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脉冲激光沉积薄膜技术研究新进展 被引量:31
1
作者 敖育红 胡少六 +2 位作者 龙华 徐业斌 王又青 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期453-456,459,共5页
脉冲激光沉积薄膜是近年来发展起来的使用范围最广、最有希望的制膜技术。陈述了其原理、特点、研究方法 ,总结了超快脉冲激光、脉冲激光真空弧。
关键词 超快脉冲激光沉积 双光束脉冲激光沉积 脉冲激光真空弧薄膜制备 薄膜技术
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脉冲激光沉积(PLD)的研究动态与新发展 被引量:5
2
作者 高国棉 陈长乐 +4 位作者 陈钊 李谭 王永仓 金克新 赵省贵 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期69-71,共3页
介绍了脉冲激光沉积薄膜技术的原理、特点,详细探讨了脉冲激光沉积的研究动态和发展趋势。大量研究表明,PLD 技术是目前制备薄膜的最好方法之一。
关键词 pld 脉冲激光沉积 薄膜技术 原理 研究动态 新发展
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脉冲激光沉积技术在磁性薄膜制备中的应用 被引量:9
3
作者 邓联文 江建军 何华辉 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第2期66-68,共3页
脉冲激光沉积制膜(PLD)是近年来迅速发展起来的制膜新技术,首先简要介绍了脉冲激光沉积技术的原理、特点和优势以及在磁性功能薄膜研究中的应用,最后说明了该技术的最新发展趋势。
关键词 脉冲激光沉积技术 制备 磁性薄膜 外延生长 超晶格 成膜机理
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纳米薄膜脉冲激光沉积技术 被引量:1
4
作者 李美成 赵连城 +2 位作者 杨建平 陈学康 吴敢 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期1-4,48,共5页
简要介绍了脉冲激光薄膜沉积 (PLD)技术的物理原理、独具的特点 ,并且介绍了在PLD基础上结合分子束外延 (MBE)特点发展起来的激光分子束外延 (L -MBE) ,以及采用L
关键词 脉冲激光薄膜沉积 pld 激光分子束外延 L-MBE 硅基纳米 PtSi薄膜 薄膜科学
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电介质表面金属功能图案激光加工技术研究进展
5
作者 肖荣诗 魏佳硕 +1 位作者 崔梦雅 黄婷 《航空制造技术》 北大核心 2025年第1期22-35,共14页
电介质表面金属功能图案在航空航天、消费电子、柔性传感等领域的需求日益增长。激光加工作为一种无需掩膜的柔性制造技术,具有加工精度高、非接触式加工、制造效率高等优点,可以在多种电介质表面实现金属功能图案的直接制造,近年来发... 电介质表面金属功能图案在航空航天、消费电子、柔性传感等领域的需求日益增长。激光加工作为一种无需掩膜的柔性制造技术,具有加工精度高、非接触式加工、制造效率高等优点,可以在多种电介质表面实现金属功能图案的直接制造,近年来发展迅速。按照自上而下和自下而上的技术路线,分别概述激光刻蚀、选择性激光烧结、脉冲激光沉积、激光诱导化学液相沉积、激光诱导化学气相沉积、激光辅助化学镀6种激光加工技术的原理和优势,及它们在电介质表面加工金属功能图案的最新研究进展,并总结相应的技术瓶颈和未来发展趋势。 展开更多
关键词 激光加工 金属功能图案 激光刻蚀 选择性激光烧结(SLS) 脉冲激光沉积(pld) 激光诱导化学液相沉积(LCLD) 激光诱导化学气相沉积(LCVD) 激光辅助化学镀(LEP)
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脉冲激光气相沉积技术现状与进展 被引量:8
6
作者 张超 吴卫东 +4 位作者 陈正豪 周岳亮 孙卫国 唐永建 程新路 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第12期73-76,共4页
介绍了脉冲激光沉积法(PLD)制备薄膜技术的原理、特点和这一研究领域的现状,着重介绍了脉冲激光沉积薄膜技术的研究动态和进展情况。大量研究表明,脉冲激光沉积法是一种最好的制备薄膜的方法之一。
关键词 脉冲激光气相沉积技术 pld 薄膜制备 电学性能
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脉冲激光制膜新技术及其在功能薄膜研究中的应用 被引量:15
