不同电荷修饰的聚苯乙烯纳米塑料对海洋微拟球藻(Nannochloropsis oceanica)生长及光合活性的影响

1

作者 任玉东 贾志华 +1 位作者 梁成伟 叶乃好 《青岛科技大学学报（自然科学版）》 CAS 2024年第4期14-22,共9页

评估了30 nm阴离子羧基修饰(-COOH)和100 nm阳离子氨基修饰(-NH_(2))的聚苯乙烯(PS)NPs及其不同浓度下(PS-COOH:0、2、5、8和10 mg·L^(-1);PS-NH_(2):0、0.2、0.3、0.4和0.5 mg·L^(-1))对海洋微藻微拟球藻(Nannochloropsis oc... 评估了30 nm阴离子羧基修饰(-COOH)和100 nm阳离子氨基修饰(-NH_(2))的聚苯乙烯(PS)NPs及其不同浓度下(PS-COOH:0、2、5、8和10 mg·L^(-1);PS-NH_(2):0、0.2、0.3、0.4和0.5 mg·L^(-1))对海洋微藻微拟球藻(Nannochloropsis oceanica)在生长及光合活性中产生的影响。结果表明,两种NPs在培养基中均出现了聚集和电位绝对值的下降;经过羧基修饰的PS对海洋微拟球藻的生长及光合活性并未产生明显的影响,而经过氨基修饰的PS在不同浓度下对海洋微拟球藻的生长及光合活性产生了不同的影响:低浓度(0.2 mg·L^(-1))PS-NH_(2)对海洋微拟球藻生长产生促进作用,高浓度(0.4和0.5 mg·L^(-1))PS-NH_(2)对海洋微拟球藻生长产生抑制作用,海洋微拟球藻在不同浓度PS-NH_(2)胁迫下显示出了低促高抑现象;并且当海洋微拟球藻暴露于0.2 mg·L^(-1)PS-NH_(2)时,叶绿素a(Chl a)含量较对照组高,而其他处理组均低于对照组;此外,在0.2 mg·L^(-1)PS-NH_(2)处理下的海洋微拟球藻Fv/Fm值一直高于对照组,而在0.5 mg·L^(-1)高浓度的PS-NH_(2)胁迫下,海洋微拟球藻的最大光化学效率始终低于对照组,这些结果与生长数据相吻合。 展开更多

关键词 表面电荷 纳米塑料 聚苯乙烯(ps) 海洋微拟球藻 低促高抑 毒理效应

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PEGMA刷微图案诱导聚苯乙烯纳米颗粒阵列化

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作者 高浩 魏中华 +2 位作者 邓佳 陈涛 赵海利 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第14期270-276,共7页

基于光引发原子转移自由基聚合(ATRP)反应,在疏水性引发剂表面制备亲水性聚乙二醇甲基丙烯酸酯(PEGMA)聚合物刷微图案,以PEGMA聚合物刷图案化表面为模板,借助亲疏水区域间表面能的差异使聚苯乙烯(PS)纳米颗粒在亲水区域精准组装制备纳... 基于光引发原子转移自由基聚合(ATRP)反应,在疏水性引发剂表面制备亲水性聚乙二醇甲基丙烯酸酯(PEGMA)聚合物刷微图案,以PEGMA聚合物刷图案化表面为模板,借助亲疏水区域间表面能的差异使聚苯乙烯(PS)纳米颗粒在亲水区域精准组装制备纳米颗粒微阵列。采用X射线光电子能谱仪(XPS)与拉曼光谱仪(Raman)对各阶段基体表面化学组分进行表征,结果表明,聚多巴胺/3-(三甲氧基硅烷基)丙基2-溴-2-甲基丙酸酯(PDA/SiBr)复合涂层、PEGMA聚合物刷以及PS纳米颗粒微阵列被成功制备。采用扫描电子显微镜(SEM)和光学显微镜对PEGMA聚合物刷图案化表面及PS纳米颗粒阵列化表面进行观察,结果表明PS纳米颗粒在PEGMA聚合物刷微图案区域选择性组装。研究了PS纳米颗粒微阵列表面BSA蛋白吸附行为,荧光图像结果表明PS纳米颗粒在PEGMA聚合物刷微图案表面组装后可以有效促进BSA蛋白在该区域的黏附。相关研究工作拓展了图案化聚合物刷在纳米颗粒微阵列制备中的应用,为纳米颗粒在高质量生物微阵列、生物探针等领域的应用提供了技术支持。 展开更多

