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聚焦离子束制备透射电子显微镜样品的两种厚度判断方法 被引量:8
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作者 时金安 张庆华 谷林 《电子显微学报》 CAS CSCD 2017年第1期18-23,共6页
透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提。本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、Sr Ti O3和La Al O3),并提出两种制样过程中快速判断厚度的... 透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提。本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、Sr Ti O3和La Al O3),并提出两种制样过程中快速判断厚度的方法。第一种通过扫描电子显微镜(SEM)的衬度变化经验地判断样品的厚度;第二种是用FIB在样品边缘切一个斜边,通过SEM测量斜边侧面的宽度用几何方法推断样品的厚度。这两种方法都通过会聚束电子衍射(CBED)和电子能量损失谱(EELS)测量的厚度作为检验标准。对比认为,样品较薄时用SEM衬度测厚比较合适;样品比较厚时用几何方法测量比较直接。 展开更多
关键词 聚焦离子 透射电子显微镜样品 厚度 SEM衬度
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基于聚焦离子束-扫描电镜方法研究页岩有机孔三维结构 被引量:11
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作者 王羽 汪丽华 +3 位作者 王建强 姜政 金婵 王彦飞 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期235-243,共9页
页岩中纳米级有机孔的大小直接影响页岩气含气量,其连通性亦对气体运移和开采至关重要。本文选择漆辽地区龙马溪组富有机质页岩,利用聚焦离子束-扫描电镜(FIB-SEM)在纳米尺度上(10 nm)进行有机孔结构的三维重构。研究结果表明:(1)FIB-SE... 页岩中纳米级有机孔的大小直接影响页岩气含气量,其连通性亦对气体运移和开采至关重要。本文选择漆辽地区龙马溪组富有机质页岩,利用聚焦离子束-扫描电镜(FIB-SEM)在纳米尺度上(10 nm)进行有机孔结构的三维重构。研究结果表明:(1)FIB-SEM方法适用于微米级页岩的纳米(>3 nm)孔隙结构特征研究。(2)蜂窝状有机孔发育均匀,孔径集中于10~200 nm,连通性较差;界面有机孔孔径集中于200~300 nm,局部连通性较好。(3)页岩总孔隙度与有机质含量成正比。研究认为,对于以有机孔为重要储集空间的页岩,有机质分布越集中,连续性越好,研究孔隙度的表征单元体尺度越小。 展开更多
关键词 聚焦离子-扫描电镜 三维空间结构 有机孔 纳米孔隙结构 龙马溪组页岩
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FIB加工、扫描及透射电子显微镜相结合的复杂合金相层状组织表征 被引量:8
3
作者 周玲玲 孙威 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期590-595,共6页
扫描电子显微镜(SEM)与聚焦离子束(FIB)可集成为双束系统,实现微区形貌观察与样品加工一体化,同时也可实现截面薄样品的定位提取。利用该技术并结合透射电镜(TEM)技术研究了Al-Pd-Fe复杂合金系铸态组织中层片结构的构成与分布特征。结... 扫描电子显微镜(SEM)与聚焦离子束(FIB)可集成为双束系统,实现微区形貌观察与样品加工一体化,同时也可实现截面薄样品的定位提取。利用该技术并结合透射电镜(TEM)技术研究了Al-Pd-Fe复杂合金系铸态组织中层片结构的构成与分布特征。结果表明,铸态Al_(75)Pd_(15)Fe_(10)合金中的层片组织由M-Al_(13)Fe_4相与准晶相构成。通过对比发现,相同层片组织在背散射电子像与透射电镜观察下呈现出明显不同的分布特征。结合扫描与透射电子显微学成像原理,阐明了SEM和TEM两种表征方式产生不同结果的原因,指出了通过SEM,FIB以及TEM相结合对表征微细多相混合组织真实三维空间分布特征的必要性和有效性。 展开更多
