半球形偏转电子能量分析器的设计和应用 被引量：1

1

作者 王永纲 徐克尊 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 1996年第6期430-433,共4页

本文较详细地介绍了静电半球偏转电子能量分析器的原理、设计和实际制作，并说明半球分析器作为单色器和分析器在中能电子能量损失谱仪（ＥＥＬＳ）的成功使用。

关键词 电子光学透镜 电子能量分析器

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SEM中电磁式电子能量分析器的设计及可视化

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作者 周庆 胡问国 +5 位作者 高伟 陈尔刚 周开邻 马琳 肖玲 朱世秋 《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第6期594-594,共1页

ＳＥＭ中电磁式电子能量分析器的设计及可视化＊周庆胡问国高伟陈尔刚周开邻马琳肖玲朱世秋（云南大学物理系，昆明６５００９１）最近几年兴起的“计算可视化”是计算机图形学与大型科学计算相结合的结果，利用计算机进行电子光学系统... ＳＥＭ中电磁式电子能量分析器的设计及可视化＊周庆胡问国高伟陈尔刚周开邻马琳肖玲朱世秋（云南大学物理系，昆明６５００９１）最近几年兴起的“计算可视化”是计算机图形学与大型科学计算相结合的结果，利用计算机进行电子光学系统的设计，不仅大大缩短了设计周期，且... 展开更多

关键词 电子能量分析器 电磁式 SEM 设计

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可控聚焦型减速场能量分析器的实验分析

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作者 李现霞 相东 +2 位作者 黄明光 沈红丽 陈喜艳 《微波学报》 CSCD 北大核心 2015年第S2期285-287,共3页

与传统的减速场能量分析器相比,新提出的可控聚焦型减速场能量分析器具有装配方便、绝缘性好、分辨率高和抗二次电子反射等优点。本文将其设计思路加工装配成实物并经过改装,使得新型探头同时具备测量行波管电子枪电子注参数和注波互作... 与传统的减速场能量分析器相比,新提出的可控聚焦型减速场能量分析器具有装配方便、绝缘性好、分辨率高和抗二次电子反射等优点。本文将其设计思路加工装配成实物并经过改装,使得新型探头同时具备测量行波管电子枪电子注参数和注波互作用后电子注的纵向速度分布的能力。然后,将新型减速场能量分析器装配到电子注测量分析系统,对毫米波空间行波管用双阳电子枪电子注进行测试,测得电子注包络、射程、注腰半径和截面总电流等参数与计算模拟和制管实测结果基本一致。 展开更多

关键词 行波管电子注 可控聚焦型 减速场能量分析器 双阳电子枪

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四极场能量分析器

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作者 周清 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第1期114-116,共3页

四极场常用于质谱分析,用于能量分析还没有过。本文将详细阐述四极场作能量分析器的可能性。介绍其为分析器时的几何结构、原理和基本公式;具体给出了通过能量,分析器常数和分辨率的表达式。文中还对分析器的用途做了介绍。

关键词 四极场 能量分析器 静电折射场

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可控聚焦型减速场能量分析器的设计分析 被引量：2

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作者 沈红丽 李现霞 +1 位作者 黄明光 何俊 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期126-130,共5页