7
作者 李美亚 王忠烈 +2 位作者 林揆训 熊光成 范守善 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期132-135,共4页
脉冲激光制膜是近年来发展的富有希望的制膜新技术。本文简要介绍了脉冲激光制膜技术的原理、特点和优势以及在功能薄膜研究中的应用。
关键词 脉冲激光制膜 功能薄膜 外延生长 pld 薄膜技术
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飞秒脉冲激光沉积Si基α轴择优取向的钛酸铋铁电薄膜及Ⅰ-Ⅴ特性研究 被引量:4
8
作者 周幼华 郑启光 +2 位作者 杨光 龙华 陆培祥 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期1230-1236,共7页
采用飞秒脉冲激光沉积系统,在Si(111)衬底上制备了a轴和c轴择优取向的Bi4Ti3O12薄膜.X射线衍射(XRD)表明:室温(20℃)下沉积的Bi4Ti3O12/Si(111)薄膜呈c轴择优取向,晶粒的平均直径为20nm.在500℃沉积的Bi4Ti3O12/Si(111)薄膜呈a轴择... 采用飞秒脉冲激光沉积系统,在Si(111)衬底上制备了a轴和c轴择优取向的Bi4Ti3O12薄膜.X射线衍射(XRD)表明:室温(20℃)下沉积的Bi4Ti3O12/Si(111)薄膜呈c轴择优取向,晶粒的平均直径为20nm.在500℃沉积的Bi4Ti3O12/Si(111)薄膜呈a轴择优取向.测量了薄膜的电滞回线和Ⅰ-Ⅴ特性曲线,并用分布参数电路研究了Bi4Ti3O12薄膜的,Ⅰ-Ⅴ特性曲线和铁电性的关联性.a轴择优取向Bi4Ti3O12薄膜的剩余极化强度Pr=15μC/cm2,矫顽力Ec=48kV/cm. 展开更多
关键词 飞秒 脉冲激光沉积法(pld) 钛酸铋 铁电薄膜
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脉冲激光纳米薄膜制备技术 被引量:7
9
作者 李美成 陈学康 +2 位作者 杨建平 王菁 赵连城 《红外与激光工程》 EI CSCD 2000年第6期31-35,共5页
脉冲激光薄膜沉积 (PLD)是近年来受到普遍关注的制膜新技术。简要介绍了该技术的物理原理 ;探讨了脉冲激光沉积制膜的物理过程 ,激光作用的极端条件及等离子体羽辉形成的控制对薄膜成长的影响 ;评价了脉冲激光沉积技术在多种功能材料薄... 脉冲激光薄膜沉积 (PLD)是近年来受到普遍关注的制膜新技术。简要介绍了该技术的物理原理 ;探讨了脉冲激光沉积制膜的物理过程 ,激光作用的极端条件及等离子体羽辉形成的控制对薄膜成长的影响 ;评价了脉冲激光沉积技术在多种功能材料薄膜 ,特别是纳米薄膜及多层结构薄膜的制备方面的特点和优势。结合自行研制的设备 ,介绍了在PLD基础上发展起来的兼具分子束外延 (MBE)技术特点的激光分子束外延技术 (L MBE)。指出脉冲激光沉积技术在探讨激光与物质相互作用和薄膜成膜机理方面的作用 ,尤其是激光分子束外延技术在高质量的纳米薄膜和超晶格等人工设计薄膜的制备上显现出的巨大潜力。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 制膜技术 纳米薄膜
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脉冲激光沉积法沉积类金刚石薄膜的实验研究 被引量:6
10
作者 罗乐 赵读亮 +3 位作者 储雅琼 汪毅 马跃 陶汝华 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期759-763,共5页
为了研究脉冲激光沉积法中衬底温度和距离对类金刚石薄膜的影响,首先温度保持在200℃,靶和衬底间的距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。其次温度保持在400℃,距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。用Raman光谱仪对薄... 为了研究脉冲激光沉积法中衬底温度和距离对类金刚石薄膜的影响,首先温度保持在200℃,靶和衬底间的距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。其次温度保持在400℃,距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜。用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测,用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行检测。实验结果表明:距离增加或者温度升高都会导致类金刚石薄膜的密度和sp^3/sp^2的比值减小,薄膜中石墨晶粒的数量增多和体积增大。近距离时温度的变化和低温时距离的变化对薄膜微观结构产生的影响更明显。距离和温度的变化对类金刚石薄膜的表面形貌也产生显著的影响。 展开更多