关键词 聚乙二醇甲基丙烯酸酯(PEGMA)刷微图案 亲疏水反差特性 聚苯乙烯(ps)纳米颗粒 微阵列 蛋白吸附

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TEM研究交联聚苯乙烯乳胶粒实时粒径大小及分布 被引量：1

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作者 杨静漪 吕刚 +1 位作者 高卫平 吴其晔 《青岛科技大学学报（自然科学版）》 CAS 2001年第3期253-256,共4页

通过透射电子显微镜（ＴＥＭ）观察了苯乙烯／双烯Ａ乳液聚　合过程中实时乳胶粒的生长　过程，结果表明，控制乳胶粒尺寸的最佳时间是在反应的最初阶段。同时还比较了引发剂和　乳化剂加入量不同对乳胶粒粒径大小的影响，结果发现，乳... 通过透射电子显微镜（ＴＥＭ）观察了苯乙烯／双烯Ａ乳液聚　合过程中实时乳胶粒的生长　过程，结果表明，控制乳胶粒尺寸的最佳时间是在反应的最初阶段。同时还比较了引发剂和　乳化剂加入量不同对乳胶粒粒径大小的影响，结果发现，乳胶粒的粒径随引发剂浓度的增大　而减小，对于分两次加入乳化剂的情况，起决定作用的是第一次的加入量。 展开更多

关键词 交联聚苯乙烯(ps) 乳胶粒 电子显微镜(TEM) 粒径

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聚苯乙烯微球辅助制备超薄PERC太阳电池 被引量：1

4

作者 王明明 沈鸿烈 +3 位作者 陈春明 唐群涛 顾浩 任学明 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第5期341-345,363,共6页

利用旋涂法将自制的聚苯乙烯(PS)微球涂覆到不同厚度的单晶硅片上,作为钝化发射极和背面电池(PERC)的背接触开口的掩模,然后用快速热退火工艺使PS微球挥发形成PERC电池的背接触开口,最后用磁控溅射在PERC电池背面生长一层Ag电极。利用... 利用旋涂法将自制的聚苯乙烯(PS)微球涂覆到不同厚度的单晶硅片上,作为钝化发射极和背面电池(PERC)的背接触开口的掩模,然后用快速热退火工艺使PS微球挥发形成PERC电池的背接触开口,最后用磁控溅射在PERC电池背面生长一层Ag电极。利用该方法制备了面积为40 mm×40 mm、厚度分别为40、55和70μm的三种超薄单晶PERC太阳电池。制备的超薄太阳电池未出现任何翘曲。超薄太阳电池的电流密度-开路电压(Jsc-Voc)曲线和外量子效率(EQE)曲线测试结果表明,随着电池厚度的减小,电池的转换效率随之下降。其中,40μm厚的电池转换效率最高达13.6%,平均转换效率为13.3%,并展现出良好的柔韧性,极限弯曲角度达到135°。 展开更多

关键词 太阳电池 聚苯乙烯(ps)微球 超薄 钝化发射极和背面电池(PERC) 翘曲 柔韧性

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基于EHD的聚苯乙烯打印工艺研究 被引量：1

5

作者 洪浩东 刘禹 +2 位作者 徐嘉文 李婧 李波 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第6期578-583,共6页

采用电流体动力学(EHD)打印方式,以聚苯乙烯(PS)作为打印材料,对打印工艺参数进行了深入的研究。探究了打印溶液的质量分数、喷嘴处施加的工作电压以及基板移动速度对打印线条的形貌及直径的影响。研究结果表明:当PS溶液质量分数为18%时... 采用电流体动力学(EHD)打印方式,以聚苯乙烯(PS)作为打印材料,对打印工艺参数进行了深入的研究。探究了打印溶液的质量分数、喷嘴处施加的工作电压以及基板移动速度对打印线条的形貌及直径的影响。研究结果表明:当PS溶液质量分数为18%时,可以打印得到光滑的线条;在一定范围内,线条的直径随电压增大而增大,随基板移动速度增大而减小。相较于传统静电纺丝技术,使用优化后的参数进行EHD打印的微尺度线条有着更好的沉积精度与控制效果,通过调节工艺参数,成功打印出直径小于5μm的螺旋状与网格状的聚合物图案。 展开更多

关键词 增材制造 电流体动力学(EHD)打印 聚苯乙烯(ps) 微图案 聚合物

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路易斯酸用量对POE/PS间Friedel-Crafts烷基化反应及共混物力学性能的影响 被引量：13