关键词 复杂合金相 片层组织 背散射电子成像 聚焦离子 透射电子显微镜
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扫描电子显微镜及其在石化领域的应用 被引量:2
4
作者 黄文氢 柳颖 梁中伟 《石油化工》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期95-103,共9页
介绍了扫描电子显微镜的工作原理和仪器结构,综述了扫描电子显微镜作为形貌观察工具在石化领域的应用。分析了扫描电子显微镜结合能谱仪、电子背散射衍射技术、聚焦离子束扫描电子显微镜以及扫描电子显微镜原位技术的特点和优势,并分别... 介绍了扫描电子显微镜的工作原理和仪器结构,综述了扫描电子显微镜作为形貌观察工具在石化领域的应用。分析了扫描电子显微镜结合能谱仪、电子背散射衍射技术、聚焦离子束扫描电子显微镜以及扫描电子显微镜原位技术的特点和优势,并分别介绍了它们在催化剂和材料表征方面的应用,在此基础上,对扫描电子显微镜以及相关新技术的发展趋势和应用前景做出了展望。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 能谱法 聚焦离子 电子背散射衍射 原位检测
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透射电子显微镜分析LaNbO_4-NiO-Y_2O_3稳定的ZrO_2复合材料中的相界
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作者 马奔 李箭 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2016年第3期271-273,共3页
采用固相反应法在1500℃制备了LaNbO_4-NiO-Y_2O_3稳定的ZrO_2(YSZ)复合陶瓷,并且采用透射电子显微镜(TEM)和能量分散光谱仪(EDS)对复合物中三相的化学相容性进行了研究。EDS测量的元素成分分布表明在不同相界之间形成了互扩散区域,然... 采用固相反应法在1500℃制备了LaNbO_4-NiO-Y_2O_3稳定的ZrO_2(YSZ)复合陶瓷,并且采用透射电子显微镜(TEM)和能量分散光谱仪(EDS)对复合物中三相的化学相容性进行了研究。EDS测量的元素成分分布表明在不同相界之间形成了互扩散区域,然而这是由于EDS的低分辨率造成的效果。通过高分辨率TEM对其相界更进一步的表征,可以看到LaNbO_4、NiO和YSZ三种晶粒的晶界处结合完好,晶界处都没有发现晶格畸变的迹象,也没有新相生成,因此可以证实LaNbO_4、NiO和YSZ在1500℃烧结后,具有较好的化学相容性。 展开更多
关键词 化学相容性 晶界 透射电子显微镜 聚焦离子 显微结构
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聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)在页岩纳米级孔隙结构研究中的应用 被引量:44
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作者 马勇 钟宁宁 +2 位作者 黄小艳 郭州平 姚立鹏 《电子显微学报》 CAS CSCD 2014年第3期251-256,共6页
页岩中大量发育的纳米级孔隙组成了页岩气储集的主要空间。聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)通过对页岩样品的连续切割和成像,能够在纳米尺度上三维重建页岩的空间分布。依据不同岩石组分灰度值的差异,可以将页岩内的孔隙、有机质、黄铁矿... 页岩中大量发育的纳米级孔隙组成了页岩气储集的主要空间。聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)通过对页岩样品的连续切割和成像,能够在纳米尺度上三维重建页岩的空间分布。依据不同岩石组分灰度值的差异,可以将页岩内的孔隙、有机质、黄铁矿等分割提取出来,不仅可以三维展示其空间分布形态,还可以对孔隙的分布特征和孔隙度等参数进行定量计算。聚集离子束扫描电镜在页岩纳米孔隙中的应用,将给页岩微观结构的深入研究提供新的研究手段。 展开更多
关键词 页岩气 聚焦离子扫描电镜 FIB-SEM 页岩纳米孔隙 三维重构
