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脉冲激光沉积(PLD)的研究动态与新发展 被引量：5
1
作者 高国棉 陈长乐 +4 位作者 陈钊 李谭 王永仓 金克新 赵省贵 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期69-71,共3页
介绍了脉冲激光沉积薄膜技术的原理、特点,详细探讨了脉冲激光沉积的研究动态和发展趋势。大量研究表明,PLD 技术是目前制备薄膜的最好方法之一。
关键词 pld 脉冲激光沉积 薄膜技术 原理 研究动态 新发展
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脉冲激光沉积法沉积类金刚石薄膜的实验研究 被引量：6
2
作者 罗乐 赵读亮 +3 位作者 储雅琼 汪毅 马跃 陶汝华 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期759-763,共5页
为了研究脉冲激光沉积法中衬底温度和距离对类金刚石薄膜的影响,首先温度保持在200℃,靶和衬底间的距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。其次温度保持在400℃,距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。用Raman光谱仪对薄... 为了研究脉冲激光沉积法中衬底温度和距离对类金刚石薄膜的影响,首先温度保持在200℃,靶和衬底间的距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。其次温度保持在400℃,距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测,用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行检测。实验结果表明:距离增加或者温度升高都会导致类金刚石薄膜的密度和sp^3/sp^2的比值减小,薄膜中石墨晶粒的数量增多和体积增大。近距离时温度的变化和低温时距离的变化对薄膜微观结构产生的影响更明显。距离和温度的变化对类金刚石薄膜的表面形貌也产生显著的影响。 展开更多
关键词 激光技术 脉冲激光沉积法 类金刚石薄膜 微观结构 表面形貌
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脉冲激光沉积法制备ZnO基薄膜研究进展 被引量：12
3
作者 董伟伟 陶汝华 方晓东 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期1-9,共9页
作为一种新型的Ⅱ-Ⅵ半导体材料, ZnO具有优良的光学和电学性能,在紫外光发射器件、自旋功能器件、气体探测器、表面声波器件等领域有着广阔的应用前景。首先介绍了ZnO材料和脉冲激光溅射法的一些相关内容,然后从材料制备角度着重阐述... 作为一种新型的Ⅱ-Ⅵ半导体材料, ZnO具有优良的光学和电学性能,在紫外光发射器件、自旋功能器件、气体探测器、表面声波器件等领域有着广阔的应用前景。首先介绍了ZnO材料和脉冲激光溅射法的一些相关内容,然后从材料制备角度着重阐述了目前利用脉冲激光沉积法(PLD)制备ZnO基薄膜的若干重要研究方向,例如p型掺杂、 p-n结的制备、 Mg掺杂、 Cd掺杂和磁性离子掺杂等。 展开更多
关键词 激光技术 半导体材料 脉冲激光沉积法 ZnO基薄膜
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NaF薄膜的脉冲激光沉积法制备与结构研究 被引量：3
4
作者 詹勇军 吴卫东 +3 位作者 王锋 白黎 唐永建 谌家军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期633-637,共5页
