反应熔渗法 微观组织 化学气相渗透

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载气对炭/炭复合材料沉积速率、体密度和微观结构的影响（英文） 被引量：2

7

作者 侯振华 郝名扬 +4 位作者 罗瑞盈 向巧 杨威 商海东 许怀哲 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期364-371,共8页

分别采用H2和CO2作为载气,CH4为前躯体,通过等温化学气相渗积制备炭/炭复合材料,通过偏光显微镜、拉曼光谱、X射线衍射和透射电镜对材料微观结构表征以及渗积过程密度变化,研究载气对沉积速率、体密度和微观结构的影响规律。结果表明:... 分别采用H2和CO2作为载气,CH4为前躯体,通过等温化学气相渗积制备炭/炭复合材料,通过偏光显微镜、拉曼光谱、X射线衍射和透射电镜对材料微观结构表征以及渗积过程密度变化,研究载气对沉积速率、体密度和微观结构的影响规律。结果表明:在渗积前50 h,CH4-H2体系的沉积速率明显大于CH4-CO2体系,但在其余渗积时间里,CH4-H2体系的沉积速率小于CH4-CO2体系。当载气从H2变成CO2时,复合材料的体密度从1.626 g/cm3增加到1.723 g/cm3,最大径向密度梯度从0.074 g/cm3减小到0.056 g/cm3。同时,基体炭从纯的粗糙体炭转变为杂化粗糙体炭含有过度生长锥,且平均石墨化度从62.7%下降到50.8%。这些显著的变化是由于CO2的氧化作用降低了表面沉积速率,却没有降低孔内沉积速率,同时大量的缺陷形成于层状石墨烯结构中导致形成过度生长锥,降低了热解炭织构。 展开更多

关键词 炭/炭复合材料 微观结构 化学气相渗积 载气

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CVI-RMI法制备C/SiC复合材料的微观结构与弯曲性能 被引量：10

8

作者 肖鹏 谢建伟 +1 位作者 熊翔 闫志巧 《中南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期381-385,共5页

以T700炭纤维准三维编织针刺整体毡为预制体,在炭纤维表面CVI预沉积热解炭涂层,利用化学气相渗透-反应熔体浸渗法(CVI-RMI)制备C/SiC复合材料,观察材料的微观形貌,并探讨界面对弯曲性能的影响。研究结果表明:利用CVI-RMI联合工艺制备的C... 以T700炭纤维准三维编织针刺整体毡为预制体,在炭纤维表面CVI预沉积热解炭涂层,利用化学气相渗透-反应熔体浸渗法(CVI-RMI)制备C/SiC复合材料,观察材料的微观形貌,并探讨界面对弯曲性能的影响。研究结果表明:利用CVI-RMI联合工艺制备的C/SiC复合材料致密度高,开孔率较小(10%),基体分布均匀;材料弯曲强度达133 MPa,呈逐层破坏机制,表现出良好的假塑性;热解炭涂层与CVI-SiC基体减少了RMI工艺过程对炭纤维的损伤,且热解炭涂层调节了炭纤维与基体之间的界面结合状况,有利于纤维的拔出。 展开更多

关键词 C/SIC复合材料 微观结构 化学气相渗透法 反应熔体浸渗法 弯曲性能

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用热壁CVD法在SiC衬底上生长SiCGe合金的热场分析与设计 被引量：4

9

作者 蒲红斌 陈治明 +4 位作者 李留臣 封先锋 张群社 沃立民 黄媛媛 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期712-716,共5页

