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聚焦离子束扫描电镜在石油地质研究中的综合应用 被引量:27
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作者 王晓琦 金旭 +3 位作者 李建明 焦航 吴松涛 刘晓丹 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期303-319,共17页
聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM),以其高分辨率电子束成像及高强度聚焦离子束微纳米级精密加工功能,成为非常规油气储层研究的重要表征手段,推动了我国非常规油气的勘探开发进程,并促进石油地质学开启了全新的领域—纳米地质学。本文重点... 聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM),以其高分辨率电子束成像及高强度聚焦离子束微纳米级精密加工功能,成为非常规油气储层研究的重要表征手段,推动了我国非常规油气的勘探开发进程,并促进石油地质学开启了全新的领域—纳米地质学。本文重点介绍了FIB-SEM在石油地质研究中的综合应用以及创新性开发情况。FIB-SEM的二维大面积成像与三维切片-成像分析可有效解决岩石样品非均质性强的表征难题,并可对岩石内部的孔隙、微裂缝、矿物、有机质和残留油等五大要素进行全面的成像分析,为数字岩心的构建提供具有纳米级分辨率的高质量原始数据。FIB-SEM强大的微纳加工功能,为下一代储层矿物分析、地球化学微观分析等技术的开发提供了制样手段。另外,FIB-SEM可以集成多种先进分析技术,形成集高分辨率成像、物理化学测试为一体的石油地质综合分析平台,应用前景广阔。 展开更多
关键词 聚焦离子扫描电镜 低加速电压成像 三维切片成像 微纳米加工 扫描透射显微成像
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基于聚焦离子束-扫描电镜方法研究页岩有机孔三维结构 被引量:11
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作者 王羽 汪丽华 +3 位作者 王建强 姜政 金婵 王彦飞 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期235-243,共9页
页岩中纳米级有机孔的大小直接影响页岩气含气量,其连通性亦对气体运移和开采至关重要。本文选择漆辽地区龙马溪组富有机质页岩,利用聚焦离子束-扫描电镜(FIB-SEM)在纳米尺度上(10 nm)进行有机孔结构的三维重构。研究结果表明:(1)FIB-SE... 页岩中纳米级有机孔的大小直接影响页岩气含气量,其连通性亦对气体运移和开采至关重要。本文选择漆辽地区龙马溪组富有机质页岩,利用聚焦离子束-扫描电镜(FIB-SEM)在纳米尺度上(10 nm)进行有机孔结构的三维重构。研究结果表明:(1)FIB-SEM方法适用于微米级页岩的纳米(>3 nm)孔隙结构特征研究。(2)蜂窝状有机孔发育均匀,孔径集中于10~200 nm,连通性较差;界面有机孔孔径集中于200~300 nm,局部连通性较好。(3)页岩总孔隙度与有机质含量成正比。研究认为,对于以有机孔为重要储集空间的页岩,有机质分布越集中,连续性越好,研究孔隙度的表征单元体尺度越小。 展开更多
关键词 聚焦离子-扫描电镜 三维空间结构 有机孔 纳米孔隙结构 龙马溪组页岩
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聚焦离子束扫描电镜研究微体化石的微观孔隙结构 被引量:3
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作者 胥畅 王文卉 姚素平 《高校地质学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期207-212,共6页
聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)是将聚焦离子束切割和扫描电镜结合起来的双束系统,可以在纳米尺度对样品进行切割加工与实时成像。文中用聚焦离子束扫描电镜对兰多维列统(志留系)龙马溪组黑色页岩内的几类微体化石进行了观察研究,并显示... 聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)是将聚焦离子束切割和扫描电镜结合起来的双束系统,可以在纳米尺度对样品进行切割加工与实时成像。文中用聚焦离子束扫描电镜对兰多维列统(志留系)龙马溪组黑色页岩内的几类微体化石进行了观察研究,并显示牙形刺、几丁石、疑源类均发育有亚微米至纳米级孔隙,这些孔隙可以为页岩气的储集提供有效空间,不同的微体化石孔隙发育的差异可以为页岩中有机质孔隙非均质性成因研究提供重要依据。 展开更多
关键词 聚焦离子扫描电镜(FIB-SEM) 兰多维列统 龙马溪组 微体化石 纳米孔隙