6

作者 徐建平 承民联 +2 位作者 龚方红 刘建忠 陈建定 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期145-148,共4页

用IR,DSC,GPC研究了聚苯乙烯(PS)与聚烯烃弹性体(POE)大分子之间的F riede l-crafts烷基化反应。结果表明:在无水A lC l3催化作用下,PS与POE间可发生质子取代反应生成接枝共聚物POE-g-PS,其接枝百分比随A lC l3用量增加先上升后下降;过... 用IR,DSC,GPC研究了聚苯乙烯(PS)与聚烯烃弹性体(POE)大分子之间的F riede l-crafts烷基化反应。结果表明:在无水A lC l3催化作用下,PS与POE间可发生质子取代反应生成接枝共聚物POE-g-PS,其接枝百分比随A lC l3用量增加先上升后下降;过量的催化剂会导致聚合物降解;接枝共聚物对POE/PS共混物具有明显的就地增容作用,对于POE/PS/A lC l3=50/50/0.2(质量比)共混物,其拉伸强度与简单共混体系相比,提高了4倍,断裂伸长率提高了10倍。 展开更多

关键词 聚烯烃弹性体(POE) 聚苯乙烯(ps) Friedel—crafts烷基化反应 就地增容

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PS/PEG不相容体系的结晶行为研究

7

作者 罗春燕 陈卫星 高瑛 《西安工业大学学报》 CAS 2015年第6期473-478,共6页

为了研究聚苯乙烯(PS)与聚乙二醇(PEG)不相容非晶/结晶共混体系的结晶行为,采用差示扫描量热仪(DSC)和X射线衍射仪(XRD)对此共混系统的体相结晶行为进行了表征.利用偏光显微镜(POM)观察了共混物薄膜的结晶形貌.DSC结果表明:PS含量的改变... 为了研究聚苯乙烯(PS)与聚乙二醇(PEG)不相容非晶/结晶共混体系的结晶行为,采用差示扫描量热仪(DSC)和X射线衍射仪(XRD)对此共混系统的体相结晶行为进行了表征.利用偏光显微镜(POM)观察了共混物薄膜的结晶形貌.DSC结果表明:PS含量的改变对PEG结晶温度、熔融温度及结晶能力并无明显影响.XRD观察PEG在19°和23°处有明显的衍射峰,且23°处的峰强度明显大于19°处的峰强度,而PS的加入使得两个峰强度接近.偏光显微镜观察发现PS并未改变PEG的球晶形貌,在PEG球晶中分散有明显的球形PS分散相区,说明PS/PEG共混物发生了明显的宏观相分离行为. 展开更多

关键词 聚乙二醇(PEG) 聚苯乙烯(ps) 结晶行为 相分离

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高剂量γ辐照对SEBS/PS共混物性能的影响 被引量：3

8

作者 陈健 江平开 +1 位作者 黄兴溢 汪根林 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期204-209,共6页

研究了高剂量(0～2.0MGy)γ辐照对不同配比苯乙烯-乙烯-丁烯-苯乙烯嵌段共聚物/聚苯乙烯(SEBS/PS)共混物(100/0～50/50)力学性能、电性能以及热稳定性能的影响。结果表明,PS的加入,可以有效改善SEBS的辐照稳定性。PS的含量越高,辐照后SE... 研究了高剂量(0～2.0MGy)γ辐照对不同配比苯乙烯-乙烯-丁烯-苯乙烯嵌段共聚物/聚苯乙烯(SEBS/PS)共混物(100/0～50/50)力学性能、电性能以及热稳定性能的影响。结果表明,PS的加入,可以有效改善SEBS的辐照稳定性。PS的含量越高,辐照后SEBS/PS共混物的拉伸强度、体积电阻率的下降幅度越小,介电损耗因子的上升幅度越小,热稳定性能越好。但PS的加入减少了共混物中聚烯烃相的含量,使得共混物的断裂伸长率受辐照的影响较大,特别在高剂量辐照后,PS的含量越高的共混物断裂伸长率下降越明显。 展开更多

关键词 苯乙烯-乙烯-丁烯-苯乙烯嵌段共聚物(SEBS) 聚苯乙烯(ps) Γ辐照 力学性能 电性能 热稳定性

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抛光压力对PS/CeO_2纳米复合磨粒抛光性能的影响 被引量：2

9

作者 汪亚运 陈杨 +1 位作者 赵晓兵 秦佳伟 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第2期129-134,共6页