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上制备了NaF薄膜。在激光重复频率2 Hz,能量密度3 J/cm2,本底真空度5×10-5Pa的条件下,研究衬底温度对薄膜沉积速率及结构的影响。台阶仪分析表明:薄膜的沉积速率随衬底温度增加呈指数函数增... 采用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上制备了NaF薄膜。在激光重复频率2 Hz,能量密度3 J/cm2,本底真空度5×10-5Pa的条件下,研究衬底温度对薄膜沉积速率及结构的影响。台阶仪分析表明:薄膜的沉积速率随衬底温度增加呈指数函数增加,算出NaF薄膜的反应激活能为48.67 kJ/mol。原子力显微镜分析表明:薄膜致密而光滑,均方根粗糙度为0.553 nm。扫描电镜截面微观形貌分析表明:薄膜呈现柱状结构。X射线衍射分析表明:NaF薄膜为面心立方晶体结构,并具有显著的择优取向;当衬底温度约为400℃时,平均晶粒尺寸最大(129.6 nm),晶格微应变最小(0.225%)。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积(pld) NaF薄膜 ICF靶 面心立方结构 反应激活能
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脉冲激光沉积法生长In掺杂SrTiO3薄膜及其微观结构研究 被引量：2
5
作者 张亦文 李效民 +3 位作者 赵俊亮 于伟东 高相东 吴峰 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期531-534,共4页
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在MgO/TiN/Si(100)衬底上,生长不同In掺杂量的SrIn_xTi_(1-x)O_3(x=0、0.1、0.2)薄膜,研究In掺杂及本征SrTiO_3(STO)缓冲层对薄膜结晶性能、表面形貌、生长模式及紫外拉曼光谱特性的影响.结果表明,In掺杂导致... 采用脉冲激光沉积(PLD)方法在MgO/TiN/Si(100)衬底上,生长不同In掺杂量的SrIn_xTi_(1-x)O_3(x=0、0.1、0.2)薄膜,研究In掺杂及本征SrTiO_3(STO)缓冲层对薄膜结晶性能、表面形貌、生长模式及紫外拉曼光谱特性的影响.结果表明,In掺杂导致薄膜结晶度降低,通过引入本征STO缓冲层可有效提高In掺杂STO薄膜的结晶度,增强薄膜的(200)择优取向性.然而随In掺杂量的增加,薄膜表面平均粗糙度增大;生长模式由层状生长转变为岛状-层状复合模式;拉曼一次声子振动模式峰强逐渐增强,说明薄膜的晶体对称性降低. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积法 SRTIO3薄膜 缓冲层 结晶度
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用脉冲激光沉积法在Al_2O_3上沉积类金刚石薄膜 被引量：1
6
作者 罗乐 储雅琼 +3 位作者 秦娟娟 方晓东 方尚旭 陶汝华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第6期1106-1110,共5页
为了研究沉积时间和衬底温度对类金刚石薄膜的影响,在用脉冲激光沉积法在Al2O3衬底上制备类金刚石薄膜的实验中,保持其他实验参数不变,先取沉积时间分别为15 min和40 min来沉积薄膜;再取衬底温度分别30℃和300℃来沉积薄膜。用显微镜观... 为了研究沉积时间和衬底温度对类金刚石薄膜的影响,在用脉冲激光沉积法在Al2O3衬底上制备类金刚石薄膜的实验中,保持其他实验参数不变,先取沉积时间分别为15 min和40 min来沉积薄膜;再取衬底温度分别30℃和300℃来沉积薄膜。用显微镜观察薄膜是否有起皱现象,用Raman光谱仪检测薄膜的微观结构,用原子力显微镜检测薄膜的表面形貌。结果表明:薄膜中存在一些石墨颗粒。沉积时间和衬底温度对薄膜的黏附性和微观结构均有显著影响——延长沉积时间或升高衬底温度都将导致薄膜内的残余应力增加和薄膜起皱。缩短沉积时间或升高衬底温度都将导致薄膜中的sp3/sp2比值减小、非晶态的sp2键向石墨晶相转化、石墨晶粒数量增多,体积增大。最后,根据脉冲激光沉积类金刚石薄膜的机理对实验现象进行了分析。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积法 类金刚石薄膜 衬底温度 沉积时间 黏附性 微观结构
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脉冲激光沉积法制备的Ge(S_(90)Se_(10))_2硫系薄膜中的光致漂白效应研究(英文)
7
作者 周学东 董国平 +3 位作者 肖秀娣 陶海征 赵修建 潘瑞琨 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期18-21,共4页