采用有限元法,对热壁CVD法SiCGe合金生长炉中加热组件的感应加热和温度分布进行了研究。分析了感应线圈匝数和石墨衬托的厚度对磁矢势和温度分布的影响,获取了感应线圈数越多感应生成焦耳热越大且越均匀的结论,得出了随石墨厚度的增加... 采用有限元法,对热壁CVD法SiCGe合金生长炉中加热组件的感应加热和温度分布进行了研究。分析了感应线圈匝数和石墨衬托的厚度对磁矢势和温度分布的影响,获取了感应线圈数越多感应生成焦耳热越大且越均匀的结论,得出了随石墨厚度的增加升温速率而增加,相反轴向温度均匀性而变差的设计准则。模拟结果表明选取16匝线圈和10mm左右的石墨壁厚为优化的设计参数。 展开更多

关键词 碳化硅 碳硅镓化合物 温度场 优化设计 热壁化学气相沉积法 感应加热 有限元 石墨厚度 感应线圈数 半导体材料

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掺硼金刚石薄膜电极的制备及电化学特性 被引量：3

10

作者 王帅 檀柏梅 +2 位作者 高宝红 张男男 安卫静 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期378-381,共4页

通过热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,在钽衬底上制备了p型掺硼金刚石(BDD)薄膜电极。利用原子力显微镜(AFM)分析丙酮体积分数对BDD电极的表面形貌和成膜质量的影响,利用循环伏安法(CV)分析BDD电极在不同种类、不同浓度电解液中的电化学特... 通过热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,在钽衬底上制备了p型掺硼金刚石(BDD)薄膜电极。利用原子力显微镜(AFM)分析丙酮体积分数对BDD电极的表面形貌和成膜质量的影响,利用循环伏安法(CV)分析BDD电极在不同种类、不同浓度电解液中的电化学特性。结果表明,当丙酮体积分数为1.5%时,金刚石薄膜表现出优异的附着力,并且BDD电极具有稳定的电化学特性。采用制备的BDD电极,在不同浓度的KCl和KH2PO4电解液中使用,得出电势窗口均在3.4 V以上。 展开更多

关键词 掺硼金钢石(BDD)薄膜电极 热丝化学气相淀积(HFCVD) 循环伏安法(CV) 丙酮体积分数 电化学窗口

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面向VCSEL的Al_(0.98)Ga_(0.02)As薄膜湿法氧化的研究 被引量：2

11

作者 林涛 张天杰 +6 位作者 李晶晶 郭恩民 宁少欢 段玉鹏 林楠 祁琼 马骁宇 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期266-272,共7页

为了系统研究VCSEL制作中的湿法氧化过程和机理,设计了专门的材料结构并采用MOCVD技术进行外延生长。对经过光刻和干法刻蚀形成的台面结构样品进行不同时间的湿法氧化,由表面形貌及断面结构来确定氧化程度。研究发现,氧化时间较短时,Al_... 为了系统研究VCSEL制作中的湿法氧化过程和机理,设计了专门的材料结构并采用MOCVD技术进行外延生长。对经过光刻和干法刻蚀形成的台面结构样品进行不同时间的湿法氧化,由表面形貌及断面结构来确定氧化程度。研究发现,氧化时间较短时,Al_(0.98)Ga_(0.02)As层的横向氧化深度随氧化时间呈线性变化;随着氧化时间增加,横向氧化深度与氧化时间呈抛物线变化,并渐趋于饱和。此外实验中发现Al_(0.98)Ga_(0.02)As层的湿法氧化速度可比Al_(0.9)Ga_(0.1)As层高一个数量级,且Al_(0.9)Ga_(0.1)As层的湿法氧化速度随其层厚增加而增大。最后根据修正的一维Deal-Grove氧化模型计算了受限空间内Al_(0.98)Ga_(0.02)As层横向氧化深度随氧化时间的变化关系。 展开更多

