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准分子激光直刻横向影响区实验研究
被引量：
4
1
作者
柳海鹏
周月豪
+1 位作者
熊良才
史铁林
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期132-134,共3页
采用248nmKrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区。将其定义为两个部分,通过各部分的大小和颜色变化情况来描述横向影响的程度,研究了它们与激光参数之间的关系。在实验结果的基础上,提出了减小横...
采用248nmKrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区。将其定义为两个部分,通过各部分的大小和颜色变化情况来描述横向影响的程度,研究了它们与激光参数之间的关系。在实验结果的基础上,提出了减小横向影响区的措施和方法。
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关键词
准分子
激光
直刻
横向影响区
脉冲激光参数
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职称材料
题名
准分子激光直刻横向影响区实验研究
被引量：
4
1
作者
柳海鹏
周月豪
熊良才
史铁林
机构
华中科技大学机械科学与工程学院
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期132-134,共3页
基金
国家高技术研究发展计划 (八六三计划 )资助项目(2002AA421190)
文摘
采用248nmKrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区。将其定义为两个部分,通过各部分的大小和颜色变化情况来描述横向影响的程度,研究了它们与激光参数之间的关系。在实验结果的基础上,提出了减小横向影响区的措施和方法。
关键词
准分子
激光
直刻
横向影响区
脉冲激光参数
Keywords
excimer laser
direct etching
transverse aff ect zone
parameters of pulse laser
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
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作者
出处
发文年
被引量
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1
准分子激光直刻横向影响区实验研究
柳海鹏
周月豪
熊良才
史铁林
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005
4
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