运用激光脉冲沉积法(PLD)制备了Ge(S90Se10)2薄膜,通过运用紫外汞灯对制备的薄膜进行不同时间的辐照,我们确定了达到饱和状态所需要的辐照时间(90分钟)。当薄膜处于饱和状态时,巨大的光致漂白效应被观察到了(ΔE=0.36ev)。此外,在本文中... 运用激光脉冲沉积法(PLD)制备了Ge(S90Se10)2薄膜,通过运用紫外汞灯对制备的薄膜进行不同时间的辐照,我们确定了达到饱和状态所需要的辐照时间(90分钟)。当薄膜处于饱和状态时,巨大的光致漂白效应被观察到了(ΔE=0.36ev)。此外,在本文中,我们也对光致漂白效应的机理进行了阐述,一种新型的光电子材料被发现了。 展开更多
关键词 激光脉冲沉积法(pld) 光致漂白 Ge(S90Se10)2薄膜 能隙
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脉冲激光沉积法制备Ca_3Co_4O_9热电薄膜的研究
8
作者 吴东 李智东 +3 位作者 赵昆渝 张辉 葛振华 张鹏翔 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第2期297-300,共4页
分别采用固相法和溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了Ca3Co4O9热电陶瓷靶材,对Ca3Co4O9薄膜的成膜工艺及机制进行了分析与探讨,在此基础上,采用适当的靶材利用脉冲激光沉积(PLD)技术在(0001)晶向(c轴)的Al2O3衬底上生长了单相的Ca3Co4O9薄膜。... 分别采用固相法和溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了Ca3Co4O9热电陶瓷靶材,对Ca3Co4O9薄膜的成膜工艺及机制进行了分析与探讨,在此基础上,采用适当的靶材利用脉冲激光沉积(PLD)技术在(0001)晶向(c轴)的Al2O3衬底上生长了单相的Ca3Co4O9薄膜。通过X-射线衍射(XRD)仪、金相显微镜及扫描电镜(SEM)等表征手段,研究了靶材与薄膜的制备工艺对热电薄膜的物相、显微结构及形貌的影响。用直流四探针法测定了靶材和薄膜电阻率与温度的关系,结果表明,薄膜具有明显的半导体特性。 展开更多
关键词 CA3CO4O9 热电陶瓷 热电薄膜 脉冲激光沉积(pld)
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脉冲激光沉积法制备抗近红外/紫外金属氧化物纳米薄膜
9
作者 朱超 官文超 +1 位作者 龙华 曹远美 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期3159-3161,共3页
用准分子脉冲激光沉积法(PLD)制备了一系列的锌、铁、钛、银、铝、硅、铜等的氧化物单层和多层薄膜,用AFM研究了薄膜的组成和结构;经紫外和红外光谱发现:抗紫外性能最好的是氧化锌,在190～380nm区间,其吸收率可达90%以上.抗近红外性能... 用准分子脉冲激光沉积法(PLD)制备了一系列的锌、铁、钛、银、铝、硅、铜等的氧化物单层和多层薄膜,用AFM研究了薄膜的组成和结构;经紫外和红外光谱发现:抗紫外性能最好的是氧化锌,在190～380nm区间,其吸收率可达90%以上.抗近红外性能最好的是氧化银薄膜,其次依次是氧化铁、氧化锌、氧化钛、氧化铝、氧化铜;多层薄膜中,含有氧化锌层的抗紫外效果最好;含有氧化银层的抗近红外性能效果最好.如氧化铁/氧化锌/氧化银薄膜,在190～380nm区间,其吸收率接近100%,近红外(780～2500nm)吸收率在70%以上,最高可达90%.在可见光区其透过率在80%左右. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积法 金属氧化物 纳米薄膜 抗近红外/紫外性能
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椭偏光谱法研究激光脉冲沉积MgO薄膜材料生长
10
作者 张曰理 莫党 +3 位作者 陈晓原 MAKChee-leng WONGKin-hung CHOYChung-loong 《中山大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期18-22,共5页