基于之前减速电场能量分析的设计与实验,针对实验中出现的绝缘性不好、能量分辨率不高等问题,对原结构进行了改进与仿真分析,以更好地实现行波管电子枪电子注及注波互作用后电子注参数的精确测量和分析,为行波管的设计、性能改进和研制... 基于之前减速电场能量分析的设计与实验,针对实验中出现的绝缘性不好、能量分辨率不高等问题,对原结构进行了改进与仿真分析,以更好地实现行波管电子枪电子注及注波互作用后电子注参数的精确测量和分析,为行波管的设计、性能改进和研制提供参考。该可控聚焦型减速场能量分析器结构将高压圆筒与减速栅网进行电气绝缘隔离,并在二者之间设置一个可控的小电压,产生的第二个静电透镜对发散的电子注产生加速会聚的作用,以削弱在第一个透镜聚焦作用的薄弱区域空间电荷效应及电子注发射角等因素对注发散的影响,调整粒子轨迹倾斜度和分辨率。同时,整体结构在不影响测试精度的情况下向小型化和轻型化发展。应用CST粒子工作室对不同粒子界面处粒子分布及整体场结构进行模拟,然后用Matlab软件进行数据处理并导出关键参数。着重分析结构性能的优化和提升在分辨率及半峰值全宽度等参数上的体现。结果表明该能量分析器适用于几keV到10keV的强流电子注的测量。 展开更多

关键词 行波管 电子注 减速场能量分析器 倾斜度 高分辨率

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离子能量分析器测量特性的仿真研究 被引量：1

6

作者 翟红雨 程健 +1 位作者 陈银华 陆伟 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期69-76,共8页

针对空间等离子体及其模拟环境、空间原子氧及其模拟环境对离子能谱测量的需要,利用仿真软件COMSOL,对离子能量分析器的低能离子测量特性进行了仿真研究。介绍了离子能量分析器的工作原理,对离子能谱测量过程进行了公式推导。通过对三... 针对空间等离子体及其模拟环境、空间原子氧及其模拟环境对离子能谱测量的需要,利用仿真软件COMSOL,对离子能量分析器的低能离子测量特性进行了仿真研究。介绍了离子能量分析器的工作原理,对离子能谱测量过程进行了公式推导。通过对三种待选仪器设计方案进行离子透过率仿真分析,确定了一种较优的仪器设计方案。多种离子温度下的误差分析结果也表明,该设计方案能够较为准确地测量离子能量分布。分析了电场畸变、等离子鞘层、栅网对齐方式和离子温度对测量结果的影响,根据仿真结果对一些仿真实验现象做出了合理的解释。 展开更多

关键词 离子能量分析器 离子能谱测量 COMSOL 软件仿真 误差分析

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计算机在静电式电子能量分析器设计中的应用

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作者 高伟 周庆 +5 位作者 胡问国 陈尔纲 马琳 周开邻 肖玲 朱世秋 《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第6期593-593,共1页

计算机在静电式电子能量分析器设计中的应用＊＊本项目得到国家自然科学基金和云南省应用基础研究基金的支持高伟周庆胡问国陈尔纲马琳周开邻肖玲朱世秋（云南大学物理系，昆明６５００９１）随着材料科学和微电子器件研制的发展，对电... 计算机在静电式电子能量分析器设计中的应用＊＊本项目得到国家自然科学基金和云南省应用基础研究基金的支持高伟周庆胡问国陈尔纲马琳周开邻肖玲朱世秋（云南大学物理系，昆明６５００９１）随着材料科学和微电子器件研制的发展，对电子显微技术也提出了越来越高的要求。... 展开更多

关键词 电子能量分析器 静电式 计算机 设计

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微小型热层大气风场仪能量分析器设计优化

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作者 焦子龙 姜利祥 +4 位作者 李涛 窦仁超 黄建国 孙继鹏 王国栋 《航天器环境工程》 2020年第1期54-59,共6页

为满足低轨航天器高精度大气阻力分析及热层−电离层耦合机理研究需求,需要开展基于皮纳卫星的热层大气全球组网探测。文章对一种基于平行平板式静电场能量分析器的热层大气风场仪原理进行分析,指出其可获得热层大气沿着和垂直于卫星轨... 为满足低轨航天器高精度大气阻力分析及热层−电离层耦合机理研究需求,需要开展基于皮纳卫星的热层大气全球组网探测。文章对一种基于平行平板式静电场能量分析器的热层大气风场仪原理进行分析,指出其可获得热层大气沿着和垂直于卫星轨迹的风速,并利用COMSOL多物理场仿真软件对能量分析器进行优化设计,使得离子的能量分辨率和最大通过率分别较优化前提高1倍和1.5倍。 展开更多

