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脉冲激光气相沉积技术及其在ICF薄膜靶制备中的应用被引量：25: 1; 作者吴卫东许华 +2 位作者魏胜唐永建陈正豪《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期873-876,共4页; 　在ICF实验及天体物理的辐射不透明实验中,经常用到多层薄膜靶,激光脉冲气相沉积(PLD)技术是制备多层薄膜靶的较好方法。论述了PLD技术的原理、实验方法和装置的设计,用该方法初步制备了原子级光滑的Cu及Cu Fe薄膜。Cu薄膜的均方根粗... 展开更多; 关键词脉冲激光气相沉积 ICF 薄膜靶制备准分子激光器; 在线阅读下载PDF 职称材料

脉冲激光气相沉积法制备钴纳米薄膜实验研究被引量：9: 2; 作者张超吴卫东 +9 位作者程新路杨向东许华陈志梅唐永建孙卫国陈正豪周岳亮何英杰谢军《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期449-452,共4页; 　采用脉冲激光沉积技术制备了钴纳米薄膜,分析和讨论了不同背景气压和脉冲频率对钴纳米薄膜表面形貌的影响及纳米微粒的形成机理。实验结果表明:在低背景气压下,等离子体羽辉自身粒子之间的碰撞占主导作用,容易形成液滴;在较高背景气压... 展开更多; 关键词脉冲激光气相沉积钴单分散性纳米薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

脉冲激光气相沉积技术现状与进展被引量：8: 3; 作者张超吴卫东 +4 位作者陈正豪周岳亮孙卫国唐永建程新路《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第12期73-76,共4页; 介绍了脉冲激光沉积法(PLD)制备薄膜技术的原理、特点和这一研究领域的现状,着重介绍了脉冲激光沉积薄膜技术的研究动态和进展情况。大量研究表明,脉冲激光沉积法是一种最好的制备薄膜的方法之一。; 关键词脉冲激光气相沉积技术 PLD 薄膜制备电学性能; 在线阅读下载PDF 职称材料

Co/BaTiO3纳米复合薄膜的PLD法制备及其Raman光谱被引量：3: 4; 作者何英杰吴卫东 +1 位作者李俊王海珍《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第1期132-135,共4页; 采用脉冲激光气相沉积(PLD)技术在MgO(100)衬底上生长了Co/BaTiO3纳米复合薄膜,利用原子力显微镜、透射电镜、X射线衍射(XRD)及Raman光谱等测试分析手段对Co/BaTiO3纳米复合薄膜进行测试分析。结果表明:薄膜表面均匀、致密,具有原子尺... 展开更多; 关键词脉冲激光气相沉积技术 Co/BaTiO3纳米复合薄膜纳米颗粒拉曼光谱; 在线阅读下载PDF 职称材料

Fe纳米颗粒嵌埋对类金刚石薄膜结构及电学性能的影响被引量：1: 5; 作者李盛印吴卫东 +3 位作者王锋王雪敏唐永建孙卫国《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2027-2031,共5页; 采用脉冲激光气相沉积方法制备了不同Fe嵌埋浓度的Fe:DLC多层纳米复合薄膜。用X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的组成成分进行分析。利用透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱、电流-电压曲线研究Fe纳米颗粒嵌埋对薄膜的微观结构及电学性能的影... 展开更多; 关键词脉冲激光气相沉积类金刚石薄膜铁嵌埋微观结构电导率; 在线阅读下载PDF 职称材料

