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脉冲激光沉积系统(PLD)的应用
被引量:
4
1
作者
李晓兰
郑赛珠
+3 位作者
叶志清
邓海东
饶丰
熊志华
《江西师范大学学报(自然科学版)》
CAS
2004年第6期515-517,共3页
该文重点介绍了作者实验室的PLD系统 ,并介绍一个实例 :在不锈钢衬底上镀LiMn2
关键词
LIMN2O4正极材料
薄膜材料
脉冲激光沉积系统
锂离子电池
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职称材料
脉冲激光沉积系统(PLD)的应用——制备GaN薄膜
被引量:
4
2
作者
李晓兰
薛琴
王建秋
《现代电子技术》
2008年第22期12-14,共3页
采用脉冲激光沉积技术,在Al2O3衬底上生长GaN薄膜,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)研究不同沉积温度、不同沉积压强对所生长的GaN薄膜晶体结构特征的影响。研究表明,在750℃的沉积温度时,GaN薄膜的结晶质量较高;在20 Pa以下的沉...
采用脉冲激光沉积技术,在Al2O3衬底上生长GaN薄膜,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)研究不同沉积温度、不同沉积压强对所生长的GaN薄膜晶体结构特征的影响。研究表明,在750℃的沉积温度时,GaN薄膜的结晶质量较高;在20 Pa以下的沉积气压下,GaN薄膜的晶体质量随着沉积气压的升高而提高。
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关键词
脉冲激光沉积系统
GAN材料
薄膜材料
沉积
温度
沉积
气压
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职称材料
应力与取向调控超薄La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_(3)薄膜各向异性的研究
3
作者
周国伟
李枝兰
王晓娇
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第19期72-77,共6页
本工作采用带有原位反射式高能电子衍射(RHEED)的脉冲激光沉积系统,分别在(001)和(110)两种取向的SrTiO_(3)、(LaSr)(AlTa)O_(3)、LaAlO_(3)三种衬底上沉积厚度为13个晶胞(unit cell,u.c.)的高质量超薄La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_(3)(LSMO)薄...
本工作采用带有原位反射式高能电子衍射(RHEED)的脉冲激光沉积系统,分别在(001)和(110)两种取向的SrTiO_(3)、(LaSr)(AlTa)O_(3)、LaAlO_(3)三种衬底上沉积厚度为13个晶胞(unit cell,u.c.)的高质量超薄La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_(3)(LSMO)薄膜。首先,采用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面形貌进行表征;其次,通过综合物性测量系统(PPMS)对薄膜磁各向异性变化进行表征;最后,利用同步辐射软X射线吸收谱技术研究薄膜中锰的轨道占据状态。综合研究发现,无论LSMO薄膜沉积在哪一种取向的衬底上,受拉应力作用的电子均优先占据面内轨道,LSMO薄膜表现出面内易磁化特性;而受压应力作用的电子则优先占据面外轨道,LSMO薄膜表现为垂直磁各向异性。
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关键词
脉冲激光沉积系统
应力与取向
超薄LSMO薄膜
各向异性
轨道占据
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职称材料
题名
脉冲激光沉积系统(PLD)的应用
被引量:
4
1
作者
李晓兰
郑赛珠
叶志清
邓海东
饶丰
熊志华
机构
江西师范大学江西省光电子与通信重点实验室
中医学院
出处
《江西师范大学学报(自然科学版)》
CAS
2004年第6期515-517,共3页
基金
江西省科技攻关项目资助 (〔2 0 0 4〕2 1 1号 )
文摘
该文重点介绍了作者实验室的PLD系统 ,并介绍一个实例 :在不锈钢衬底上镀LiMn2
关键词
LIMN2O4正极材料
薄膜材料
脉冲激光沉积系统
锂离子电池
Keywords
PLD system
LiMn_2O_4 cathode material
thin film
分类号
TN241 [电子电信—物理电子学]
TM911.14 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
脉冲激光沉积系统(PLD)的应用——制备GaN薄膜
被引量:
4
2
作者
李晓兰
薛琴
王建秋
机构
江西师范大学物理与通信电子学院江西省光电子与通信重点实验室
出处
《现代电子技术》
2008年第22期12-14,共3页
基金
江西省光电子与通信重点实验室开放基金资助项目(2004002)
文摘
采用脉冲激光沉积技术,在Al2O3衬底上生长GaN薄膜,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)研究不同沉积温度、不同沉积压强对所生长的GaN薄膜晶体结构特征的影响。研究表明,在750℃的沉积温度时,GaN薄膜的结晶质量较高;在20 Pa以下的沉积气压下,GaN薄膜的晶体质量随着沉积气压的升高而提高。
关键词
脉冲激光沉积系统
GAN材料
薄膜材料
沉积
温度
沉积
气压
Keywords
PLD system
GaN material
thin film
substrate temperature
deposition pressure
分类号
TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
应力与取向调控超薄La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_(3)薄膜各向异性的研究
3
作者
周国伟
李枝兰
王晓娇
机构
山西师范大学材料科学研究院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第19期72-77,共6页
基金
国家自然科学基金(51901118)
山西师范大学研究生科技创新项目(2021XSY036)。
文摘
本工作采用带有原位反射式高能电子衍射(RHEED)的脉冲激光沉积系统,分别在(001)和(110)两种取向的SrTiO_(3)、(LaSr)(AlTa)O_(3)、LaAlO_(3)三种衬底上沉积厚度为13个晶胞(unit cell,u.c.)的高质量超薄La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_(3)(LSMO)薄膜。首先,采用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面形貌进行表征;其次,通过综合物性测量系统(PPMS)对薄膜磁各向异性变化进行表征;最后,利用同步辐射软X射线吸收谱技术研究薄膜中锰的轨道占据状态。综合研究发现,无论LSMO薄膜沉积在哪一种取向的衬底上,受拉应力作用的电子均优先占据面内轨道,LSMO薄膜表现出面内易磁化特性;而受压应力作用的电子则优先占据面外轨道,LSMO薄膜表现为垂直磁各向异性。
关键词
脉冲激光沉积系统
应力与取向
超薄LSMO薄膜
各向异性
轨道占据
Keywords
pulsed laser deposition system
strain and orientation
ultrathin LSMO films
anisotropy
orbital occupation
分类号
O469 [理学—凝聚态物理]
O441 [理学—电磁学]
O46 [理学—电子物理学]
O47 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
脉冲激光沉积系统(PLD)的应用
李晓兰
郑赛珠
叶志清
邓海东
饶丰
熊志华
《江西师范大学学报(自然科学版)》
CAS
2004
4
在线阅读
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职称材料
2
脉冲激光沉积系统(PLD)的应用——制备GaN薄膜
李晓兰
薛琴
王建秋
《现代电子技术》
2008
4
在线阅读
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职称材料
3
应力与取向调控超薄La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_(3)薄膜各向异性的研究
周国伟
李枝兰
王晓娇
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
0
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