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硅多条两维位置灵敏探测器的研制
被引量:
1
1
作者
谭继廉
靳根民
+9 位作者
段利敏
卢子伟
袁小华
张玲
肖国青
徐瑚珊
田大宇
宁宝俊
王玮
张录
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期703-705,共3页
描述了用平面工艺技术研制基于硅多条的两维位置灵敏探测器的制备工艺技术及性能测试初步结果。这种探测器的灵敏面积为50 mm×50 mm。P掺杂面被等分成相互平行的长度为50mm,宽度为3mm的16条,相邻条之间的间隔为100μm。硅条P掺杂...
描述了用平面工艺技术研制基于硅多条的两维位置灵敏探测器的制备工艺技术及性能测试初步结果。这种探测器的灵敏面积为50 mm×50 mm。P掺杂面被等分成相互平行的长度为50mm,宽度为3mm的16条,相邻条之间的间隔为100μm。硅条P掺杂层是一层均匀分布的电阻层,利用电荷分除法,可以得到入射粒子在该条上的位置(Y位置)。当探测器工作在全耗尽偏压下时,大部分单条的反向漏电流<30nA。对239Puα粒子得到能量分辨率<2.5%,位置分辨<0.5 mm。
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关键词
平面工艺
硅多条
两维位置灵敏
探测器
能量
分辨
位置分辨
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职称材料
非常规X射线能量探测技术
被引量:
3
2
作者
罗立强
Marija Popovic
《岩矿测试》
CAS
CSCD
2006年第1期49-54,共6页
硅锂半导体探测器在常规X射线光谱分析中已得到广泛应用,目前已发展多种非常规X射线探测器,如四叶花瓣型Ge探测器、Si漂移与电耦合阵列探测器、超导探测器、CdZnTe探测器、钻石探测器和无定型硅探测器等。文章对其工作原理、进展和应用...
硅锂半导体探测器在常规X射线光谱分析中已得到广泛应用,目前已发展多种非常规X射线探测器,如四叶花瓣型Ge探测器、Si漂移与电耦合阵列探测器、超导探测器、CdZnTe探测器、钻石探测器和无定型硅探测器等。文章对其工作原理、进展和应用等作了介绍。
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关键词
X射线
能量探测器
评述
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职称材料
一台用于重核素测量的能量-飞行时间探测系统
被引量:
2
3
作者
仇九子
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期458-461,共4页
研制了一台用于重核素测量的能量-飞行时间探测系统。探测系统由飞行时间探测器和金硅面垒型能量探测器组成,金硅面垒型探测器兼做飞行时间探测器的停止探测器。用该探测系统在中国原子能科学研究院串列加速器质谱装置上对182Hf9+离子...
研制了一台用于重核素测量的能量-飞行时间探测系统。探测系统由飞行时间探测器和金硅面垒型能量探测器组成,金硅面垒型探测器兼做飞行时间探测器的停止探测器。用该探测系统在中国原子能科学研究院串列加速器质谱装置上对182Hf9+离子的能量-飞行时间双维谱进行了测量。该探测系统对77.4 MeV182Hf9+离子的能量分辨率为3.8%,飞行时间分辨为0.8 ns。
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关键词
飞行时间
探测器
能量探测器
重核素
加速器质谱
双维谱
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职称材料
量热阵列式激光束能量分布测量系统研制
被引量:
6
4
作者
段刘华
谢永杰
+4 位作者
戢运峰
王立君
刘峰
林新伟
陈振强
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2010年第6期1110-1114,共5页
为了实现对高能密度激光束分布的测量,提出了高占空比蜂窝阵列结合分立隔热式能量探头的设计思想,研制出了一种耐激光辐照能力强、测量稳定的激光参数测量系统,该系统主要由蜂窝状阵列板、多路量热探头、多通道高速数据采集单元和相应...
为了实现对高能密度激光束分布的测量,提出了高占空比蜂窝阵列结合分立隔热式能量探头的设计思想,研制出了一种耐激光辐照能力强、测量稳定的激光参数测量系统,该系统主要由蜂窝状阵列板、多路量热探头、多通道高速数据采集单元和相应数据处理软件组成。测量系统空间占空比为62%,光强分布测量不均匀性优于5%,测量动态范围达600倍,总能量测量不确定度优于8.5%。量热阵列测量系统的研制成功解决了大面积、大动态范围激光束总能量和光强分布绝对测量的技术难题,为激光束能量绝对分布测量提供了一种有效的手段。
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关键词
能量探测器
量热技术
空间
能量
分布
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职称材料
TRMM卫星和全球降雨观测计划GPM及其应用
被引量:
10
5
作者
袁金国
牛铮
龙丽民
《安徽农业科学》
CAS
北大核心
2006年第9期1754-1757,共4页
全球变暖和气候变化影响全球水循环,从而导致异常天气,如频繁的大雨和干旱。热带降雨观测卫星TRMM和全球降雨观测计划GPM是进行全球尺度的降雨观测的国际卫星观测计划,对全球变化研究具有很大作用。首先介绍了热带降雨观测卫星TRMM的概...
