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激光分子束外延BaTiO_3/SrTiO_3超晶格的晶格应变研究
被引量：
2
1
作者
姜斌
蒋书文
+2 位作者
李燕
张鹰
李言荣
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期196-199,共4页
采用脉冲激光分子束外延(PLMBE)方法,通过优化的工艺参数,在SrTiO3(100)单晶基片上外延结构为(8/8)的BaTiO3/SrTiO3超晶格薄膜。综合利用反射式高能电子衍射系统(RHEED)、高分辨率X射线衍射(HRXRD)以及高分辨率透射电镜选区电子衍射(SA...
采用脉冲激光分子束外延(PLMBE)方法,通过优化的工艺参数,在SrTiO3(100)单晶基片上外延结构为(8/8)的BaTiO3/SrTiO3超晶格薄膜。综合利用反射式高能电子衍射系统(RHEED)、高分辨率X射线衍射(HRXRD)以及高分辨率透射电镜选区电子衍射(SAED)技术,研究超晶格薄膜的晶格应变现象和规律。研究结果表明,在制备的BaTiO3/SrTiO3超晶格薄膜中,BaTiO3晶胞面外晶格增大,面内晶格减小;而SrTiO3晶胞面内及面外方向晶格都被拉伸,但面外晶格拉伸程度较大,SrTiO3晶胞产生了与BaTiO3晶胞方向一致的四方相转变。
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关键词
晶格应变
超晶格
脉冲激光分子束外延
反射式高能电子衍射
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职称材料
题名
激光分子束外延BaTiO_3/SrTiO_3超晶格的晶格应变研究
被引量：
2
1
作者
姜斌
蒋书文
李燕
张鹰
李言荣
机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期196-199,共4页
基金
电子科技大学青年科技基金(No.YF020304)
文摘
采用脉冲激光分子束外延(PLMBE)方法,通过优化的工艺参数,在SrTiO3(100)单晶基片上外延结构为(8/8)的BaTiO3/SrTiO3超晶格薄膜。综合利用反射式高能电子衍射系统(RHEED)、高分辨率X射线衍射(HRXRD)以及高分辨率透射电镜选区电子衍射(SAED)技术,研究超晶格薄膜的晶格应变现象和规律。研究结果表明,在制备的BaTiO3/SrTiO3超晶格薄膜中,BaTiO3晶胞面外晶格增大,面内晶格减小;而SrTiO3晶胞面内及面外方向晶格都被拉伸,但面外晶格拉伸程度较大,SrTiO3晶胞产生了与BaTiO3晶胞方向一致的四方相转变。
关键词
晶格应变
超晶格
脉冲激光分子束外延
反射式高能电子衍射
Keywords
Lattice strain, Superlattice, Pulsed laser molecular beam epitaxy, RHEED
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光分子束外延BaTiO_3/SrTiO_3超晶格的晶格应变研究
姜斌
蒋书文
李燕
张鹰
李言荣
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
2
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