以采用改进无皂乳液聚合法制备的纳米尺寸聚苯乙烯（PS）微球为内核,采用原位化学沉淀法制备了不同壳层厚度的PS/CeO2核/壳包覆结构复合微球。将所制备的复合颗粒用于二氧化硅介质层的化学机械抛光,用原子力显微镜测定晶片的微观形貌和... 以采用改进无皂乳液聚合法制备的纳米尺寸聚苯乙烯（PS）微球为内核,采用原位化学沉淀法制备了不同壳层厚度的PS/CeO2核/壳包覆结构复合微球。将所制备的复合颗粒用于二氧化硅介质层的化学机械抛光,用原子力显微镜测定晶片的微观形貌和粗糙度。电镜结果表明：复合颗粒呈规则球形,其PS内核尺寸约为72 nm,CeO2壳厚为5-20 nm。抛光结果显示：在本实验范围内,抛光速率随抛光压力的增加而增大,而过低（2.4 psi,1 psi=6 895 Pa）或过高（6.1 psi）的抛光压力均使晶片表面产生划痕。当抛光压力适中（4.5 psi）时,经复合磨料（壳厚约为13 nm）抛光后的晶片表面无明显划痕,在5μm×5μm范围内表面均方根粗糙度为0.265 nm,抛光速率达98.7 nm/min。 展开更多

关键词 聚苯乙烯(ps) 氧化铈 复合磨料 核壳结构 化学机械抛光(CMP)

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PS/PC共混膜的干燥动力学 被引量：2

10

作者 游晓 黄永民 刘洪来 《华东理工大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期404-410,共7页

高分子共混物薄膜产品中的残余溶剂量与干燥过程密切相关,是影响高分子涂膜性能的重要因素之一。将石英晶体微天平(QCM)与自制强制空气对流干燥装置相结合,研究了不同共混比的聚苯乙烯(PS)/聚碳酸酯(PC)共混物的二氯甲烷铸膜液在不同热... 高分子共混物薄膜产品中的残余溶剂量与干燥过程密切相关,是影响高分子涂膜性能的重要因素之一。将石英晶体微天平(QCM)与自制强制空气对流干燥装置相结合,研究了不同共混比的聚苯乙烯(PS)/聚碳酸酯(PC)共混物的二氯甲烷铸膜液在不同热空气流速和温度下的干燥过程,并应用蠕变传递模型关联了干燥动力学实验数据。研究结果表明:高分子共混物的共混比例对干燥速率有较大影响。由于PC链段之间能形成氢键,导致PC链段微区较易结晶,对溶剂小分子的扩散有一定的阻碍作用。关联得到的溶剂在高分子共混膜中无限稀释扩散系数随着PC含量的增加而下降。选择合适的高分子-溶剂体系对减少高分子涂膜中残余溶剂,进而提高产品质量十分重要。 展开更多

关键词 聚苯乙烯(ps) 聚碳酸酯(PC) 石英晶体微天平 高分子共混膜 干燥

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CNTs/PS和CNTs/PEE的制备及性能

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作者 杨前华 高望 +1 位作者 金俊弘 杨胜林 《东华大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期657-659,671,共4页

通过溶液共混制备了不同碳纳米管(CNTs)质量分数的CNTs/聚苯乙烯(PS)、CNTs/聚醚酯(PEE)复合材料,研究CNTs对复合材料导电性能、力学性能的影响.CNTs的加入可以使复合材料的导电性能得到明显提高,CNTs/PS体系的电导率大于CNTs/PEE体系... 通过溶液共混制备了不同碳纳米管(CNTs)质量分数的CNTs/聚苯乙烯(PS)、CNTs/聚醚酯(PEE)复合材料,研究CNTs对复合材料导电性能、力学性能的影响.CNTs的加入可以使复合材料的导电性能得到明显提高,CNTs/PS体系的电导率大于CNTs/PEE体系的电导率.随着CNTs质量分数的增加,CNTs/PS复合材料的断裂强度先增大后减小,在CNTs质量分数为1%时达到最大值,但CNTs/PEE的断裂强度随CNTs质量分数的增加逐渐下降,扫描电镜(SEM)结果显示CNTs在PS中的分散性稍好于在PEE中的分散性. 展开更多

关键词 碳纳米管(CNTs) 聚苯乙烯(ps) 聚醚酯(PEE) 导电性能 力学性能

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PUF、PP和PS阻燃复合塑料研究现状和发展趋势 被引量：1

12

作者 鲍庆煌 李俊 +2 位作者 袁英杰 白扬 叶兵 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第S01期521-527,共7页