关键词 垂直腔面发射激光器 湿法氧化 砷化铝镓 金属有机化学气相淀积

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纳米粉体的激光制备方法

12

作者 李保家 周明 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第F11期20-23,共4页

总结了激光技术制备纳米粉末的特点，介绍了激光诱导化学气相沉积法、激光烧蚀法、激光诱导液-固界面反应法以及激光-感应复合加热法等的基本原理、装置及特点，综述了目前纳米粉体激光制备技术的应用研究现状，指出了其今后的研究方向... 总结了激光技术制备纳米粉末的特点，介绍了激光诱导化学气相沉积法、激光烧蚀法、激光诱导液-固界面反应法以及激光-感应复合加热法等的基本原理、装置及特点，综述了目前纳米粉体激光制备技术的应用研究现状，指出了其今后的研究方向和应用前景。 展开更多

关键词 纳米粉体 激光 制备 激光诱导化学气相沉积法 激光烧蚀法 激光诱导液-固界面反应法 激光-感应复合加热法

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Cat-CVD法制备硅薄膜及在TFT中的应用进展 被引量：1

13

作者 刘少林 邹兆一 +2 位作者 庞春霖 付国柱 邱法斌 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期483-490,共8页

目前有源平板显示领域主要采用PECVD法制备TFT用硅薄膜,但是由于PECVD中等离子对Si薄膜的损伤以及淀积薄膜的温度很高的缺点,使其在制备高迁移率TFT的应用中受到了限制。新出现的催化化学气相淀积法(Cat-CVD)与PECVD法相比,具有淀积速... 目前有源平板显示领域主要采用PECVD法制备TFT用硅薄膜,但是由于PECVD中等离子对Si薄膜的损伤以及淀积薄膜的温度很高的缺点,使其在制备高迁移率TFT的应用中受到了限制。新出现的催化化学气相淀积法(Cat-CVD)与PECVD法相比,具有淀积速率高、原料气体利用效率高、衬底温度低、生长的薄膜致密、电学特性好等优点,将更有希望成为TFT用硅薄膜制备的新技术。文章对Cat-CVD法的工作机理及其在TFT中的应用进展进行了详细总结,归纳了各种催化丝材料,并对当前Cat-CVD技术研究中的不足及其以后的研究发展进行了讨论。 展开更多

关键词 硅薄膜 薄膜晶体管 化学气相淀积法

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不同甲烷氢气比例前驱体制备炭/炭复合材料的研究 被引量：1

14

作者 张联合 罗瑞盈 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期29-32,共4页

以不同比例甲烷氢气(CH4、CH4/H2=3/1、CH4/H2=2/1)作为前驱体,采用等温等压化学气相渗积工艺,在1100℃,气压为5kPa下,经过500h制备相应的炭/炭复合材料样品。研究了密度随致密化时间的变化规律和样品的密度分布,采用偏光显微镜、高温... 以不同比例甲烷氢气(CH4、CH4/H2=3/1、CH4/H2=2/1)作为前驱体,采用等温等压化学气相渗积工艺,在1100℃,气压为5kPa下,经过500h制备相应的炭/炭复合材料样品。研究了密度随致密化时间的变化规律和样品的密度分布,采用偏光显微镜、高温热处理后X射线衍射、三点弯曲实验对材料进行了表征,结果表明:甲烷体系中氢气的加入在致密化初期会对沉积速率有明显的减小作用,最终得到的样品密度分布均匀。同时CH4/H2=2/1前驱体获得近乎单一的粗糙层结构,具有最高的石墨化度,氢气的加入提高了材料密度,提高了炭/炭复合材料的力学性能。 展开更多

关键词 炭 炭复合材料 化学气相渗积 致密化速率 组织结构 力学性能

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连续碳纤维增强碳化硅复合材料的制备与性能研究 被引量：11

15

作者 朱时珍 李俊红 于晓东 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期422-424,440,共4页