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聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)在页岩纳米级孔隙结构研究中的应用 被引量:44
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作者 马勇 钟宁宁 +2 位作者 黄小艳 郭州平 姚立鹏 《电子显微学报》 CAS CSCD 2014年第3期251-256,共6页
页岩中大量发育的纳米级孔隙组成了页岩气储集的主要空间。聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)通过对页岩样品的连续切割和成像,能够在纳米尺度上三维重建页岩的空间分布。依据不同岩石组分灰度值的差异,可以将页岩内的孔隙、有机质、黄铁矿... 页岩中大量发育的纳米级孔隙组成了页岩气储集的主要空间。聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)通过对页岩样品的连续切割和成像,能够在纳米尺度上三维重建页岩的空间分布。依据不同岩石组分灰度值的差异,可以将页岩内的孔隙、有机质、黄铁矿等分割提取出来,不仅可以三维展示其空间分布形态,还可以对孔隙的分布特征和孔隙度等参数进行定量计算。聚集离子束扫描电镜在页岩纳米孔隙中的应用,将给页岩微观结构的深入研究提供新的研究手段。 展开更多
关键词 页岩气 聚焦离子扫描电镜 FIB-SEM 页岩纳米孔隙 三维重构
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聚焦离子束扫描电镜的三维图像配准方法研究 被引量:4
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作者 李云琴 郭建胜 +1 位作者 谢礼 洪健 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2022年第7期63-67,共5页
该研究探索了一种用于聚焦离子束扫描电镜(focus ion beam-scanning electron microscope,FIB-SEM)的三维序列图像配准新方法,即对特定参照物分割后,将Z轴序列图像转化为时间序列图像,利用IMARIS软件的时间序列追踪算法对相邻帧图像之... 该研究探索了一种用于聚焦离子束扫描电镜(focus ion beam-scanning electron microscope,FIB-SEM)的三维序列图像配准新方法,即对特定参照物分割后,将Z轴序列图像转化为时间序列图像,利用IMARIS软件的时间序列追踪算法对相邻帧图像之间的位错进行纠正,从而达到配准的目的。配准的结果使得Z轴序列图像中锯齿状位错大为减少,图像和结构更清晰完整。针对同一套FIB-SEM序列图像的数据,其纠错效果与传统AMIRA软件实现的配准相比,效果达到预期,操作更加简便有效。该研究为电镜三维图像的位置配准提供了新方法。 展开更多
关键词 图像位置配准 三维重构 聚焦离子扫描电镜
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聚焦离子束系统液态金属离子源的研制 被引量:3
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作者 马向国 刘同娟 顾文琪 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期331-336,共6页
设计了一种聚焦离子束系统用液态金属离子源(Liquid Metal lon Source-LMIS),本文对该源组件结构的设计、发射针尖的腐蚀工艺、挂金属镓工艺、测试系统的设计作了介绍;然后对该离子源的I-V特性、角电流密度、稳定性以及寿命等性能进行... 设计了一种聚焦离子束系统用液态金属离子源(Liquid Metal lon Source-LMIS),本文对该源组件结构的设计、发射针尖的腐蚀工艺、挂金属镓工艺、测试系统的设计作了介绍;然后对该离子源的I-V特性、角电流密度、稳定性以及寿命等性能进行了测试。实验结果表明,该源的各项指标均达到了聚焦离子束系统的要求,并对影响源性能的因素进行了分析,从而为合理有效地设计液态金属离子源提供启示。 展开更多
关键词 聚焦离子 液态金属离子 测试系统 发射特性
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聚焦离子束(FIB)快速制备透射电镜样品 被引量:7
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作者 周伟敏 徐南华 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期513-513,共1页
关键词 透射电子显微镜 聚焦离子系统 样品制备 离子减薄法