关键词 激光技术 脉冲激光沉积 类金刚石薄膜 微观结构 表面形貌
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脉冲激光沉积法制备ZnO基薄膜研究进展 被引量:12
11
作者 董伟伟 陶汝华 方晓东 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期1-9,共9页
作为一种新型的Ⅱ-Ⅵ半导体材料, ZnO具有优良的光学和电学性能,在紫外光发射器件、自旋功能器件、气体探测器、表面声波器件等领域有着广阔的应用前景。首先介绍了ZnO材料和脉冲激光溅射法的一些相关内容,然后从材料制备角度着重阐述... 作为一种新型的Ⅱ-Ⅵ半导体材料, ZnO具有优良的光学和电学性能,在紫外光发射器件、自旋功能器件、气体探测器、表面声波器件等领域有着广阔的应用前景。首先介绍了ZnO材料和脉冲激光溅射法的一些相关内容,然后从材料制备角度着重阐述了目前利用脉冲激光沉积法(PLD)制备ZnO基薄膜的若干重要研究方向,例如p型掺杂、 p-n结的制备、 Mg掺杂、 Cd掺杂和磁性离子掺杂等。 展开更多
关键词 激光技术 半导体材料 脉冲激光沉积 ZnO基薄膜
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脉冲激光沉积制备c轴取向AlN薄膜 被引量:9
12
作者 黄继颇 王连卫 +2 位作者 祝向荣 多新中 林成鲁 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1999年第5期387-389,419,共4页
c轴取向的AlN 具有优异的压电性和声表面波传输特性,已受到人们日益广泛的重视。文章报道了采用KrF脉冲准分子激光沉积工艺,在Si(100)衬底上成功地制备了c轴取向的AlN晶态薄膜。X射线衍射与傅里叶变换红外光谱的... c轴取向的AlN 具有优异的压电性和声表面波传输特性,已受到人们日益广泛的重视。文章报道了采用KrF脉冲准分子激光沉积工艺,在Si(100)衬底上成功地制备了c轴取向的AlN晶态薄膜。X射线衍射与傅里叶变换红外光谱的结果表明,在300 °C~800 °C衬底温度下,薄膜均只有(002)一个衍射峰,但随着温度的升高,薄膜的结晶质量变好;原子力显微镜对800 °C沉积薄膜观察结果显示,薄膜具有高度一致的柱状结构,平均晶粒大小为250 nm 。 展开更多
关键词 氮化铝 脉冲激光沉积 压电性 半导体薄膜技术
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NaF薄膜的脉冲激光沉积法制备与结构研究 被引量:3
13
作者 詹勇军 吴卫东 +3 位作者 王锋 白黎 唐永建 谌家军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期633-637,共5页
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上制备了NaF薄膜。在激光重复频率2 Hz,能量密度3 J/cm2,本底真空度5×10-5Pa的条件下,研究衬底温度对薄膜沉积速率及结构的影响。台阶仪分析表明:薄膜的沉积速率随衬底温度增加呈指数函数增... 采用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上制备了NaF薄膜。在激光重复频率2 Hz,能量密度3 J/cm2,本底真空度5×10-5Pa的条件下,研究衬底温度对薄膜沉积速率及结构的影响。台阶仪分析表明:薄膜的沉积速率随衬底温度增加呈指数函数增加,算出NaF薄膜的反应激活能为48.67 kJ/mol。原子力显微镜分析表明:薄膜致密而光滑,均方根粗糙度为0.553 nm。扫描电镜截面微观形貌分析表明:薄膜呈现柱状结构。X射线衍射分析表明:NaF薄膜为面心立方晶体结构,并具有显著的择优取向;当衬底温度约为400℃时,平均晶粒尺寸最大(129.6 nm),晶格微应变最小(0.225%)。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积(pld) NaF薄膜 ICF靶 面心立方结构 反应激活能
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WO_3/Si纳米晶薄膜的脉冲准分子激光沉积及结构分析 被引量:2
14