用激光脉冲沉积技术生长、制备出了一系列不同真空度、不同衬底温度和不同激光脉冲能量的MgO薄膜.对生长、制备出的一系列MgO薄膜进行了椭偏光谱测量研究,在300～800nm光谱波长范围内,得到了不同条件下生长制备的MgO薄膜的光学常数谱和... 用激光脉冲沉积技术生长、制备出了一系列不同真空度、不同衬底温度和不同激光脉冲能量的MgO薄膜.对生长、制备出的一系列MgO薄膜进行了椭偏光谱测量研究,在300～800nm光谱波长范围内,得到了不同条件下生长制备的MgO薄膜的光学常数谱和膜厚,其结果显示:真空度、衬底温度和激光脉冲能量对生长MgO薄膜的折射率、膜厚均有影响,高真空、高衬底温度和适中的激光脉冲能量有利于生长制备高折射率、高密度和高质量的MgO薄膜. 展开更多
关键词 MgO薄膜材料 激光脉冲沉积法 椭偏光谱法 光学常数 膜厚 薄膜生长 铁电薄膜
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脉冲激光沉积法制备Sb_(2)S_(3)薄膜太阳能电池 被引量：3
11
作者 郑皓天 张立建 +3 位作者 陈超 江国顺 陈涛 朱长飞 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期733-737,共5页
利用脉冲激光沉积法(PLD)制备出高质量的Sb_(2)S_(3)薄膜.通过改变沉积时间来调节Sb_(2)S_(3)薄膜的厚度,进而研究不同Sb_(2)S_(3)厚度对电池效率的影响.研究发现,当沉积时间为5 min时,Sb_(2)S_(3)太阳能电池效率达到最高,为3.98%.分析... 利用脉冲激光沉积法(PLD)制备出高质量的Sb_(2)S_(3)薄膜.通过改变沉积时间来调节Sb_(2)S_(3)薄膜的厚度,进而研究不同Sb_(2)S_(3)厚度对电池效率的影响.研究发现,当沉积时间为5 min时,Sb_(2)S_(3)太阳能电池效率达到最高,为3.98%.分析外量子效率和电化学阻抗谱发现,厚度的变化会影响Sb_(2)S_(3)层对光的吸收能力,同时也会增加光生载流子的非辐射复合,从而影响电池的效率. 展开更多
关键词 三硫化二锑 脉冲激光沉积法 薄膜 太阳能电池
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脉冲激光沉积法制备LiCoO_2薄膜阴极 被引量：1
12
作者 陈国光 霍文培 李晶泽 《华南师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2009年第A02期49-51,共3页
脉冲激光沉积方法(PLD)制备LiCoO2薄膜的关键因素之一是激光的功率.在功率不小于160 mJ时,薄膜的结晶程度相对较高,出现(003)晶面的择优取向;且薄膜表面光滑,没有附着尺寸大小不一的纳米颗粒;恒流充放电测试20周内放电容量没有衰减,循... 脉冲激光沉积方法(PLD)制备LiCoO2薄膜的关键因素之一是激光的功率.在功率不小于160 mJ时,薄膜的结晶程度相对较高,出现(003)晶面的择优取向;且薄膜表面光滑,没有附着尺寸大小不一的纳米颗粒;恒流充放电测试20周内放电容量没有衰减,循环性能好. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积法 LICOO2 薄膜锂离子电池 激光功率 电化学性能
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脉冲激光沉积法制备Pt薄膜的研究
13
作者 李理 朱俊 +4 位作者 李扬权 经晶 周文 罗文博 李言荣 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期922-925,共4页
采用脉冲激光沉积技术在(0001)取向的蓝宝石基片上外延生长了Pt单晶薄膜,研究了沉积温度和激光能量对Pt薄膜的晶体结构,表面形貌及电学性能的影响规律。X射线衍射(XRD)分析结果表明,在沉积温度650℃、激光脉冲频率1Hz和激光能量280mJ的... 采用脉冲激光沉积技术在(0001)取向的蓝宝石基片上外延生长了Pt单晶薄膜,研究了沉积温度和激光能量对Pt薄膜的晶体结构,表面形貌及电学性能的影响规律。X射线衍射(XRD)分析结果表明,在沉积温度650℃、激光脉冲频率1Hz和激光能量280mJ的条件下,制备得到的Pt(111)单晶薄膜,其(111)面ω摇摆曲线半高宽(FWHM)仅为0.068°。原子力显微镜(AFM)分析表明外延的Pt薄膜表面具有原子级平整度,其表面均方根粗糙度(RMS)约为1.776nm。四探针电阻测试结果显示薄膜方阻为1.962Ω/□,满足铁电薄膜的制备工艺对Pt底电极的要求。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积(pld) Pt薄膜 电学性能 表面形貌 蓝宝石衬底