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聚焦离子束扫描电镜在石油地质研究中的综合应用 被引量:26
7
作者 王晓琦 金旭 +3 位作者 李建明 焦航 吴松涛 刘晓丹 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期303-319,共17页
聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM),以其高分辨率电子束成像及高强度聚焦离子束微纳米级精密加工功能,成为非常规油气储层研究的重要表征手段,推动了我国非常规油气的勘探开发进程,并促进石油地质学开启了全新的领域—纳米地质学。本文重点... 聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM),以其高分辨率电子束成像及高强度聚焦离子束微纳米级精密加工功能,成为非常规油气储层研究的重要表征手段,推动了我国非常规油气的勘探开发进程,并促进石油地质学开启了全新的领域—纳米地质学。本文重点介绍了FIB-SEM在石油地质研究中的综合应用以及创新性开发情况。FIB-SEM的二维大面积成像与三维切片-成像分析可有效解决岩石样品非均质性强的表征难题,并可对岩石内部的孔隙、微裂缝、矿物、有机质和残留油等五大要素进行全面的成像分析,为数字岩心的构建提供具有纳米级分辨率的高质量原始数据。FIB-SEM强大的微纳加工功能,为下一代储层矿物分析、地球化学微观分析等技术的开发提供了制样手段。另外,FIB-SEM可以集成多种先进分析技术,形成集高分辨率成像、物理化学测试为一体的石油地质综合分析平台,应用前景广阔。 展开更多
关键词 聚焦离子扫描电镜 低加速电压成像 三维切片成像 微纳米加工 扫描透射显微成像
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聚焦离子束显微镜技术及其在地球和行星科学研究中的应用 被引量:9
8
作者 谷立新 李金华 《矿物岩石地球化学通报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期1119-1140,共22页
聚焦离子束-扫描电子显微镜作为重要的微纳米尺度精细加工、微小样品制备和微区原位显微分析设备,与其他高精尖显微分析仪器(如透射电镜、离子探针、原子探针和同步辐射等)配合使用,可为纳米地球科学发展提供重要技术支撑。本文在简要... 聚焦离子束-扫描电子显微镜作为重要的微纳米尺度精细加工、微小样品制备和微区原位显微分析设备,与其他高精尖显微分析仪器(如透射电镜、离子探针、原子探针和同步辐射等)配合使用,可为纳米地球科学发展提供重要技术支撑。本文在简要介绍聚焦离子束-扫描电镜技术的原理、功能和技术发展的基础上,重点展示该技术在加工制备透射电镜超薄片样品和原子探针针尖样品中的应用,以及在代表性地学样品(如矿化微生物和页岩等)样品三维重构成像分析上的应用。最后,分析了该技术的未来发展趋势,并对它在地球和行星科学研究中的注意事项进行了初步探讨。 展开更多
关键词 聚焦离子 扫描电镜 透射电镜 原子探针 纳米地球科学 行星科学
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聚焦离子束扫描电镜研究微体化石的微观孔隙结构 被引量:3
9
作者 胥畅 王文卉 姚素平 《高校地质学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期207-212,共6页
聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)是将聚焦离子束切割和扫描电镜结合起来的双束系统,可以在纳米尺度对样品进行切割加工与实时成像。文中用聚焦离子束扫描电镜对兰多维列统(志留系)龙马溪组黑色页岩内的几类微体化石进行了观察研究,并显示... 聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)是将聚焦离子束切割和扫描电镜结合起来的双束系统,可以在纳米尺度对样品进行切割加工与实时成像。文中用聚焦离子束扫描电镜对兰多维列统(志留系)龙马溪组黑色页岩内的几类微体化石进行了观察研究,并显示牙形刺、几丁石、疑源类均发育有亚微米至纳米级孔隙,这些孔隙可以为页岩气的储集提供有效空间,不同的微体化石孔隙发育的差异可以为页岩中有机质孔隙非均质性成因研究提供重要依据。 展开更多
