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大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律
1
作者
李延强
兰红波
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期470-477,共8页
针对大面积纳米压印脱模工艺,开展了揭开式脱模机理和规律的研究。基于界面黏附能理论,建立了气体辅助揭开式脱模力预估模型;基于应变能法和脱模过程中能量守恒定律,建立了气体辅助揭开式脱模临界脱模速度模型。利用ABAQUS工程数值模拟...
针对大面积纳米压印脱模工艺,开展了揭开式脱模机理和规律的研究。基于界面黏附能理论,建立了气体辅助揭开式脱模力预估模型;基于应变能法和脱模过程中能量守恒定律,建立了气体辅助揭开式脱模临界脱模速度模型。利用ABAQUS工程数值模拟软件,分析得到纳米压印工艺参数(脱模力、脱模角度、脱模速度)对揭开式脱模的影响规律。
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关键词
大面积纳米压印
揭开式
脱模
脱模
力
脱模速度
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题名
大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律
1
作者
李延强
兰红波
机构
青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期470-477,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(91023023
51375250)
青岛市创业创新领军人才计划资助项目(13-CX-18)
文摘
针对大面积纳米压印脱模工艺,开展了揭开式脱模机理和规律的研究。基于界面黏附能理论,建立了气体辅助揭开式脱模力预估模型;基于应变能法和脱模过程中能量守恒定律,建立了气体辅助揭开式脱模临界脱模速度模型。利用ABAQUS工程数值模拟软件,分析得到纳米压印工艺参数(脱模力、脱模角度、脱模速度)对揭开式脱模的影响规律。
关键词
大面积纳米压印
揭开式
脱模
脱模
力
脱模速度
Keywords
large-area nanoimprint lithography
peel-off demolding
demolding force
demolding speed
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
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1
大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律
李延强
兰红波
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
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