Fe/Al混合膜的PLD法制备及表面分析被引量：1: 6; 作者何英杰吴卫东 +3 位作者张超李俊许华程新路《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期381-385,共5页; 采用脉冲激光气相沉积(PLD)技术制备了Fe/Al 混合膜,测量了该混合膜的光电子能谱(XPS),并采用原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)对Fe/Al混合膜作了表面分析。结果表明:Fe/Al混合膜的表面粗糙度对衬底温度有明显的依赖性, 随着衬... 展开更多; 关键词脉冲激光气相沉积(PLD) Fe/Al混合膜光电子能谱(XPS) 衬底温度均方根粗糙度; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名脉冲激光气相沉积技术及其在ICF薄膜靶制备中的应用被引量：25: 1; 作者吴卫东许华魏胜唐永建陈正豪; 机构中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期873-876,共4页; 基金国家863惯性约束聚变领域资助课题; 文摘　在ICF实验及天体物理的辐射不透明实验中,经常用到多层薄膜靶,激光脉冲气相沉积(PLD)技术是制备多层薄膜靶的较好方法。论述了PLD技术的原理、实验方法和装置的设计,用该方法初步制备了原子级光滑的Cu及Cu Fe薄膜。Cu薄膜的均方根粗糙度为0.2nm,Fe薄膜的均方根粗糙度为0.4nm。; 关键词脉冲激光气相沉积 ICF 薄膜靶制备准分子激光器; Keywords pulse laser vapor deposition ICF fabrication of filmtargets; 分类号 TL639 [核科学技术—核技术及应用] TN248 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名脉冲激光气相沉积法制备钴纳米薄膜实验研究被引量：9: 2; 作者张超吴卫东程新路杨向东许华陈志梅唐永建孙卫国陈正豪周岳亮何英杰谢军; 机构四川大学原子与分子物理研究所中国工程物理研究院激光聚变研究中心中国科学院物理研究所; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期449-452,共4页; 基金国家自然科学基金资助课题(10276037) 国家863计划项目中国工程物理研究院激光聚变研究中心创新基金资助课题; 文摘　采用脉冲激光沉积技术制备了钴纳米薄膜,分析和讨论了不同背景气压和脉冲频率对钴纳米薄膜表面形貌的影响及纳米微粒的形成机理。实验结果表明:在低背景气压下,等离子体羽辉自身粒子之间的碰撞占主导作用,容易形成液滴;在较高背景气压下,等离子体羽辉边缘粒子和背景气体粒子之间的碰撞占主导作用,容易形成小岛并凝聚成微颗粒;在4Hz的脉冲重复频率和5Pa背景气压下生长出单分散性良好的钴纳米颗粒。; 关键词脉冲激光气相沉积钴单分散性纳米薄膜; Keywords Ablation Cobalt Nanostructured materials Plasmas Targets Thin films; 分类号 TN304.05 [电子电信—物理电子学] TN249 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名脉冲激光气相沉积技术现状与进展被引量：8: 3; 作者张超吴卫东陈正豪周岳亮孙卫国唐永建程新路; 机构四川大学原子与分子物理研究所中国科学院物理研究所中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 出处《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第12期73-76,共4页; 基金国家自然科学基金(批准号:10276037) 国家863惯性约束聚变领域资助课题; 文摘介绍了脉冲激光沉积法(PLD)制备薄膜技术的原理、特点和这一研究领域的现状,着重介绍了脉冲激光沉积薄膜技术的研究动态和进展情况。大量研究表明,脉冲激光沉积法是一种最好的制备薄膜的方法之一。; 关键词脉冲激光气相沉积技术 PLD 薄膜制备电学性能; Keywords pulsed laser deposition,ablation,thin-films,progress; 分类号 TN304.055 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Co/BaTiO3纳米复合薄膜的PLD法制备及其Raman光谱被引量：3: 4; 作者何英杰吴卫东李俊王海珍; 机构中国空空导弹研究院中国工程物理研究院激光聚变中心; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第1期132-135,共4页; 基金国家863计划资助项目(8634165); 文摘采用脉冲激光气相沉积(PLD)技术在MgO(100)衬底上生长了Co/BaTiO3纳米复合薄膜,利用原子力显微镜、透射电镜、X射线衍射(XRD)及Raman光谱等测试分析手段对Co/BaTiO3纳米复合薄膜进行测试分析。结果表明:薄膜表面均匀、致密,具有原子尺度的光滑性;Co纳米晶粒呈单分散、均匀分散在沿C轴呈单取向生长的BaTiO3单晶基体中;随着掺杂Co含量的增高,BaTiO3的Raman峰的峰强随之增大。