关键词 聚焦离子扫描电镜(FIB-SEM) 兰多维列统 龙马溪组 微体化石 纳米孔隙
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电子束诱导沉积工艺的优化与简化
10
作者 高尚 黄梦诗 +1 位作者 肖飞 孙千 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第4期340-348,共9页
电子束诱导沉积(EBID)因沉积速率慢、沉积物纯度低等缺点,常被限制在离子束诱导沉积(IBID)工艺前的保护层制备等辅助性工艺中。文章针对工艺的效率提升与流程简化展开系统研究,重点分析了关键工艺参数对沉积速率和效果的影响,并提出了... 电子束诱导沉积(EBID)因沉积速率慢、沉积物纯度低等缺点,常被限制在离子束诱导沉积(IBID)工艺前的保护层制备等辅助性工艺中。文章针对工艺的效率提升与流程简化展开系统研究,重点分析了关键工艺参数对沉积速率和效果的影响,并提出了一种基于扫描电镜缩小框功能的简化工艺。研究表明,低加速电压条件下,沉积速率显著提高;束流与沉积厚度呈线性正相关;短驻留时间有助于获得更高的沉积速率。通过优化参数,研究实现EBID沉积效率达到0.03μm^(3)/nC,显著优于既往文献报道的效率范围。简化工艺无需依赖复杂的专用程序,操作便捷。特别是在对精度要求不高但重视效率的场景中,优化后的EBID工艺可在某些应用中完全替代IBID工艺。因此,通过优化聚焦离子束-扫描电镜中电子束诱导沉积的参数,提高沉积速率并简化操作流程,具有重要应用价值,为沉积保护层提供了全新的解决思路与替代方案。 展开更多
关键词 电子诱导沉积 沉积速率 工艺参数优化 聚焦离子-扫描电镜
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电子-离子双束纳米工作站
11
作者 马向国 顾文琪 韩立 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第B12期70-72,共3页
现代微电子工业迅猛发展,对电子设备的精度和功能也提出了新的要求。电子-离子双束纳米工作站是扫描电子束和聚焦离子束技术的独特融合,突破了只能对表层成像和分析的局限,它可以对样品进行三维的、表面下的观察和分析,也可以切割、研... 现代微电子工业迅猛发展,对电子设备的精度和功能也提出了新的要求。电子-离子双束纳米工作站是扫描电子束和聚焦离子束技术的独特融合,突破了只能对表层成像和分析的局限,它可以对样品进行三维的、表面下的观察和分析,也可以切割、研磨样品材料和沉积特定的材料,用它可以获得以前无法得到的样品信息。该工作站为研究人员和制造人员提供了一种对多种样品在纳米尺度进行修改、制作和分析的有效工具。 展开更多
关键词 扫描电子 聚焦离子 电子技术
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微机控制聚焦离子束扫描装置的研制与实验
12
作者 董雷 王克礼 张化一 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第3期160-162,共3页
一、引言近年来,人们对FIB(聚焦离子束)装置用于大规模集喊电路制作的离子束曝光技术产生了很大兴趣。离子束曝光对抗蚀剂材料有较高的灵敏度。
关键词 聚焦离子 微机控制 扫描装置 抗蚀剂 电路制作 离子刻蚀 键盘控制 集成运算放大器 邻近效应 掩模
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聚焦离子束扫描电镜的三维图像配准方法研究 被引量:3
13
作者 李云琴 郭建胜 +1 位作者 谢礼 洪健 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2022年第7期63-67,共5页
该研究探索了一种用于聚焦离子束扫描电镜(focus ion beam-scanning electron microscope,FIB-SEM)的三维序列图像配准新方法,即对特定参照物分割后,将Z轴序列图像转化为时间序列图像,利用IMARIS软件的时间序列追踪算法对相邻帧图像之... 该研究探索了一种用于聚焦离子束扫描电镜(focus ion beam-scanning electron microscope,FIB-SEM)的三维序列图像配准新方法,即对特定参照物分割后,将Z轴序列图像转化为时间序列图像,利用IMARIS软件的时间序列追踪算法对相邻帧图像之间的位错进行纠正,从而达到配准的目的。配准的结果使得Z轴序列图像中锯齿状位错大为减少,图像和结构更清晰完整。针对同一套FIB-SEM序列图像的数据,其纠错效果与传统AMIRA软件实现的配准相比,效果达到预期,操作更加简便有效。该研究为电镜三维图像的位置配准提供了新方法。 展开更多
