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脂肪醇聚氧乙烯醚(5)磺酸盐的合成与耐温耐盐性能
被引量：
5
1
作者
芦艳
卢大山
+1 位作者
张广洲
马征
《石油学报（石油加工）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期700-705,共6页
以脂肪醇聚氧乙烯醚(5)(AEO-5)为原料,先与金属钠反应生成醇钠,再与氯乙基磺酸钠反应生成脂肪醇聚氧乙烯醚(5)磺酸钠(AESO),考察了反应温度、反应时间以及氯乙基磺酸钠与醇钠摩尔比对合成AESO反应的影响,并对提纯产物进行红外光谱表征,...
以脂肪醇聚氧乙烯醚(5)(AEO-5)为原料,先与金属钠反应生成醇钠,再与氯乙基磺酸钠反应生成脂肪醇聚氧乙烯醚(5)磺酸钠(AESO),考察了反应温度、反应时间以及氯乙基磺酸钠与醇钠摩尔比对合成AESO反应的影响,并对提纯产物进行红外光谱表征,同时考察了其表面及耐温耐盐性能。结果表明,在64℃、氯乙基磺酸钠与醇钠摩尔比为1.2的条件下反应5h,AESO收率最高;AESO的表面及耐温耐盐性能均优于醇醚硫酸盐(AES),可适用于高温高矿化度油藏的三次采油。
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关键词
脂肪醇
聚氧乙烯醚
磺酸钠(AESO)
脂肪醇
聚氧乙烯醚
(
aeo-
5)
氯乙基磺酸钠
合成
性能
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职称材料
基于FA/OⅡ螯合剂的复配清洗液去除Cu-BTA的研究
被引量：
1
2
作者
张师浩
檀柏梅
+2 位作者
王亚珍
王淇
田思雨
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020年第10期782-789,共8页
在减少清洗液对晶圆表面腐蚀的前提下,尽可能地去除表面残留的苯并三唑(BTA)是Cu互连化学机械抛光(CMP)后清洗的研究重点。选择了两种非离子表面活性剂聚乙二醇辛基苯基醚(Triton X-100)和脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO-20)与质量分数为0.02%的F...
在减少清洗液对晶圆表面腐蚀的前提下,尽可能地去除表面残留的苯并三唑(BTA)是Cu互连化学机械抛光(CMP)后清洗的研究重点。选择了两种非离子表面活性剂聚乙二醇辛基苯基醚(Triton X-100)和脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO-20)与质量分数为0.02%的FA/OⅡ螯合剂复配成碱性清洗剂,研究其对Cu表面BTA的去除效果,对其作用机理进行了分析。接触角和电化学测试结果表明,两种清洗剂均改善了Cu表面Cu-BTA的去除效果。其中FA/OⅡ螯合剂与质量分数为0.22%的Triton X-100复配清洗Cu表面后,接触角降为37.75°,腐蚀电流密度增大到2.424×10-6 A/cm2;与质量分数为0.25%的AEO-20复配清洗Cu表面后,接触角降为32.5°,腐蚀电流密度增大到2.657×10-6 A/cm2;当AEO-20与FA/OⅡ复配清洗液pH值为10.5时,几乎不影响BTA的去除效果,但Cu表面的粗糙度降至5.59 nm。
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关键词
复配清洗剂
Cu苯并三唑(BTA)
FA/OⅡ螯合剂
聚乙二醇辛基苯基醚(Triton
X-100)
脂肪醇
聚氧乙烯醚
(
aeo-
20
)
碱性清洗剂
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职称材料
题名
脂肪醇聚氧乙烯醚(5)磺酸盐的合成与耐温耐盐性能
被引量：
5
1
作者
芦艳
卢大山
张广洲
马征
机构
东北石油大学化学化工学院
出处
《石油学报（石油加工）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期700-705,共6页
文摘
以脂肪醇聚氧乙烯醚(5)(AEO-5)为原料,先与金属钠反应生成醇钠,再与氯乙基磺酸钠反应生成脂肪醇聚氧乙烯醚(5)磺酸钠(AESO),考察了反应温度、反应时间以及氯乙基磺酸钠与醇钠摩尔比对合成AESO反应的影响,并对提纯产物进行红外光谱表征,同时考察了其表面及耐温耐盐性能。结果表明,在64℃、氯乙基磺酸钠与醇钠摩尔比为1.2的条件下反应5h,AESO收率最高;AESO的表面及耐温耐盐性能均优于醇醚硫酸盐(AES),可适用于高温高矿化度油藏的三次采油。
关键词
脂肪醇
聚氧乙烯醚
磺酸钠(AESO)
脂肪醇
聚氧乙烯醚
(
aeo-
5)
氯乙基磺酸钠
合成
性能
Keywords
alcohol polyoxyethylene ether sulfonate（AESO） fatty alcohol polyoxyethylene ether （
aeo-
5）
sodium 2-chloroethanesulfonate monohydrate
synthesis
properties
分类号
TQ423.11 [化学工程]
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职称材料
题名
基于FA/OⅡ螯合剂的复配清洗液去除Cu-BTA的研究
被引量：
1
2
作者
张师浩
檀柏梅
王亚珍
王淇
田思雨
机构
河北工业大学电子信息工程学院
天津市电子材料与器件重点实验室
出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020年第10期782-789,共8页
基金
国家科技重大专项资助项目(2016ZX02301003-004-007)
河北省自然科学基金资助项目(F2018202174)。
文摘
在减少清洗液对晶圆表面腐蚀的前提下,尽可能地去除表面残留的苯并三唑(BTA)是Cu互连化学机械抛光(CMP)后清洗的研究重点。选择了两种非离子表面活性剂聚乙二醇辛基苯基醚(Triton X-100)和脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO-20)与质量分数为0.02%的FA/OⅡ螯合剂复配成碱性清洗剂,研究其对Cu表面BTA的去除效果,对其作用机理进行了分析。接触角和电化学测试结果表明,两种清洗剂均改善了Cu表面Cu-BTA的去除效果。其中FA/OⅡ螯合剂与质量分数为0.22%的Triton X-100复配清洗Cu表面后,接触角降为37.75°,腐蚀电流密度增大到2.424×10-6 A/cm2;与质量分数为0.25%的AEO-20复配清洗Cu表面后,接触角降为32.5°,腐蚀电流密度增大到2.657×10-6 A/cm2;当AEO-20与FA/OⅡ复配清洗液pH值为10.5时,几乎不影响BTA的去除效果,但Cu表面的粗糙度降至5.59 nm。
关键词
复配清洗剂
Cu苯并三唑(BTA)
FA/OⅡ螯合剂
聚乙二醇辛基苯基醚(Triton
X-100)
脂肪醇
聚氧乙烯醚
(
aeo-
20
)
碱性清洗剂
Keywords
compound cleaning solution
Cu removing benzotriazole(BTA)
FA/OⅡchelating agent
Triton X-100
aeo-
20
alkaline cleaning solution
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
脂肪醇聚氧乙烯醚(5)磺酸盐的合成与耐温耐盐性能
芦艳
卢大山
张广洲
马征
《石油学报（石油加工）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
5
在线阅读
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职称材料
2
基于FA/OⅡ螯合剂的复配清洗液去除Cu-BTA的研究
张师浩
檀柏梅
王亚珍
王淇
田思雨
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020
1
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职称材料
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