利用自加热化学气相渗积法制备了连续碳纤维增强的碳化硅陶瓷基复合材料 ,分析研究了复合材料致密度和涂层厚度对复合材料力学性能的影响 ,同时运用 SEM对复合材料的微观结构进行了表征 .研究结果表明 :随着致密度的提高 ,复合材料的力... 利用自加热化学气相渗积法制备了连续碳纤维增强的碳化硅陶瓷基复合材料 ,分析研究了复合材料致密度和涂层厚度对复合材料力学性能的影响 ,同时运用 SEM对复合材料的微观结构进行了表征 .研究结果表明 :随着致密度的提高 ,复合材料的力学性能有了明显改善 ,密度为 1.93g/ cm3时 ,弯曲强度达到 382 .2 MPa,断裂韧性达到 9.2 MPa· m1 /2 ;碳涂层的厚度对复合材料的力学性能有较大影响 ,涂层厚度在 0 .35μm时 ,弯曲强度达到2 31.9MPa,在 0 .5 5μm时 ,断裂韧性达到 10 .4 MPa· m1 /2 . 展开更多

关键词 自加热化学气相渗积 CF/SIC复合材料 致密度 碳涂层厚度 力学性能

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纤维种类对炭/炭复合材料微观结构和力学性能的影响(英文) 被引量：8

16

作者 郝名扬 罗瑞盈 +3 位作者 向巧 侯振华 杨威 商海东 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期444-453,共10页

采用6 K的预氧丝和炭纤维制备预制体,通过化学气相渗积制备炭/炭复合材料。通过偏光显微镜、拉曼光谱、纳米硬度和三点弯曲等手段研究其微观结构和力学性能。结果表明,预氧丝复合材料的基体为暗层和粗糙层炭,厚度分别为1.4-2.6μm和10.2... 采用6 K的预氧丝和炭纤维制备预制体,通过化学气相渗积制备炭/炭复合材料。通过偏光显微镜、拉曼光谱、纳米硬度和三点弯曲等手段研究其微观结构和力学性能。结果表明,预氧丝复合材料的基体为暗层和粗糙层炭,厚度分别为1.4-2.6μm和10.2-11.6μm;而炭纤维复合材料的基体为光滑层和粗糙层炭,厚度分别为8μm和4.4μm;预氧丝纤维的模量和硬度明显小于炭纤维,同时基体的模量和硬度随消光角的增加而降低;低模量的基体和纤维导致预氧丝复合材料的拉伸强度、拉伸模量、弯曲强度和模量分别降低了14.5%-24.2%、9.7%-19.8%、7.3%-15.4%和15.1%-18.6%;但其韧性指数却提高了224%-235%,这是高含量的粗糙层炭和纤维的石墨化收缩所致;同时提出了一个三单元复合模型用来模拟复合材料的拉伸模量,模拟误差小于9.9%。 展开更多

关键词 炭/炭复合材料 微观结构 力学性能 化学气相渗积

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炭纤维增强C/SiC双基体复合材料的制备及性能(英文) 被引量：8

17

作者 李专 肖鹏 +1 位作者 熊翔 黄伯云 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期225-231,共7页

以针刺炭纤维整体毡为预制体,联用化学气相沉积法与熔融渗硅法制得炭纤维增强C/SiC双基体(C/C-SiC)复合材料;研究了C/C-Si材料的显微结构、力学性能和不同制动速度下的摩擦磨损性能及机理。结果表明:C/C-SiC材料具有适中的纤维/基体界... 以针刺炭纤维整体毡为预制体,联用化学气相沉积法与熔融渗硅法制得炭纤维增强C/SiC双基体(C/C-SiC)复合材料;研究了C/C-Si材料的显微结构、力学性能和不同制动速度下的摩擦磨损性能及机理。结果表明:C/C-SiC材料具有适中的纤维/基体界面结合强度,弯曲强度和压缩强度分别达240MPa和210MPa,具有摩擦系数高(0.41～0.54),磨损小(0.02cm3/MJ),摩擦性能稳定等特点.随着制动速度提高,C/C-Si材料的摩擦磨损机制也随之变化:在低速制动条件下主要表现为磨粒磨损;中速时以黏着磨损为主;高速时以疲劳磨损和氧化磨损为主。 展开更多