关键词 图像位置配准 三维重构 聚焦离子扫描电镜
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扫描离子显微镜的研究 被引量:4
14
作者 薛钰芝 李荣玉 +1 位作者 薛祖庆 陆家和 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第1期27-32,共6页
扫描离子显微镜-飞行时间质谱仪(即SIM/ToF-SIMS)的研究是表面分析领域的前沿课题。本文叙述了其前半部分,自制SL-1型扫描离子显微镜的原理、设计加工及实验结果。Ga离子束能12keV时,束流1×10^(-9)A、束径达亚微米,并得到ISE及ISI... 扫描离子显微镜-飞行时间质谱仪(即SIM/ToF-SIMS)的研究是表面分析领域的前沿课题。本文叙述了其前半部分,自制SL-1型扫描离子显微镜的原理、设计加工及实验结果。Ga离子束能12keV时,束流1×10^(-9)A、束径达亚微米,并得到ISE及ISI两种象。 展开更多
关键词 离子显微镜 飞行时间质谱仪 SIMS 二次电子 聚焦离子 掩模 扫描电子显微镜 衬度 表面分析
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聚焦离子束(FIB)快速制备透射电镜样品 被引量:7
15
作者 周伟敏 徐南华 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期513-513,共1页
关键词 透射电子显微镜 聚焦离子系统 样品制备 离子减薄法
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一种基于聚焦离子束技术的环境透射电镜光阑清理方法 被引量:1
16
作者 付琴琴 张朋诚 单智伟 《电子显微学报》 CAS CSCD 2016年第6期538-543,共6页
光阑是透射电子显微镜电子光学系统的重要部件之一,其对透射电镜的成像质量有着重要的影响,然而原位环境透射电镜由于在使用中经常需要通入气氛并配合加热,因污染累积导致光阑的使用寿命大为降低。本文针对传统真空高温灼烧清理光阑方... 光阑是透射电子显微镜电子光学系统的重要部件之一,其对透射电镜的成像质量有着重要的影响,然而原位环境透射电镜由于在使用中经常需要通入气氛并配合加热,因污染累积导致光阑的使用寿命大为降低。本文针对传统真空高温灼烧清理光阑方法需要较强的经验性及成功率低的缺点,提出一种新的光阑清理方法。该方法使用聚焦离子束(FIB)可定点、高效地清理光阑孔边缘的各种污染物,在恢复光阑孔圆度的同时又不会对光阑的其他部分造成损伤而引起失效。最终测试结果表明清理后的光阑满足透射电镜的使用要求,因此这种基于FIB技术的加工手段为电镜工作者提供了一种高效、精确和无损的光阑清理方法。 展开更多
关键词 光阑 聚焦离子 清理 透射电子显微镜
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体电子显微成像技术在肝癌细胞超微结构分析中的应用研究
17
作者 郭建胜 张兴 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期479-486,共8页
体电子显微成像技术(volume electron microscopy)可以在更大三维空间中对样品进行纳米分辨率三维结构分析,获取样品内部结构的三维模型和各结构之间的位置关系、体积比例等信息,更加全面地反映样品的超微结构与功能的关系。本文利用基... 体电子显微成像技术(volume electron microscopy)可以在更大三维空间中对样品进行纳米分辨率三维结构分析,获取样品内部结构的三维模型和各结构之间的位置关系、体积比例等信息,更加全面地反映样品的超微结构与功能的关系。本文利用基于聚焦离子束扫描电镜的体电子显微成像技术对人源肝癌细胞的三维超微结构进行分析,获得了多种细胞器包括细胞核、线粒体、内质网和高尔基体等的高分辨率三维结构模型。 展开更多
关键词 聚焦离子扫描电镜 电子显微成像技术 人源肝癌细胞 三维重构 超微结构