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氧等离子体辅助脉冲激光沉积法制备PMN-PT薄膜的微观结构和电学性能(英文)
14
作者 何邕 李效民 +2 位作者 高相东 冷雪 王炜 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1227-1232,共6页
采用氧等离子体辅助脉冲激光沉积方法(PLD)在硅衬底上,制备出高度(001)取向的钙钛矿相结构钛铌镁酸铅(PMN-PT)薄膜.研究了氧等离子体辅助对PMN-PT薄膜相结构、微观形貌和电学性能的影响.结果表明,通过在薄膜沉积过程中引入高活性的氧等... 采用氧等离子体辅助脉冲激光沉积方法(PLD)在硅衬底上,制备出高度(001)取向的钙钛矿相结构钛铌镁酸铅(PMN-PT)薄膜.研究了氧等离子体辅助对PMN-PT薄膜相结构、微观形貌和电学性能的影响.结果表明,通过在薄膜沉积过程中引入高活性的氧等离子,可以有效地提高PMN-PT薄膜的结晶质量和微观结构.未采用氧等离子体辅助PLD方法制备PMN-PT薄膜的介电常数(10 kHz)和剩余极化(2Pr)分别为1484和18μC/cm2,通过采用氧等离子体辅助,其介电常数和剩余极化分别提高至3012和38μC/cm2. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积法 PMN-PT薄膜 微观结构 电学性能
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飞秒脉冲激光沉积Si基α轴择优取向的钛酸铋铁电薄膜及Ⅰ-Ⅴ特性研究 被引量：4
15
作者 周幼华 郑启光 +2 位作者 杨光 龙华 陆培祥 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期1230-1236,共7页
采用飞秒脉冲激光沉积系统,在Si(111)衬底上制备了a轴和c轴择优取向的Bi4Ti3O12薄膜．X射线衍射(XRD)表明:室温(20℃)下沉积的Bi4Ti3O12／Si(111)薄膜呈c轴择优取向,晶粒的平均直径为20nm．在500℃沉积的Bi4Ti3O12／Si(111)薄膜呈a轴择... 采用飞秒脉冲激光沉积系统,在Si(111)衬底上制备了a轴和c轴择优取向的Bi4Ti3O12薄膜．X射线衍射(XRD)表明:室温(20℃)下沉积的Bi4Ti3O12／Si(111)薄膜呈c轴择优取向,晶粒的平均直径为20nm．在500℃沉积的Bi4Ti3O12／Si(111)薄膜呈a轴择优取向．测量了薄膜的电滞回线和Ⅰ-Ⅴ特性曲线,并用分布参数电路研究了Bi4Ti3O12薄膜的,Ⅰ-Ⅴ特性曲线和铁电性的关联性．a轴择优取向Bi4Ti3O12薄膜的剩余极化强度Pr=15μC／cm2,矫顽力Ec=48kV／cm． 展开更多
关键词 飞秒 脉冲激光沉积法(pld) 钛酸铋 铁电薄膜
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脉冲激光沉积类金刚石膜红外增透技术研究 被引量：4
16
作者 杨雪 汪怡平 +3 位作者 郭延龙 曹海源 米朝伟 田方涛 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第1期46-51,共6页
针对传统方法制备类金刚石(DLC)膜存在的3～5μm波段红外透过率低这一难题,采用飞秒脉冲激光沉积(PLD)法在红外材料硅基底上镀制DLC膜。重点考查了靶材与基片的间距、背景气压、激光单脉冲能量、负偏压、温度以及掺硅量等工艺参数对其... 针对传统方法制备类金刚石(DLC)膜存在的3～5μm波段红外透过率低这一难题,采用飞秒脉冲激光沉积(PLD)法在红外材料硅基底上镀制DLC膜。重点考查了靶材与基片的间距、背景气压、激光单脉冲能量、负偏压、温度以及掺硅量等工艺参数对其透过率的影响,经过大量的实验与优化分析,总结出一套有效的脉冲激光沉积DLC膜工艺来制备优良的光学保护增透膜。相比传统工艺,大大提高了3～5μm波段的平均红外透过率,在硅基底上单面镀制DLC膜的最高红外透过率达到了68.2%,与理论最高值的68.7%仅相差0.5%。 展开更多
关键词 飞秒脉冲激光 脉冲激光沉积法 类金刚石膜 红外透过率