作者 方国家 刘祖黎 姚凯伦 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期139-144,共6页
采用脉冲准分子激光大面积扫描沉积技术,在Si(111)单晶衬底上沉积了 WOx薄膜.采用X射线衍射(XRD)、喇曼光谱(RS)、付里叶红外光谱(FT-IR)及透射电镜扫描附件(STEM)对不同条件下沉积的样品进行了结... 采用脉冲准分子激光大面积扫描沉积技术,在Si(111)单晶衬底上沉积了 WOx薄膜.采用X射线衍射(XRD)、喇曼光谱(RS)、付里叶红外光谱(FT-IR)及透射电镜扫描附件(STEM)对不同条件下沉积的样品进行了结构分析.结果表明,氧分压和沉积温度是决定薄膜结构和成份的主要参数.在沉积温度300℃以上及20Pa氧压下得到了三斜相纳米晶WO3薄膜. 展开更多
关键词 三氧化钨薄膜 纳米晶 脉冲准分子激光沉积 pld 结构分析 SI(111)衬底 性能 WO3薄膜 电致变色材料
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铌酸盐无铅压电薄膜的脉冲激光沉积制备研究 被引量:2
15
作者 陆雷 肖定全 +2 位作者 赁敦敏 张永彬 朱建国 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期94-96,99,共4页
采用脉冲激光沉积(PLD)在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了新型Li0.04(Na0.5K0.5)0.96(Nb0.775Ta0.225)O3无铅压电陶瓷薄膜,分别利用X-射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)研究了该薄膜的晶体结构及表面形貌,分析研究了制备技术和工艺对薄膜晶体... 采用脉冲激光沉积(PLD)在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了新型Li0.04(Na0.5K0.5)0.96(Nb0.775Ta0.225)O3无铅压电陶瓷薄膜,分别利用X-射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)研究了该薄膜的晶体结构及表面形貌,分析研究了制备技术和工艺对薄膜晶体结构及表面形貌的影响。研究结果表明:薄膜的热处理温度和氧气压力对所生长的薄膜影响较大;制备Li0.04(Na0.5K0.5)0.96(Nb0.775Ta0.225)O3薄膜的最佳退火温度和氧气压力分别为650℃和30 Pa;利用脉冲激光沉积的Li0.04(Na0.5K0.5)0.96(Nb0.775Ta0.225)O3无铅压电陶瓷薄膜具有精细的表面结构。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积(pld) Li0.04(Na0.5K0.5)0.96(Nb0.775Ta0.225)O3 无铅压电薄膜
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紫外激光脉冲沉积法制备高温超导(Bi,Pb)_2Sr_2CaCu_2O_8薄膜的研究 被引量:3
16
作者 张辉 何恩全 +2 位作者 杨宁 张鹏翔 阮耀钟 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1642-1645,1650,共5页
用紫外脉冲激光沉积技术在单晶衬底上制备高温超导(Bi,Pb)2Sr2CaCu2O8薄膜,系统研究了不同镀膜参数对薄膜结晶质量的影响,获得了优化的镀膜工艺。并在较低温沉积、高温退火,以及高温沉积两种工艺下均获得了具有c轴取向、无杂相及无挥发... 用紫外脉冲激光沉积技术在单晶衬底上制备高温超导(Bi,Pb)2Sr2CaCu2O8薄膜,系统研究了不同镀膜参数对薄膜结晶质量的影响,获得了优化的镀膜工艺。并在较低温沉积、高温退火,以及高温沉积两种工艺下均获得了具有c轴取向、无杂相及无挥发(分解)的(Bi,Pb)2Sr2CaCu2O8薄膜。相比于高温沉积,低温沉积、高温退火制备的薄膜结晶质量更好。 展开更多
关键词 (Bi Pb)2Sr2CaCu2O8薄膜 紫外脉冲激光沉积技术 X射线衍射
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脉冲激光沉积铌酸锶钡铁电薄膜及其性能表征 被引量:3
17
作者 朱建国 肖定全 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期203-206,共4页
