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题名利用MEMS技术研制硅脉象传感器
被引量：3
- 1
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作者
王璐
温殿忠
刘红梅
田丽
莫兵
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机构
黑龙江大学黑龙江省普通高等学校电子工程重点实验室
黑龙江大学集成电路重点实验室
哈尔滨工业大学MEMS中心
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第9期1226-1231,共6页
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基金
国家自然科学基金资助(60676044)
黑龙江省教育厅科学技术研究项目资助(11541266)
黑龙江省普通高等学校电子工程重点实验室基金资助(DZZD20100037)
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文摘
利用MEMS技术在N型<100>晶向的单晶硅衬底上设计并制作了以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极的P-MOSFETs脉象传感器。在方形硅膜上制作四个以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极P-MOSFETs,并将P-MOSFETs的沟道电阻设计成惠斯通电桥结构,从而实现对微小脉象信号的准确检测。实验结果表明,该硅脉象传感器在恒压源-3.0V供电条件下,灵敏度为1.623mV/kPa,准确度为2.029%F.S。
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关键词
MEMS
硅脉象传感器
MOSFET
纳米硅/单晶硅异质结
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Keywords
MEMS
silicon pulse sensor
MOSFET
nc-Si/c-Si heterojunction
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名硅悬臂梁脉象传感器温度补偿
被引量：1
- 2
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作者
王丙利
李点美
王璐
杨志
温殿忠
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机构
黑龙江大学集成电路重点实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第4期24-25,28,共3页
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基金
黑龙江省科技计划资助项目
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文摘
阐述了采用硅悬臂梁制造的脉象传感器结构、设计和温度补偿原理。实验结果表明：补偿后的传感器具有灵敏度高、稳定性好，线性度为1％FS（0-5N），重复性为0．5％FS，灵敏度为50mV／N。给出的温度补偿晶体管对该脉象传感器的灵敏度温度漂移补偿效果好，有推广应用前景。
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关键词
悬臂梁
脉象传感器
温度补偿
稳定性
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Keywords
cantilever beam
pulse image sensor
temperature compensation
stability
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分类号
TN212
[电子电信—物理电子学]
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题名网格图像法提取多维脉搏特征信息
被引量：1
- 3
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作者
张爱华
王亮
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机构
兰州理工大学 电气与信息工程学院
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出处
《计算机应用研究》
CSCD
北大核心
2007年第9期176-178,181,共4页
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基金
国家自然科学基金(10572056)
甘肃省教育厅科研基金(0503-09)
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文摘
利用前期研制的基于单CCD(charge coupled device,电子耦合器件)的脉搏多维信息测量装置,采集得到脉搏动态时变图像序列。重新设计传感器触头为绘有网格点的软性双层薄膜结构,在此基础上,建立了测量原理模型,论证了该装置获取脉搏多维信息的可行性。随后,通过对网格点图像的处理,成功提取了脉搏波的形态、频率、节律及脉宽信息,所得结果与测量模型分析一致。研究表明,该系统能够有效提取多维脉搏特征信息,为脉搏信息的检测和表征提供了一种全新的手段和方法。
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关键词
网格图像
时变图像序列
脉象传感器
脉图
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Keywords
grid image
time-varying image
sphygmology sensor
pulse image
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分类号
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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