全球变暖和气候变化影响全球水循环,从而导致异常天气,如频繁的大雨和干旱。热带降雨观测卫星TRMM和全球降雨观测计划GPM是进行全球尺度的降雨观测的国际卫星观测计划,对全球变化研究具有很大作用。首先介绍了热带降雨观测卫星TRMM的概况及其5个有效载荷,即降雨雷达、可见/红外扫描仪、微波成像仪、云和地球辐射能量探测器以及闪电成像仪;接着介绍了即将于2007年发射的全球降雨观测计划GPM;最后介绍了TRMM卫星的应用。
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关键词
热带降雨观测卫星TRMM
降雨雷达PR
微波成像TMI
可见/红外扫描仪VIRS
云和地球辐射
能量探测器
CERES
闪电成像仪LIS
全球降雨观测计划GPM
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职称材料
晶圆制造、运输、封装过程中Al焊垫污染源的研究
6
作者
于会生
苏凤莲
+2 位作者
王玉科
李明
郭强
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第9期845-848,共4页
半导体芯片上Al键合焊垫在集成电路器件良率测试和封装中是非常重要的。研究焊垫污染来源对晶圆制造和金线键合工艺的改进将会有极大的帮助。结合案例采用扫描电子显微镜(SEM)、能量弥散X射线探测器(EDX)、透射电子显微镜(TEM)、聚焦离...
半导体芯片上Al键合焊垫在集成电路器件良率测试和封装中是非常重要的。研究焊垫污染来源对晶圆制造和金线键合工艺的改进将会有极大的帮助。结合案例采用扫描电子显微镜(SEM)、能量弥散X射线探测器(EDX)、透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)等分析研究了焊垫污染的来源。结果表明,键合焊垫上的F沾污的来源可能与顶层金属蚀刻或焊垫打开过程中的蚀刻气体或者运输相关;异常焊垫上较高的C和O可能是在晶背减薄过程中引入的;运输过程中的包装纸导致了异常焊垫上O和K沾污;异常焊垫上的Si尘埃形成于晶粒切割过程中;焊垫腐蚀区域的Cl则来源于焊垫蚀刻气体。
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关键词
铝焊垫
污染
键合
扫描电镜
能量
弥散X射线
探测器
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职称材料
题名
硅多条两维位置灵敏探测器的研制
被引量:
1
1
作者
谭继廉
靳根民
段利敏
卢子伟
袁小华
张玲
肖国青
徐瑚珊
田大宇
宁宝俊
王玮
张录
机构
中国科学院近代物理研究所
北京大学微电子所
出处
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期703-705,共3页
文摘
描述了用平面工艺技术研制基于硅多条的两维位置灵敏探测器的制备工艺技术及性能测试初步结果。这种探测器的灵敏面积为50 mm×50 mm。P掺杂面被等分成相互平行的长度为50mm,宽度为3mm的16条,相邻条之间的间隔为100μm。硅条P掺杂层是一层均匀分布的电阻层,利用电荷分除法,可以得到入射粒子在该条上的位置(Y位置)。当探测器工作在全耗尽偏压下时,大部分单条的反向漏电流<30nA。对239Puα粒子得到能量分辨率<2.5%,位置分辨<0.5 mm。
关键词
平面工艺
硅多条
两维位置灵敏
探测器
能量
分辨
位置分辨
Keywords
planar technology
Si multi-strip
bi-dimension position sensitive
detector
energy resolution
position resolution
分类号
TL814 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
非常规X射线能量探测技术
被引量:
3
2
作者
罗立强
Marija Popovic
机构
国家地质实验测试中心
Mc Master University Ontario
出处
《岩矿测试》
CAS
CSCD
2006年第1期49-54,共6页
文摘
硅锂半导体探测器在常规X射线光谱分析中已得到广泛应用,目前已发展多种非常规X射线探测器,如四叶花瓣型Ge探测器、Si漂移与电耦合阵列探测器、超导探测器、CdZnTe探测器、钻石探测器和无定型硅探测器等。文章对其工作原理、进展和应用等作了介绍。
关键词
X射线
能量探测器
评述
Keywords
X-ray
energy detector
review
分类号
O766.3 [理学—晶体学]
O572.212 [理学—粒子物理与原子核物理]
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职称材料
题名
一台用于重核素测量的能量-飞行时间探测系统
被引量:
2
3
作者
仇九子
机构
中国人民武装警察部队学院
出处
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期458-461,共4页
文摘
研制了一台用于重核素测量的能量-飞行时间探测系统。探测系统由飞行时间探测器和金硅面垒型能量探测器组成,金硅面垒型探测器兼做飞行时间探测器的停止探测器。用该探测系统在中国原子能科学研究院串列加速器质谱装置上对182Hf9+离子的能量-飞行时间双维谱进行了测量。该探测系统对77.4 MeV182Hf9+离子的能量分辨率为3.8%,飞行时间分辨为0.8 ns。
关键词
飞行时间
探测器
能量探测器
重核素
加速器质谱
双维谱
Keywords
time of flight detector
energy detector
heavy nuclide
accelerator mass spectrometry
two- dimen- sion spectra
分类号
O572.21 [理学—粒子物理与原子核物理]
TL817.8 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
量热阵列式激光束能量分布测量系统研制
被引量:
6
4
作者
段刘华
谢永杰
戢运峰
王立君
刘峰
林新伟
陈振强
机构
暨南大学光电工程研究所
