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光刻用准分子激光器能量稳定性影响因素分析(英文) 被引量:4
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作者 石海燕 赵江山 +5 位作者 宋兴亮 沙鹏飞 单耀莹 王倩 翟晔 周翊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第11期3540-3546,共7页
以Cymer公司为例归纳总结了ArF准分子激光器双腔放大结构及相应的脉冲能量稳定性的发展历程,讨论了双腔能量放大机制对脉冲能量稳定性的影响,重点分析了MOPRA结构较MOPA结构在能量稳定性方面的优缺点。着重阐述了放电腔内工作气体成分... 以Cymer公司为例归纳总结了ArF准分子激光器双腔放大结构及相应的脉冲能量稳定性的发展历程,讨论了双腔能量放大机制对脉冲能量稳定性的影响,重点分析了MOPRA结构较MOPA结构在能量稳定性方面的优缺点。着重阐述了放电腔内工作气体成分、配比、电极间流速对脉冲能量稳定性的影响以及相应的改善措施,并结合影响脉冲能量稳定性的因素简述能量控制系统在稳定脉冲能量上的应用。 展开更多
关键词 放大机制 准分子激光器 脉冲能量稳定性 气体成分
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对时滞BAM神经网络脉冲上界的估计
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作者 王建军 王慧 《重庆交通大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2009年第3期637-640,共4页
研究了时滞双向联想神经网络的指数稳定性,集中讨论了脉冲对指数稳定性的影响。结果显示,若非脉冲DBAM系统全局指数稳定,即使状态在脉冲时刻被放大到某一较大范围,相应的脉冲系统也能保持其稳定特性。根据非脉冲系统的指数收敛度,对保... 研究了时滞双向联想神经网络的指数稳定性,集中讨论了脉冲对指数稳定性的影响。结果显示,若非脉冲DBAM系统全局指数稳定,即使状态在脉冲时刻被放大到某一较大范围,相应的脉冲系统也能保持其稳定特性。根据非脉冲系统的指数收敛度,对保持系统指数稳定的脉冲上界和脉冲间隔进行了估计。 展开更多
关键词 双向联想神经网络(BAM神经网络) 指数稳定性 时滞 脉冲稳定性
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激光参量对自脉冲阈值的影响
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作者 张纪岳 张玉海 应合理 《西北建筑工程学院学报(自然科学版)》 1996年第3期140-144,共5页
对含有可饱和吸收体的B类激光系统的自脉冲不稳定性的阈值行为进行了研究,并就各种激光参量对其阈值的影响进行了数值计算。结果表明,腔内光子损耗率和原子纵向弛豫率对泵浦阈值的影响是很显著的。
关键词 激光系统 脉冲稳定性 泵浦阈值
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The Stability of Logistic Model with Random Impulse
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作者 LI Jun-ping HOU Zhen-ting 《Chinese Quarterly Journal of Mathematics》 CSCD 2009年第1期1-9,共9页
This paper is devoted to studying the stability of Logistic model with random impulse by using the theory of Markov skeleton processes and a convenient condition for Logistic model with random impulse to be stable is ... This paper is devoted to studying the stability of Logistic model with random impulse by using the theory of Markov skeleton processes and a convenient condition for Logistic model with random impulse to be stable is given. 展开更多
关键词 Logistic model Markov skeleton process random impulse STABILITY
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