期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
利用体块PZT制备膜片式压电微泵
被引量：
6
1
作者
李以贵
黄远
+2 位作者
颜平
王欢
杉山进
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期1072-1079,共8页
利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过对...
利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过对PZT-Si膜片的位移量、位移形状的仿真分析,确定了微驱动器的设计尺寸,并估算其液体驱动性能。利用共晶键合工艺、研磨减薄工艺、硅深反应离子刻蚀工艺和准分子激光加工工艺等制备出了微驱动器和单向微阀。最后,设计了驱动测试实验,检测了微泵的液体驱动性能。测试结果表明:所制备的膜片式压电微泵驱动的谐振频率约为70kHz,能驱动微米量级的液体位移或运动。当微泵驱动电压为30Vp-p、频率为600Hz时,液体的驱动流速约为65μL/min。该微泵具有体积小,线性度好等特点。
展开更多
关键词
微
流控分析系统
膜片式压电微泵
锆钛酸铅(PZT)
单向
微
阀
逆
压电
效应
驱动仿真
微
加工工艺
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
利用体块PZT制备膜片式压电微泵
被引量：
6
1
作者
李以贵
黄远
颜平
王欢
杉山进
机构
上海应用技术大学理学院
立命馆大学微系统系
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期1072-1079,共8页
基金
国家自然科学基金资助课题(No.60777016)
上海联盟计划资助项目(No.LM201441)
+1 种基金
上海应用技术学院重点学科项目(No.10210Q150005)
上海应用技术学院人才引进基金资助项目(No.YJ2014-03)
文摘
利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过对PZT-Si膜片的位移量、位移形状的仿真分析,确定了微驱动器的设计尺寸,并估算其液体驱动性能。利用共晶键合工艺、研磨减薄工艺、硅深反应离子刻蚀工艺和准分子激光加工工艺等制备出了微驱动器和单向微阀。最后,设计了驱动测试实验,检测了微泵的液体驱动性能。测试结果表明:所制备的膜片式压电微泵驱动的谐振频率约为70kHz,能驱动微米量级的液体位移或运动。当微泵驱动电压为30Vp-p、频率为600Hz时,液体的驱动流速约为65μL/min。该微泵具有体积小,线性度好等特点。
关键词
微
流控分析系统
膜片式压电微泵
锆钛酸铅(PZT)
单向
微
阀
逆
压电
效应
驱动仿真
微
加工工艺
Keywords
microfluidic analysis system
diaphragm piezoelectric micro pump
Pb based Lanthanum doped Zirconate Titanate（PZT）
micro check valve
inverse piezoelectric effect
driving simulation
micro fabrication
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TP271 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用体块PZT制备膜片式压电微泵
李以贵
黄远
颜平
王欢
杉山进
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