西北核技术研究所激光与物质相互作用国家重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2010年第6期1110-1114,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60777023)
浙江省自然科学基金资助项目(Z407371)
文摘
为了实现对高能密度激光束分布的测量,提出了高占空比蜂窝阵列结合分立隔热式能量探头的设计思想,研制出了一种耐激光辐照能力强、测量稳定的激光参数测量系统,该系统主要由蜂窝状阵列板、多路量热探头、多通道高速数据采集单元和相应数据处理软件组成。测量系统空间占空比为62%,光强分布测量不均匀性优于5%,测量动态范围达600倍,总能量测量不确定度优于8.5%。量热阵列测量系统的研制成功解决了大面积、大动态范围激光束总能量和光强分布绝对测量的技术难题,为激光束能量绝对分布测量提供了一种有效的手段。
关键词
能量探测器
量热技术
空间
能量
分布
Keywords
Energy detector
Calorimetric techniques
Spatial energy distribution
分类号
TN21 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
TRMM卫星和全球降雨观测计划GPM及其应用
被引量:
10
5
作者
袁金国
牛铮
龙丽民
机构
中国科学院遥感应用研究所遥感科学国家重点实验室
河北师范大学资源与环境科学学院
出处
《安徽农业科学》
CAS
北大核心
2006年第9期1754-1757,共4页
基金
中国科学院知识创新工程重大项目(KZCX1-SW-01-02)
国家自然科学基金项目(40171001)
河北师范大学科学研究基金项目(L2003Q13)
文摘
全球变暖和气候变化影响全球水循环,从而导致异常天气,如频繁的大雨和干旱。热带降雨观测卫星TRMM和全球降雨观测计划GPM是进行全球尺度的降雨观测的国际卫星观测计划,对全球变化研究具有很大作用。首先介绍了热带降雨观测卫星TRMM的概况及其5个有效载荷,即降雨雷达、可见/红外扫描仪、微波成像仪、云和地球辐射能量探测器以及闪电成像仪;接着介绍了即将于2007年发射的全球降雨观测计划GPM;最后介绍了TRMM卫星的应用。
关键词
热带降雨观测卫星TRMM
降雨雷达PR
微波成像TMI
可见/红外扫描仪VIRS
云和地球辐射
能量探测器
CERES
闪电成像仪LIS
全球降雨观测计划GPM
Keywords
Tropical rainfall measuring mission (TRMM)
Precipitation radar(PR)
Microwave imager(TMI)
Visible and infrawd scanner(VIRS)
Cloud and earth radiant energy sensor(CERES)
Lightning imaging sensor(LIS)
Global precipitation measurement(GPM)
分类号
S127 [农业科学—农业基础科学]
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职称材料
题名
晶圆制造、运输、封装过程中Al焊垫污染源的研究
6
作者
于会生
苏凤莲
王玉科
李明
郭强
机构
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第9期845-848,共4页
文摘
半导体芯片上Al键合焊垫在集成电路器件良率测试和封装中是非常重要的。研究焊垫污染来源对晶圆制造和金线键合工艺的改进将会有极大的帮助。结合案例采用扫描电子显微镜(SEM)、能量弥散X射线探测器(EDX)、透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)等分析研究了焊垫污染的来源。结果表明,键合焊垫上的F沾污的来源可能与顶层金属蚀刻或焊垫打开过程中的蚀刻气体或者运输相关;异常焊垫上较高的C和O可能是在晶背减薄过程中引入的;运输过程中的包装纸导致了异常焊垫上O和K沾污;异常焊垫上的Si尘埃形成于晶粒切割过程中;焊垫腐蚀区域的Cl则来源于焊垫蚀刻气体。
关键词
铝焊垫
污染
键合
扫描电镜
能量
弥散X射线
探测器
Keywords
Al pad
contamination
bonding
SEM
EDX
分类号
TN305.94 [电子电信—物理电子学]
TN305.97 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅多条两维位置灵敏探测器的研制
谭继廉
靳根民
段利敏
卢子伟
袁小华
张玲
肖国青
徐瑚珊
田大宇
宁宝俊
王玮
张录
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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职称材料
2
非常规X射线能量探测技术
罗立强
Marija Popovic
《岩矿测试》
CAS
CSCD
2006
3
在线阅读
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职称材料
3
一台用于重核素测量的能量-飞行时间探测系统
仇九子
《核电子学与探测技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013
2
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职称材料
4
量热阵列式激光束能量分布测量系统研制
段刘华
谢永杰
戢运峰
王立君
刘峰
林新伟
陈振强
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2010
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
TRMM卫星和全球降雨观测计划GPM及其应用
袁金国
牛铮
龙丽民
《安徽农业科学》
CAS
北大核心
2006
10
在线阅读
下载PDF
职称材料
6
晶圆制造、运输、封装过程中Al焊垫污染源的研究
于会生
苏凤莲
王玉科
李明
郭强
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
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