; 关键词脉冲激光气相沉积技术 Co/BaTiO3纳米复合薄膜纳米颗粒拉曼光谱; Keywords Pulse laser deposition Co/BaTiO3 nano compound thin films Nano particles Raman spectra; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Fe纳米颗粒嵌埋对类金刚石薄膜结构及电学性能的影响被引量：1: 5; 作者李盛印吴卫东王锋王雪敏唐永建孙卫国; 机构四川大学原子与分子物理研究所中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2027-2031,共5页; 基金中国工程物理研究院基金资助课题(2005Z0805); 文摘采用脉冲激光气相沉积方法制备了不同Fe嵌埋浓度的Fe:DLC多层纳米复合薄膜。用X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的组成成分进行分析。利用透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱、电流-电压曲线研究Fe纳米颗粒嵌埋对薄膜的微观结构及电学性能的影响。XPS和TEM表明,Fe纳米颗粒周期性地均匀地嵌埋在碳薄膜中。拉曼光谱表明薄膜中的C为典型的类金刚石结构,Fe纳米颗粒促进芳香环式结构的形成,薄膜结构的有序度提高。电流-电压曲线表明,Fe纳米颗粒的嵌埋导致薄膜的室温电导率增加。; 关键词脉冲激光气相沉积类金刚石薄膜铁嵌埋微观结构电导率; Keywords pulsed laser deposition DLC films Fe-emhedding microstructure electrical conductivity; 分类号 O484.2 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Fe/Al混合膜的PLD法制备及表面分析被引量：1: 6; 作者何英杰吴卫东张超李俊许华程新路; 机构四川大学原子与分子物理所中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期381-385,共5页; 基金国家863计划项目资助课题中国工程物理研究院激光聚变研究中心创新基金资助课题; 文摘采用脉冲激光气相沉积(PLD)技术制备了Fe/Al 混合膜,测量了该混合膜的光电子能谱(XPS),并采用原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)对Fe/Al混合膜作了表面分析。结果表明:Fe/Al混合膜的表面粗糙度对衬底温度有明显的依赖性, 随着衬底温度的升高,薄膜的表面逐渐变得平滑,膜层变得致密,在200 ℃衬底温度下制得了均方根(rms)粗糙度为0.154 nm、具有原子尺度光滑性的Fe/Al混合膜, 膜中Fe和Al分布比较均匀,其成分比约为1∶3,同时XPS分析也表明Fe/Al混合膜暴露在空气中后表面形成了Al2O3 和FeO氧化层。; 关键词脉冲激光气相沉积(PLD) Fe/Al混合膜光电子能谱(XPS) 衬底温度均方根粗糙度; Keywords Atomic force microscopy Fabrication Morphology Scanning electron microscopy Substrates Surface roughness Thin films X ray photoelectron spectroscopy; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	脉冲激光气相沉积技术及其在ICF薄膜靶制备中的应用	吴卫东许华魏胜唐永建陈正豪	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2002	25	在线阅读下载PDF 职称材料
2	脉冲激光气相沉积法制备钴纳米薄膜实验研究	张超吴卫东程新路杨向东许华陈志梅唐永建孙卫国陈正豪周岳亮何英杰谢军	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	9	在线阅读下载PDF 职称材料
3	脉冲激光气相沉积技术现状与进展	张超吴卫东陈正豪周岳亮孙卫国唐永建程新路	《材料导报》 EI CAS CSCD	2003	8	在线阅读下载PDF 职称材料
4	Co/BaTiO3纳米复合薄膜的PLD法制备及其Raman光谱	何英杰吴卫东李俊王海珍	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2008	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	Fe纳米颗粒嵌埋对类金刚石薄膜结构及电学性能的影响	李盛印吴卫东王锋王雪敏唐永建孙卫国	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	Fe/Al混合膜的PLD法制备及表面分析	何英杰吴卫东张超李俊许华程新路	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	1	在线阅读下载PDF 职称材料