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激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器
被引量：
2
1
作者
刘宇
王萌
+2 位作者
王博
姜丽娟
王少华
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2013年第1期112-114,117,共4页
分析了多个反射面对单法—珀腔传感器光谱法解调的影响。为降低不参与形成法—珀腔的反射面的反射率以消除这一影响,利用Nd∶YAG激光加工系统在两面抛光硅片中的一面进行了表面纹理化处理。将经激光切割下的已表面纹理化的圆形硅片粘贴...
分析了多个反射面对单法—珀腔传感器光谱法解调的影响。为降低不参与形成法—珀腔的反射面的反射率以消除这一影响,利用Nd∶YAG激光加工系统在两面抛光硅片中的一面进行了表面纹理化处理。将经激光切割下的已表面纹理化的圆形硅片粘贴在中空玻璃毛细管一端,最后插入单模光纤并封装成非本征(EFPI)光纤法—珀干涉型压力传感器。进行了静态气压测试实验,结果表明:在40～240kPa气压范围内,传感器压力灵敏度为11.9 nm/kPa,线性度为1.51%。
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关键词
传感器
非本征
法
-
珀
干涉
型
膜片式法-珀干涉型光纤压力传感器
Nd
YAG激光加工
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下载PDF
职称材料
题名
激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器
被引量：
2
1
作者
刘宇
王萌
王博
姜丽娟
王少华
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
天津大学光电信息技术教育部重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2013年第1期112-114,117,共4页
基金
天津市科技支撑计划重点资助项目(11ZCKFGX01900)
文摘
分析了多个反射面对单法—珀腔传感器光谱法解调的影响。为降低不参与形成法—珀腔的反射面的反射率以消除这一影响,利用Nd∶YAG激光加工系统在两面抛光硅片中的一面进行了表面纹理化处理。将经激光切割下的已表面纹理化的圆形硅片粘贴在中空玻璃毛细管一端,最后插入单模光纤并封装成非本征(EFPI)光纤法—珀干涉型压力传感器。进行了静态气压测试实验,结果表明:在40～240kPa气压范围内,传感器压力灵敏度为11.9 nm/kPa,线性度为1.51%。
关键词
传感器
非本征
法
-
珀
干涉
型
膜片式法-珀干涉型光纤压力传感器
Nd
YAG激光加工
Keywords
sensor
extrinsic F
-
P interferometric（EFPI）
diaphragm
-
type F
-
P interferometric optical fiber pressure sensor
Nd：YAG laser processing
分类号
TN253 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器
刘宇
王萌
王博
姜丽娟
王少华
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2013
2
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职称材料
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