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激光频率对用PLD法生长氧化锌薄膜特性的影响 被引量：2
17
作者 吴木生 叶志清 +2 位作者 王根生 邓海东 欧阳桂仓 《江西师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2008年第1期55-57,共3页
用脉冲激光沉积法(PLD)在硅(100)衬底上制备了c轴取向的高质量的ZnO薄膜.分析了不同激光频率下薄膜的结晶状况,通过对薄膜的PL谱的测试,分析了不同激光频率下薄膜的发光特性状况,同时进行了薄膜结构的测试.结果显示:激光频率为3 Hz的样... 用脉冲激光沉积法(PLD)在硅(100)衬底上制备了c轴取向的高质量的ZnO薄膜.分析了不同激光频率下薄膜的结晶状况,通过对薄膜的PL谱的测试,分析了不同激光频率下薄膜的发光特性状况,同时进行了薄膜结构的测试.结果显示:激光频率为3 Hz的样品结晶质量较高,具有很高的c轴择优取向,同时发光性能达到相对优化. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积法 氧化锌 X射线衍射 激光频率 光致发光
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纳米薄膜脉冲激光沉积技术 被引量：1
18
作者 李美成 赵连城 +2 位作者 杨建平 陈学康 吴敢 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期1-4,48,共5页
简要介绍了脉冲激光薄膜沉积 (PLD)技术的物理原理、独具的特点 ,并且介绍了在PLD基础上结合分子束外延 (MBE)特点发展起来的激光分子束外延 (L -MBE) ,以及采用L
关键词 脉冲激光薄膜沉积 pld 激光分子束外延 L-MBE 硅基纳米 PtSi薄膜 薄膜科学
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脉冲激光沉积类金刚石膜和生物相容性 被引量：2
19
作者 罗乐 曹兴焕 +4 位作者 张霆 方晓东 严中亚 陶汝华 程光存 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期59-61,共3页
类金刚石膜具有很高的硬度、很小的摩擦系数、很高的化学稳定性和很好的生物相容性,在生物医学领域中具有巨大的应用价值。首先,论述了类金刚石薄膜的微观结构、物理化学特性和生物相容性以及它们之间的相互联系。总结了脉冲激光沉积类... 类金刚石膜具有很高的硬度、很小的摩擦系数、很高的化学稳定性和很好的生物相容性,在生物医学领域中具有巨大的应用价值。首先,论述了类金刚石薄膜的微观结构、物理化学特性和生物相容性以及它们之间的相互联系。总结了脉冲激光沉积类金刚石薄膜过程中实验参数对类金刚石薄膜的微观结构和特性的影响。为类金刚石薄膜的研究与生物医学应用提供一个参考。 展开更多
关键词 类金刚石膜 脉冲激光沉积法 生物相容性 微观结构 功能梯度膜
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WO_3/Si纳米晶薄膜的脉冲准分子激光沉积及结构分析 被引量：2
20
作者 方国家 刘祖黎 姚凯伦 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期139-144,共6页
采用脉冲准分子激光大面积扫描沉积技术，在Ｓｉ（１１１）单晶衬底上沉积了 ＷＯｘ薄膜．采用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、喇曼光谱（ＲＳ）、付里叶红外光谱（ＦＴ－ＩＲ）及透射电镜扫描附件（ＳＴＥＭ）对不同条件下沉积的样品进行了结... 采用脉冲准分子激光大面积扫描沉积技术，在Ｓｉ（１１１）单晶衬底上沉积了 ＷＯｘ薄膜．采用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、喇曼光谱（ＲＳ）、付里叶红外光谱（ＦＴ－ＩＲ）及透射电镜扫描附件（ＳＴＥＭ）对不同条件下沉积的样品进行了结构分析．结果表明，氧分压和沉积温度是决定薄膜结构和成份的主要参数．在沉积温度３００℃以上及２０Ｐａ氧压下得到了三斜相纳米晶ＷＯ３薄膜． 展开更多
关键词 三氧化钨薄膜 纳米晶 脉冲准分子激光沉积 pld 结构分析 SI(111)衬底 性能 WO3薄膜 电致变色材料
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