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硅集成液体流量传感器
1
作者
冯耀兰
童勤义
+2 位作者
黄金彪
刘方悟
骆志强
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1991年第2期19-22,共4页
本文介绍了硅集成液体流量传感器的结构、工作原理和新颖的背面敏感封装技术。理论和实验结果表明,这种传感器具有很高的灵敏度,特别适合于液体小流量的测量。
关键词
背面敏感封装
液体流量传感器
工作原理
CMOS硅集成
全文增补中
题名
硅集成液体流量传感器
1
作者
冯耀兰
童勤义
黄金彪
刘方悟
骆志强
机构
东南大学
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1991年第2期19-22,共4页
文摘
本文介绍了硅集成液体流量传感器的结构、工作原理和新颖的背面敏感封装技术。理论和实验结果表明,这种传感器具有很高的灵敏度,特别适合于液体小流量的测量。
关键词
背面敏感封装
液体流量传感器
工作原理
CMOS硅集成
Keywords
IC flow sensor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
全文增补中
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅集成液体流量传感器
冯耀兰
童勤义
黄金彪
刘方悟
骆志强
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1991
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