塑料阻燃复合材料的发展对于扩大塑料应用范围具有重要意义。聚氨酯泡沫(PUF)、聚丙烯(PP)和聚苯乙烯(PS)作为典型通用塑料,被应用于众多领域。然而,这三种塑料的内在结构和自身性质使其表现出热稳定性差、易燃烧和燃烧释放CO等毒气的特... 塑料阻燃复合材料的发展对于扩大塑料应用范围具有重要意义。聚氨酯泡沫(PUF)、聚丙烯(PP)和聚苯乙烯(PS)作为典型通用塑料,被应用于众多领域。然而,这三种塑料的内在结构和自身性质使其表现出热稳定性差、易燃烧和燃烧释放CO等毒气的特性,严重危害生命和财产安全,从而限制了它们的使用范围。添加阻燃剂改性而形成复合塑料是目前改善塑料阻燃性能的常用方法。本文分析了阻燃塑料的性能表征和原理,同时基于近年来的研究工作,回顾了典型PUF、PP和PS阻燃复合塑料的研究现状,探讨了阻燃剂组织及其对阻燃性能的影响,并总结了阻燃剂的制备技术。此外,结合塑料的阻燃应用需求和碳减排背景,梳理了其发展方向和前景。 展开更多

关键词 阻燃塑料 聚氨酯泡沫(PUF) 聚丙烯(PP) 聚苯乙烯(ps) 微观组织

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不同表面修饰制备高性能柔性薄膜晶体管 被引量：5

13

作者 林广庆 李鹏 +3 位作者 熊贤风 吕国强 王晓鸿 邱龙臻 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期1392-1399,共8页

分别采用六甲基二硅胺(HMDS,Hexamethyldisilazane)和聚苯乙烯/氯硅烷复合材料修饰聚乙烯基苯酚(PVP)绝缘层制备了底接触的有机薄膜晶体管并研究了其半导体层的表面形貌和器件的电学性能。原子力显微镜观察发现,并五苯半导体薄膜在不同... 分别采用六甲基二硅胺(HMDS,Hexamethyldisilazane)和聚苯乙烯/氯硅烷复合材料修饰聚乙烯基苯酚(PVP)绝缘层制备了底接触的有机薄膜晶体管并研究了其半导体层的表面形貌和器件的电学性能。原子力显微镜观察发现,并五苯半导体薄膜在不同的界面修饰上的生长形貌产生了很大变化。在PVP上沉积的并五苯晶粒尺寸都小于150 nm,经过聚苯乙烯/氯硅烷复合材料和HMDS处理后的PVP表面生长的并五苯晶粒尺寸则分别在200~400 nm和400~600 nm。大尺寸的晶粒能够减小器件沟道内的陷阱浓度,从而有效地提高电学性能。PVP绝缘层采用聚苯乙烯/氯硅烷和HMDS修饰后,与未修饰的器件相比迁移率分别提高了58倍和82倍。采用HMDS作为表面修饰层制备柔性OTFT,并五苯场效应晶体管的关态电流约为10-9A,电流的开关比超过104,最大场效应迁移率约可达0.338 cm2·V-1·s-1. 展开更多

关键词 并五苯 聚乙烯基苯酚(PVP) 聚苯乙烯(ps) 偏压应力 柔性有机薄膜晶体管

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氧氯化锆直接热分解制备三维有序大孔氧化锆 被引量：4

14

作者 沈勇 邬泉周 李玉光 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1121-1125,共5页

以聚苯乙烯微球胶晶为模板,氧氯化锆的甲醇溶液为前驱物,通过直接热分解的方法制备了三维有序大孔氧化锆(3DOM-ZrO2);利用SEM、TEM、EDS和BET等技术对其进行了表征,并探讨了实验条件对大孔结构与形态的影响.结果表明,过低或过高的氧氯... 以聚苯乙烯微球胶晶为模板,氧氯化锆的甲醇溶液为前驱物,通过直接热分解的方法制备了三维有序大孔氧化锆(3DOM-ZrO2);利用SEM、TEM、EDS和BET等技术对其进行了表征,并探讨了实验条件对大孔结构与形态的影响.结果表明,过低或过高的氧氯化锆浓度都不利于形成长程有序的三维大孔结构;增加填充次数只有在较高的氧氯化锆浓度下才能有效增加填充量;合适的焙烧温度在600￣700℃之间;BET分析表明3DOM-ZrO2孔壁具有非多孔结构,与TEM观察结果非常一致. 展开更多