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聚焦离子束技术在常温生物样品三维重构方面的方法探讨 被引量:10
18
作者 李晓敏 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期196-205,共10页
聚焦离子束连续切片扫描电镜(focused ion beam serial block face scanning electron microscopy,FIB-SEM)技术,目前已被广泛应用于小体积细胞或组织样品的三维重构,具有自动化程度高、Z轴分辨高等优点。本文从包埋块样品准备与处理、... 聚焦离子束连续切片扫描电镜(focused ion beam serial block face scanning electron microscopy,FIB-SEM)技术,目前已被广泛应用于小体积细胞或组织样品的三维重构,具有自动化程度高、Z轴分辨高等优点。本文从包埋块样品准备与处理、样品区域选定、软件设置前准备、软件参数(离子束加工和电子束扫描)设置、软件运行与图像采集和图像处理等多个方面,详细介绍应用FIB-SEM技术对常温生物包埋块样品进行三维重构的流程和细节,并对某些关键性参数展开讨论。 展开更多
关键词 聚焦离子连续切片扫描电镜技术 生物包埋块 自动化数据收集 三维重构
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聚焦离子束制样条件对TEM样品形貌的影响 被引量:2
19
作者 孙紫涵 李明 +1 位作者 高金德 吴涛 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第1期25-30,共6页
聚焦离子束(FIB)因其制样成功率和效率高,可定点精确制样等特点已经成为半导体失效分析领域重要的透射电子显微镜(TEM)制样方法。利用双束FIB系统针对TEM样品制备条件对样品形貌的影响进行了分析和研究。通过控制变量法等方法分析了FIB... 聚焦离子束(FIB)因其制样成功率和效率高,可定点精确制样等特点已经成为半导体失效分析领域重要的透射电子显微镜(TEM)制样方法。利用双束FIB系统针对TEM样品制备条件对样品形貌的影响进行了分析和研究。通过控制变量法等方法分析了FIB的电子束或离子束等制样条件可能对样品带来的损伤。通过实验发现,FIB的离子束能量对TEM样品热损伤影响较小,电子束的电压和电流是引起样品损伤的主要因素。实验证明,在电子束辅助沉积保护层时适当降低电子束的电压和电流,可有效改善样品的微观形貌。 展开更多
关键词 透射电子显微镜(TEM) 制样 失效分析 聚焦离子(FIB) 热损伤 电子辅助沉积 保护层
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内皮素-1对体外培养的牛眼小梁细胞内钙离子浓度的影响 被引量:1
20
作者 陆慧琴 张德秀 刘锦 《西安交通大学学报(医学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期490-492,共3页
目的了解内皮素-1(ET-1)对小梁细胞收缩状态调节的作用方式,以求探索新的有效而不良反应小的抗青光眼药物。方法通过组织块培养的方法获得三代牛眼小梁细胞,Fulo-3/AM负载后于激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)下动态扫描不同浓度ET-1作用后... 目的了解内皮素-1(ET-1)对小梁细胞收缩状态调节的作用方式,以求探索新的有效而不良反应小的抗青光眼药物。方法通过组织块培养的方法获得三代牛眼小梁细胞,Fulo-3/AM负载后于激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)下动态扫描不同浓度ET-1作用后胞内荧光强度变化,得出[Ca2+]i值。结果10-9、10-8、10-7mol/L ET-1可使小梁细胞[Ca2+]i呈剂量依赖性升高,其中10-8mol/L的ET-1可使小梁细胞[Ca2+]i由327.5±24.57升高至373.60±40.18(n=8,P<0.01)。结论一定浓度的ET-1可通过收缩小梁网而致眼内压升高;其受体阻滞剂或转换酶抑制剂可能为原发性开角型青光眼的治疗开辟新途径。 展开更多
关键词 小梁细胞 内皮素-1 胞内钙离子浓度([Ca^2+]i) 激光扫描聚焦显微镜
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