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脉冲激光沉积系统(PLD)的应用 被引量:4
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作者 李晓兰 郑赛珠 +3 位作者 叶志清 邓海东 饶丰 熊志华 《江西师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2004年第6期515-517,共3页
该文重点介绍了作者实验室的PLD系统 ,并介绍一个实例 :在不锈钢衬底上镀LiMn2
关键词 LIMN2O4正极材料 薄膜材料 脉冲激光沉积系统 锂离子电池
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脉冲激光沉积系统(PLD)的应用——制备GaN薄膜 被引量:4
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作者 李晓兰 薛琴 王建秋 《现代电子技术》 2008年第22期12-14,共3页
采用脉冲激光沉积技术,在Al2O3衬底上生长GaN薄膜,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)研究不同沉积温度、不同沉积压强对所生长的GaN薄膜晶体结构特征的影响。研究表明,在750℃的沉积温度时,GaN薄膜的结晶质量较高;在20 Pa以下的沉... 采用脉冲激光沉积技术,在Al2O3衬底上生长GaN薄膜,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)研究不同沉积温度、不同沉积压强对所生长的GaN薄膜晶体结构特征的影响。研究表明,在750℃的沉积温度时,GaN薄膜的结晶质量较高;在20 Pa以下的沉积气压下,GaN薄膜的晶体质量随着沉积气压的升高而提高。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积系统 GAN材料 薄膜材料 沉积温度 沉积气压
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应力与取向调控超薄La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_(3)薄膜各向异性的研究
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作者 周国伟 李枝兰 王晓娇 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第19期72-77,共6页
本工作采用带有原位反射式高能电子衍射(RHEED)的脉冲激光沉积系统,分别在(001)和(110)两种取向的SrTiO_(3)、(LaSr)(AlTa)O_(3)、LaAlO_(3)三种衬底上沉积厚度为13个晶胞(unit cell,u.c.)的高质量超薄La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_(3)(LSMO)薄... 本工作采用带有原位反射式高能电子衍射(RHEED)的脉冲激光沉积系统,分别在(001)和(110)两种取向的SrTiO_(3)、(LaSr)(AlTa)O_(3)、LaAlO_(3)三种衬底上沉积厚度为13个晶胞(unit cell,u.c.)的高质量超薄La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_(3)(LSMO)薄膜。首先,采用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面形貌进行表征;其次,通过综合物性测量系统(PPMS)对薄膜磁各向异性变化进行表征;最后,利用同步辐射软X射线吸收谱技术研究薄膜中锰的轨道占据状态。综合研究发现,无论LSMO薄膜沉积在哪一种取向的衬底上,受拉应力作用的电子均优先占据面内轨道,LSMO薄膜表现出面内易磁化特性;而受压应力作用的电子则优先占据面外轨道,LSMO薄膜表现为垂直磁各向异性。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积系统 应力与取向 超薄LSMO薄膜 各向异性 轨道占据
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