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亚微米聚焦离子束数字图像系统 被引量:4
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作者 俞学东 郑亚红 +1 位作者 张志远 陆家和 《真空科学与技术》 CSCD 1992年第6期419-425,共7页
介绍我们研制的亚微米聚焦离子束装置的数字图像系统。它采用数字存贮技术,离子束在样品观察区扫描一次即可获得稳定清晰的图像,大大降低了离子束对样品的辐射损伤。它具有操作灵活、图像处理等多项功能。本系统是聚焦离子束装置必不可... 介绍我们研制的亚微米聚焦离子束装置的数字图像系统。它采用数字存贮技术,离子束在样品观察区扫描一次即可获得稳定清晰的图像,大大降低了离子束对样品的辐射损伤。它具有操作灵活、图像处理等多项功能。本系统是聚焦离子束装置必不可少的部分,亦可推广应用于其它各种扫描成像的设备中。 展开更多
关键词 聚焦 离子 数字图像系统
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基于射线理论面向层状介质的三维观测系统聚焦束分辨率计算 被引量:2
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作者 杨萌萌 刘学伟 +2 位作者 谢城亮 刘继红 杜百灵 《石油地球物理勘探》 EI CSCD 北大核心 2011年第5期669-674,836+659,共6页
本文用射线理论简化了观测系统双聚焦束分辨率的计算,即首先根据射线理论求得由目标点激发的地表响应——CFP道集,再将CFP道集向下延拓聚焦到目标层,得到聚焦束。观测系统中检波点和震源分布密集时成像效果更好。当存在较大倾角构造时,... 本文用射线理论简化了观测系统双聚焦束分辨率的计算,即首先根据射线理论求得由目标点激发的地表响应——CFP道集,再将CFP道集向下延拓聚焦到目标层,得到聚焦束。观测系统中检波点和震源分布密集时成像效果更好。当存在较大倾角构造时,成像点周围的能量团会向构造倾向偏离,且在观测系统(检波点和震源点分布)稀疏时更明显。理论和实际模型试算结果均表明,该方法计算速度较快、效率较高,且符合精度要求。 展开更多
关键词 聚焦 三维地震观测系统 射线理论 分辨率 聚焦
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聚焦离子束显微镜技术及其在地球和行星科学研究中的应用 被引量:9
10
作者 谷立新 李金华 《矿物岩石地球化学通报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期1119-1140,共22页
聚焦离子束-扫描电子显微镜作为重要的微纳米尺度精细加工、微小样品制备和微区原位显微分析设备,与其他高精尖显微分析仪器(如透射电镜、离子探针、原子探针和同步辐射等)配合使用,可为纳米地球科学发展提供重要技术支撑。本文在简要... 聚焦离子束-扫描电子显微镜作为重要的微纳米尺度精细加工、微小样品制备和微区原位显微分析设备,与其他高精尖显微分析仪器(如透射电镜、离子探针、原子探针和同步辐射等)配合使用,可为纳米地球科学发展提供重要技术支撑。本文在简要介绍聚焦离子束-扫描电镜技术的原理、功能和技术发展的基础上,重点展示该技术在加工制备透射电镜超薄片样品和原子探针针尖样品中的应用,以及在代表性地学样品(如矿化微生物和页岩等)样品三维重构成像分析上的应用。最后,分析了该技术的未来发展趋势,并对它在地球和行星科学研究中的注意事项进行了初步探讨。 展开更多
关键词 聚焦离子 扫描电镜 透射电镜 原子探针 纳米地球科学 行星科学
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电子束诱导沉积工艺的优化与简化
11
作者 高尚 黄梦诗 +1 位作者 肖飞 孙千 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第4期340-348,共9页
电子束诱导沉积(EBID)因沉积速率慢、沉积物纯度低等缺点,常被限制在离子束诱导沉积(IBID)工艺前的保护层制备等辅助性工艺中。文章针对工艺的效率提升与流程简化展开系统研究,重点分析了关键工艺参数对沉积速率和效果的影响,并提出了... 电子束诱导沉积(EBID)因沉积速率慢、沉积物纯度低等缺点,常被限制在离子束诱导沉积(IBID)工艺前的保护层制备等辅助性工艺中。文章针对工艺的效率提升与流程简化展开系统研究,重点分析了关键工艺参数对沉积速率和效果的影响,并提出了一种基于扫描电镜缩小框功能的简化工艺。研究表明,低加速电压条件下,沉积速率显著提高;束流与沉积厚度呈线性正相关;短驻留时间有助于获得更高的沉积速率。通过优化参数,研究实现EBID沉积效率达到0.03μm^(3)/nC,显著优于既往文献报道的效率范围。简化工艺无需依赖复杂的专用程序,操作便捷。特别是在对精度要求不高但重视效率的场景中,优化后的EBID工艺可在某些应用中完全替代IBID工艺。因此,通过优化聚焦离子束-扫描电镜中电子束诱导沉积的参数,提高沉积速率并简化操作流程,具有重要应用价值,为沉积保护层提供了全新的解决思路与替代方案。 展开更多