关键词 氧化锆 聚苯乙烯微球(ps) 三维有序大孔 胶晶

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SnO_2/C复合材料的制备及NO_x气敏研究 被引量：1

15

作者 江超 李丽 +2 位作者 张国 广新颖 史克英 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期54-57,62,共5页

为制备在室温条件下对NOx的检测具有低检测线、响应迅速、灵敏度高的材料,通过高压静电纺丝法制备了多孔SnO2/C复合材料,采用TEM、SEM、XRD等手段研究了复合材料形貌及结构.研究表明:SnO2/C复合材料表面存在丰富的微孔、介孔和大孔,且以... 为制备在室温条件下对NOx的检测具有低检测线、响应迅速、灵敏度高的材料,通过高压静电纺丝法制备了多孔SnO2/C复合材料,采用TEM、SEM、XRD等手段研究了复合材料形貌及结构.研究表明:SnO2/C复合材料表面存在丰富的微孔、介孔和大孔,且以10 nm左右的介孔居多.室温下(16～18℃)对SnO2/C复合材料NOx气敏性的检测研究发现,SnO2/C复合材料对NOx有很好的气敏响应,最低检测体积分数可达0.97×10-7.放置48 h后再重复进行相同浓度的气敏性检测时,复合材料的气敏响应重复性较好.复合材料的气敏机理研究表明,空气中的氧气吸附于多孔SnO2/C复合材料表面,形成的氧负离子有助于提高NOx气敏性能. 展开更多

关键词 高压静电纺丝 聚苯乙烯(ps) SnO2/C复合材料 NOx气敏性

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三维有序多孔SnO_2膜的制备及表征 被引量：2

16

作者 胡春田 陈胜利 +2 位作者 董鹏 王爱军 胡煜 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期232-235,共4页

分别采用浸渍-提拉法和液相渗透(LPI)法用SnO2前驱物填充模板得到SnO2/PS复合膜,灼烧去除模板后,成功地制备了三维有序多孔SnO2膜。PS胶粒晶体模板是用乳液聚合法合成的单分散PS微球通过垂直沉积法在55℃组装而成。实验结果显示,由改进... 分别采用浸渍-提拉法和液相渗透(LPI)法用SnO2前驱物填充模板得到SnO2/PS复合膜,灼烧去除模板后,成功地制备了三维有序多孔SnO2膜。PS胶粒晶体模板是用乳液聚合法合成的单分散PS微球通过垂直沉积法在55℃组装而成。实验结果显示,由改进的LPI法制备的三维有序多孔膜质量相对较高,面积较大并且无"表皮"覆盖。在灼烧去除模板的过程中孔径有一定的收缩。 展开更多

关键词 SNO2 三维有序多孔膜 聚苯乙烯(ps) 胶粒晶体模板

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基于胶体球掩模板法制备图形化蓝宝石衬底 被引量：2

17

作者 马文静 杨瑞霞 +2 位作者 陈春梅 任利鹏 罗春丽 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期353-358,374,共7页

制备并研究了纳米级图形化蓝宝石衬底。采用磁控溅射技术在蓝宝石衬底上沉积SiO_2薄膜,利用自组装方法在SiO_2薄膜上制备单层聚苯乙烯（PS）胶体球阵列,利用感应耦合等离子体干法刻蚀将周期性PS胶体球的图形转移到SiO_2薄膜上,通过湿法... 制备并研究了纳米级图形化蓝宝石衬底。采用磁控溅射技术在蓝宝石衬底上沉积SiO_2薄膜,利用自组装方法在SiO_2薄膜上制备单层聚苯乙烯（PS）胶体球阵列,利用感应耦合等离子体干法刻蚀将周期性PS胶体球的图形转移到SiO_2薄膜上,通过湿法腐蚀制备了纳米级图形化蓝宝石衬底。利用扫描电子显微镜对胶体球掩膜、SiO_2纳米柱掩膜和图形化蓝宝石衬底结构进行了观察,研究了湿法腐蚀蓝宝石衬底的中间产物对刻蚀的影响,分析了腐蚀温度和腐蚀时间对蓝宝石衬底的影响。结果表明,湿法腐蚀的中间产物会降低蓝宝石衬底的刻蚀速率。蓝宝石衬底的腐蚀速率随着腐蚀温度的升高而加快;在同一腐蚀温度下,随着腐蚀时间的增加,图形尺寸进一步减小。 展开更多

关键词 图形化蓝宝石衬底(psS) 湿法腐蚀 聚苯乙烯(ps) 胶体球掩膜 腐蚀速率

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