关键词 C/SIC复合材料 摩擦磨损性能 制动材料 化学气相沉积法 熔融渗硅

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氧化物陶瓷基复合材料研究进展 被引量：8

18

作者 韩桂芳 陈照峰 +2 位作者 张立同 成来飞 徐永东 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期8-11,20,共5页

从基体和纤维的选择、制备工艺等几方面综述了国内外氧化物陶瓷基复合材料的研究现状 ,着重阐述了溶胶—凝胶法、化学气相渗透法、反应熔体浸渗法、先驱体浸渗热解法、电泳沉积法、浆料浸渗热压和浆料浸渗结合氧化物先驱体浸渗热解法等... 从基体和纤维的选择、制备工艺等几方面综述了国内外氧化物陶瓷基复合材料的研究现状 ,着重阐述了溶胶—凝胶法、化学气相渗透法、反应熔体浸渗法、先驱体浸渗热解法、电泳沉积法、浆料浸渗热压和浆料浸渗结合氧化物先驱体浸渗热解法等氧化物基复合材料制备工艺原理及其优缺点。 展开更多

关键词 氧化物陶瓷基复合材料 制备 航空发动机 先驱体浸渗热解法 反应熔体浸渗法 化学气相渗透法 基体

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三维碳化硅/碳化硅陶瓷基编织体复合材料 被引量：12

19

作者 徐永东 成来飞 张立同 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期344-348,共5页

采用化学气相浸渗法（ＣＶＩ），制备出三维Ｈｉ－ＮｉｃａｌｏｎＳｉＣ／ＳｉＣ陶瓷基编织体复合材料．经３０ｈ ＣＶＩ致密化处理后，复合材料的密度达到 ２５９·ｃｍ－３，所研制的三维 ＳｉＣ／ＳｉＣ复合材料不仅具有较高的... 采用化学气相浸渗法（ＣＶＩ），制备出三维Ｈｉ－ＮｉｃａｌｏｎＳｉＣ／ＳｉＣ陶瓷基编织体复合材料．经３０ｈ ＣＶＩ致密化处理后，复合材料的密度达到 ２５９·ｃｍ－３，所研制的三维 ＳｉＣ／ＳｉＣ复合材料不仅具有较高的强度，而且表现出优异的韧性和类似金属材料非灾难性的断裂特征．复合材料的主要力学性能指标为：弯曲强度 ８６０ＭＰａ，断裂位移 １．２ｍｍ，断裂韧性４１．５ＭＰａ·ｍ１／２，断裂功２８．１ｋＪ·ｍ－２，冲击韧性３６．０ｋＪ·ｍ－２． 展开更多

关键词 化学气相浸渗法 力学性能 显微结构 碳化砖陶瓷基复合材料 三维碳化硅纤维 增韧

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新型半导体纳米材料的主要制备技术 被引量：4

20

作者 李华乐 成立 +3 位作者 王振宇 李加元 贺星 瞿烨 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期217-221,226,共6页

简要论述了半导体纳米材料的发展历史及其特点,着重讨论了当前国内外主要的几种半导体纳米材料的制备工艺技术,包括溶胶-凝胶法、微乳液法、模板法、基于MBE和MOCVD的纳米材料制备法、激光烧蚀法和应变自组装法等,并分析了以上几种纳米... 简要论述了半导体纳米材料的发展历史及其特点,着重讨论了当前国内外主要的几种半导体纳米材料的制备工艺技术,包括溶胶-凝胶法、微乳液法、模板法、基于MBE和MOCVD的纳米材料制备法、激光烧蚀法和应变自组装法等,并分析了以上几种纳米材料制备技术的优缺点及其应用前景。 展开更多

关键词 纳米材料 溶胶-凝胶法 分子束外延 金属有机物化学气相淀积 激光烧蚀淀积 应变自组装法

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