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压电能量采集技术研究 被引量:6
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作者 张利伟 郑国强 李济顺 《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心 2013年第11期1-4,9,共5页
环境中的振动无处不在,压电元件能将外部的振动机械能转换为电能,实现微机电系统、无线传感器网络、嵌入式系统的电源供给,延长设备的使用寿命,降低成本。首先简要讨论了压电能量采集技术的基本原理和机电耦合模型,根据控制方法的特征,... 环境中的振动无处不在,压电元件能将外部的振动机械能转换为电能,实现微机电系统、无线传感器网络、嵌入式系统的电源供给,延长设备的使用寿命,降低成本。首先简要讨论了压电能量采集技术的基本原理和机电耦合模型,根据控制方法的特征,将压电能量采集技术划分为3类:主动技术、半主动技术和主动技术,然后分别阐述这3类压电能量采集技术的电路模型和实验结果,最后展望了未来压电能量采集技术的发展方向。 展开更多
关键词 压电元件 能量采集技术 电源供给 机电耦合模型
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低频压电式MEMS振动能量采集器研究 被引量:3
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作者 李光耀 王晓蕾 杨杰 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期487-491,共5页
设计了一种低频压电d31模式的"八悬臂梁-中心质量块"结构微机电系统(MEMS)振动能量采集器,实现环境振动能量向电能的转换。首先利用溶胶-凝胶工艺实现PZT压电薄膜的异质集成制造,单个锆钛酸铅(PZT)压电敏感单元的有效尺寸为93... 设计了一种低频压电d31模式的"八悬臂梁-中心质量块"结构微机电系统(MEMS)振动能量采集器,实现环境振动能量向电能的转换。首先利用溶胶-凝胶工艺实现PZT压电薄膜的异质集成制造,单个锆钛酸铅(PZT)压电敏感单元的有效尺寸为935μm×160μm×1.5μm;然后通过MEMS加工工艺完成器件微结构的加工制造,器件结构有效体积为9.936×10^(-4)cm^3;最后借助振动测试系统对该器件的各项输出性能进行测试。测试结果表明,谐振频率为60Hz、加速度激励为1g(g=9.8m/s^2)时,该能量采集器的输出电压峰-峰值为232mV。在其两端加载3.0 MΩ的负载时最大输出功率为6×10^(-4)μW,输出功率密度为0.604μW/cm^3,PZT压电敏感单元有效面积下的输出功率密度为0.025μW/cm^2。 展开更多
关键词 压电式 微机电系统(MEMS) 振动 能量采集技术 输出性能
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