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离子发动机栅极材料差分溅射产额分布特性仿真
1
作者
朱政羲
苗龙
+4 位作者
耿海
郭德洲
杨统勋
何梓豪
王宁飞
《航天器环境工程》
CSCD
2024年第4期450-458,共9页
针对离子发动机栅极溅射原子空间分布不明确导致栅极腐蚀模型预测偏差大的问题,采用SDTrimSP程序模拟离子轰击栅极材料的溅射过程;系统研究离子入射能量、入射角度以及离子种类对钼栅极材料差分溅射产额的影响。发现正入射条件下的差分...
针对离子发动机栅极溅射原子空间分布不明确导致栅极腐蚀模型预测偏差大的问题,采用SDTrimSP程序模拟离子轰击栅极材料的溅射过程;系统研究离子入射能量、入射角度以及离子种类对钼栅极材料差分溅射产额的影响。发现正入射条件下的差分溅射产额仿真结果与实验具有较好的一致性。重点关注斜入射条件下差分溅射产额在不同方位角下的分布轮廓,并通过Modified-Zhang公式对差分溅射产额进行拟合,以拟合结果作为材料边界条件输入溅射腐蚀—再沉积模型,较为真实地模拟了栅极材料的腐蚀过程。以上研究可为离子发动机栅极组件腐蚀形貌的精确预测提供参考。
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关键词
离子发动机
钼栅极材料
差分溅射产额
斜入射
腐蚀—再沉积模型
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职称材料
题名
离子发动机栅极材料差分溅射产额分布特性仿真
1
作者
朱政羲
苗龙
耿海
郭德洲
杨统勋
何梓豪
王宁飞
机构
北京理工大学宇航学院
北京理工大学重庆创新中心
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
出处
《航天器环境工程》
CSCD
2024年第4期450-458,共9页
基金
国家重点研发计划项目(编号:2022YFB3403500)
国家自然科学基金项目(编号:52202460)。
文摘
针对离子发动机栅极溅射原子空间分布不明确导致栅极腐蚀模型预测偏差大的问题,采用SDTrimSP程序模拟离子轰击栅极材料的溅射过程;系统研究离子入射能量、入射角度以及离子种类对钼栅极材料差分溅射产额的影响。发现正入射条件下的差分溅射产额仿真结果与实验具有较好的一致性。重点关注斜入射条件下差分溅射产额在不同方位角下的分布轮廓,并通过Modified-Zhang公式对差分溅射产额进行拟合,以拟合结果作为材料边界条件输入溅射腐蚀—再沉积模型,较为真实地模拟了栅极材料的腐蚀过程。以上研究可为离子发动机栅极组件腐蚀形貌的精确预测提供参考。
关键词
离子发动机
钼栅极材料
差分溅射产额
斜入射
腐蚀—再沉积模型
Keywords
ion engine
molybdenum grid materials
differential sputtering yield
oblique incidence
erosionredeposition model
分类号
V439 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
离子发动机栅极材料差分溅射产额分布特性仿真
朱政羲
苗龙
耿海
郭德洲
杨统勋
何梓豪
王宁飞
《航天器环境工程》
CSCD
2024
0
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