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膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析
被引量：
11
1
作者
王占山
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第2期136-138,共3页
针对影响多层膜性能的关键因素———膜厚控制误差进行了全面的分析计算,指出影响多层膜性能的主要误差是仪器本身的系统偏差,它使多层膜的峰值反射波长偏离设计值,使得制作出的多层膜无法满足要求;镀膜过程中的随机误差使多层膜的反射...
针对影响多层膜性能的关键因素———膜厚控制误差进行了全面的分析计算,指出影响多层膜性能的主要误差是仪器本身的系统偏差,它使多层膜的峰值反射波长偏离设计值,使得制作出的多层膜无法满足要求;镀膜过程中的随机误差使多层膜的反射率降低,但不影响多层膜峰值反射率波长的位置,因此,在制作多层膜过程中,不但要严格控制镀膜时的系统误差,而且要控制随机误差。
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关键词
软X射线
多层
膜
膜厚控制误差
反射率
反射镜
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职称材料
题名
膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析
被引量：
11
1
作者
王占山
机构
同济大学精密光学工程技术研究所物理系
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第2期136-138,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.60178021)
上海市科技发展基金项目(No.022261049)
文摘
针对影响多层膜性能的关键因素———膜厚控制误差进行了全面的分析计算,指出影响多层膜性能的主要误差是仪器本身的系统偏差,它使多层膜的峰值反射波长偏离设计值,使得制作出的多层膜无法满足要求;镀膜过程中的随机误差使多层膜的反射率降低,但不影响多层膜峰值反射率波长的位置,因此,在制作多层膜过程中,不但要严格控制镀膜时的系统误差,而且要控制随机误差。
关键词
软X射线
多层
膜
膜厚控制误差
反射率
反射镜
Keywords
soft X-ray
multilayer
film thickness errors
reflectivity
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析
王占山
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003
11
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