关键词 热层大气 风场仪 能量分析器 仿真优化

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等离子体离子能量自动分析器的研制和应用 被引量：8

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作者 吴先球 陈俊芳 +3 位作者 蒋珍美 熊予莹 吴开华 任兆杏 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期186-188,共3页

为了快速获得等离子体离子能量的分布规律 ,研制了一套等离子体离子能量自动分析器 .离子能量自动分析器由多极型探头和计算机控制的测量系统组成 .利用离子能量自动分析器在线测量了ECR等离子体中离子能量分布范围为 12～ 4 2eV ,不存... 为了快速获得等离子体离子能量的分布规律 ,研制了一套等离子体离子能量自动分析器 .离子能量自动分析器由多极型探头和计算机控制的测量系统组成 .利用离子能量自动分析器在线测量了ECR等离子体中离子能量分布范围为 12～ 4 2eV ,不存在对被加工的半导体器件表面产生损伤的高能离子 。 展开更多

关键词 离子能量分布 器件损伤 自动能量分析器 ECR-PECVD

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能量和角度多道的环形电子能谱仪的性能研究 被引量：1

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作者 周霞 徐春凯 +4 位作者 魏征 刘文杰 李继伟 陈向军 徐克尊 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期453-458,共6页

对以探测极角为90°、方位角收集范围为245°的环形电子能量分析器(TEEA)为基础的电子能谱仪的性能进行了研究,通过实验系统地研究了各电子光学单元的电位对谱仪能量分辨、能量线性以及线性能窗宽度的影响。同时对谱仪的能量分... 对以探测极角为90°、方位角收集范围为245°的环形电子能量分析器(TEEA)为基础的电子能谱仪的性能进行了研究,通过实验系统地研究了各电子光学单元的电位对谱仪能量分辨、能量线性以及线性能窗宽度的影响。同时对谱仪的能量分辨进行了深入的讨论,着重分析了仪器的角度非轴对称性对能量分辨的影响,并提出了对它的修正方法。这些对谱仪的进一步发展及将谱仪运用到固体表面能谱学和微区原子识别的研究中都有一定的意义。 展开更多

关键词 环形电子能量分析器 能量分辨 线性能窗 非轴对称性

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行波管电子注测量分析系统 被引量：5

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作者 韦宇祥 黄明光 +1 位作者 刘濮鲲 郝保良 《微波学报》 CSCD 北大核心 2010年第S1期512-515,共4页

初步提出了一台行波管电子注测量分析系统的设计方案。进一步分析了基于法拉第筒探针的脉冲测量的方法,并考虑脉冲上升沿的抖动特性造成电子注的不稳定性,减少测量误差。分别对测量电子注纵向速度分布的两种方法进行了探讨。

关键词 电子注剖面参数 法拉第筒探针 纵向速度分布 能量分布分析器

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电子倍增器增益特性的实验测定

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作者 侯晓远 俞鸣人 王迅 《应用科学学报》 CAS 1986年第2期171-174,共4页

用电子能谱仪中改变能量分析器通能的办法,将Ni3p光电子减速成不同能量后送入电子倍增器,从而测定了倍增器的增益随电子能量的变化曲线.发现在不同工作电压下,增益特性有所不同.观察了这一特性对测量俄歇微商谱峰-峰高度的影响.

关键词 电子倍增器 NI 电子管 增益特性 能量分析器 实验测定

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中能EELS电子光学系统

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作者 王永纲 徐克尊 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期15-18,共4页

简介中能 EELS 的整体结构原理,着重介绍电子光学系统的各个组成部分的功能和设计,高性能的光学系统保证了谱仪的高分辨率和高亮度.

关键词 电子枪 单色器 能量分析器 谱仪

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