利用脉冲激光沉积(PLD)技术在MgO、LSCO/MgO衬底上在位制备了铌酸锶钡(SBN)铁电薄膜,发现SBN薄膜在MgO、LSCO/MgO衬底上均呈(001)择优取向。用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AF... 利用脉冲激光沉积(PLD)技术在MgO、LSCO/MgO衬底上在位制备了铌酸锶钡(SBN)铁电薄膜,发现SBN薄膜在MgO、LSCO/MgO衬底上均呈(001)择优取向。用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)表明SBN薄膜的晶粒细小致密,铁电微畴尺寸约为200nm。SBN薄膜的剩余极化强度为18.6μC/cm2,矫顽场为22.3kV/cm。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 铌酸锶钡 铁电薄膜 薄膜技术
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脉冲激光沉积NiZn铁氧体薄膜的微观结构和磁性 被引量:2
18
作者 奚小网 陈亚杰 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第3期195-198,211,共5页
采用脉冲激光沉积 (PLD)技术 ,分别在单晶硅基片和玻璃基片上沉积了NiZn铁氧体多晶薄膜 ,薄膜为单相尖晶石结构 ,在两种基片上都呈现出一定的 ( 4 0 0 )晶面的择优取向 ,但在硅基片上择优生长更显著 ;随着基片温度t的升高 ,薄膜晶粒尺... 采用脉冲激光沉积 (PLD)技术 ,分别在单晶硅基片和玻璃基片上沉积了NiZn铁氧体多晶薄膜 ,薄膜为单相尖晶石结构 ,在两种基片上都呈现出一定的 ( 4 0 0 )晶面的择优取向 ,但在硅基片上择优生长更显著 ;随着基片温度t的升高 ,薄膜晶粒尺寸逐渐增大 ;在t=5 0 0℃附近饱和磁化强度Ms 出现最小值 ,而矫顽力Hc 出现最大值 ;对薄膜进行退火处理 ,可使细小晶粒长大和内应力减小 。 展开更多
关键词 微观结构 磁性 脉冲激光沉积(pld) MiZn铁氧体 薄膜
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脉冲激光沉积法制备Ca_3Co_4O_9热电薄膜的研究
19
作者 吴东 李智东 +3 位作者 赵昆渝 张辉 葛振华 张鹏翔 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第2期297-300,共4页
分别采用固相法和溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了Ca3Co4O9热电陶瓷靶材,对Ca3Co4O9薄膜的成膜工艺及机制进行了分析与探讨,在此基础上,采用适当的靶材利用脉冲激光沉积(PLD)技术在(0001)晶向(c轴)的Al2O3衬底上生长了单相的Ca3Co4O9薄膜。... 分别采用固相法和溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了Ca3Co4O9热电陶瓷靶材,对Ca3Co4O9薄膜的成膜工艺及机制进行了分析与探讨,在此基础上,采用适当的靶材利用脉冲激光沉积(PLD)技术在(0001)晶向(c轴)的Al2O3衬底上生长了单相的Ca3Co4O9薄膜。通过X-射线衍射(XRD)仪、金相显微镜及扫描电镜(SEM)等表征手段,研究了靶材与薄膜的制备工艺对热电薄膜的物相、显微结构及形貌的影响。用直流四探针法测定了靶材和薄膜电阻率与温度的关系,结果表明,薄膜具有明显的半导体特性。 展开更多
关键词 CA3CO4O9 热电陶瓷 热电薄膜 脉冲激光沉积(pld)
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脉冲激光沉积羟基磷灰石薄膜
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作者 罗乐 丰远 +4 位作者 张霆 方晓东 严中亚 陶汝华 程光存 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1116-1120,共5页
综合论述了生物功能陶瓷材料羟基磷灰石的生物相容性、生物活性和Ca/P比值、相的组成、结晶度、气孔率以及掺杂的化学元素之间的关系;探讨了脉冲激光沉积过程中各个参数对羟基磷灰石薄膜的结构和特性的影响,为羟基磷灰石薄膜的研究与医... 综合论述了生物功能陶瓷材料羟基磷灰石的生物相容性、生物活性和Ca/P比值、相的组成、结晶度、气孔率以及掺杂的化学元素之间的关系;探讨了脉冲激光沉积过程中各个参数对羟基磷灰石薄膜的结构和特性的影响,为羟基磷灰石薄膜的研究与医学应用提供参考。 展开更多
关键词 激光技术 脉冲激光沉积 羟基磷灰石 薄膜 生物相容性
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