关键词 电子诱导沉积 沉积速率 工艺参数优化 聚焦离子-扫描电镜
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FIB/SEM双束系统在微纳米材料电学性能测试中的应用 被引量:7
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作者 彭开武 《电子显微学报》 CAS CSCD 2016年第1期75-80,共6页
电学性能测试是微纳米材料物性研究的重要组成部分,测试电极的制备是其中一个难点。光学光刻、电子束曝光或聚焦离子束加工是三种不同的电极制备技术。每种技术都有自己的特点,采用何种技术取决于微纳米材料的尺寸、形态及测试目的等诸... 电学性能测试是微纳米材料物性研究的重要组成部分,测试电极的制备是其中一个难点。光学光刻、电子束曝光或聚焦离子束加工是三种不同的电极制备技术。每种技术都有自己的特点,采用何种技术取决于微纳米材料的尺寸、形态及测试目的等诸多因素。此外,选择适当的制样方法对后续的电学性能测试也很关键。本文以一台配备了电子束曝光功能附件的聚焦离子束(FIB)/扫描电子显微镜(SEM)双束系统为工具,结合光学光刻等其它加工技术,详细介绍了其针对不同类型微纳米材料进行电极制备的过程和方法。 展开更多
关键词 聚焦离子 系统 微纳米材料 电学性能 电极制备 电子曝光
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FIB/SEM双束系统在微纳加工与表征中的应用 被引量:3
13
作者 彭开武 《中国材料进展》 CAS CSCD 2013年第12期728-734,751,共8页
简要回顾了聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统在国家纳米科学中心的应用。围绕透射电镜样品制备、扫描电子显微镜与扫描离子显微镜、纳米材料的二维与三维表征等材料表征,以及离子束直接刻蚀加工如光子晶体阵列器件原型加工、材料沉积... 简要回顾了聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统在国家纳米科学中心的应用。围绕透射电镜样品制备、扫描电子显微镜与扫描离子显微镜、纳米材料的二维与三维表征等材料表征,以及离子束直接刻蚀加工如光子晶体阵列器件原型加工、材料沉积加工如用于电学性能测试的四电极制作、指定点加工如原子力显微镜针尖修饰、三维加工、电子束曝光及其与聚焦离子束联合加工等纳米结构加工两方面,以些具体实例分类进行了介绍。针对限制其应用的些不利因素,如加工效率低、面积小、精度不足、加工损伤等问题,些新技术如新型离子源Plasma、He+/Ne+离子等与现有Ga+聚焦离子束系统配合将成为未来发展方向。 展开更多
关键词 聚焦离子 系统 纳米材料表征 纳米结构加工 电子曝光 透射电镜样品制备
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真空室氢组分背压对霍尔推力器等离子体束聚焦特性的影响研究
14
作者 丁永杰 扈延林 +2 位作者 宁中喜 颜世林 李杰 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期635-640,共6页
基于光谱方法和羽流探针诊断方法,研究分析了氢组分压力对霍尔推力器束流聚焦特性和振荡特性的影响。研究结果表明,随着罐内氢组分压力的提高,通道内氢的特征谱线强度增强,相比 pH=0Pa, pH=0.04Pa下最大HI=652.6nm相对谱线强度增加... 基于光谱方法和羽流探针诊断方法,研究分析了氢组分压力对霍尔推力器束流聚焦特性和振荡特性的影响。研究结果表明,随着罐内氢组分压力的提高,通道内氢的特征谱线强度增强,相比 pH=0Pa, pH=0.04Pa下最大HI=652.6nm相对谱线强度增加了8-9倍。氢组分向通道内的返流影响通道内的工质电离和离子加速过程,进而导致推力器束流特性变差,且伴随着低频振荡增大。当 p H=0.04Pa时,羽流发散半角为41.5°,相比pH=0Pa条件下增加了24.5°。 展开更多
关键词 霍尔推力器 地面真空系统 氢气分压 光谱 离子聚焦
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聚焦离子束(FIB)及其应用 被引量:32
15
作者 韩伟 肖思群 《中国材料进展》 CAS CSCD 2013年第12期716-727,751,共13页
简单介绍了聚焦离子束(FIB)的历史和工作原理,以及将离子束和电子束合为体的双束系统。具体讨论了双束系统上的主要功能,如离子束镜筒、气体注入系统(GIS)、超高分辨率的扫描电镜镜筒及将离子束和电子束合为体的独特优势。例举了双束系... 简单介绍了聚焦离子束(FIB)的历史和工作原理,以及将离子束和电子束合为体的双束系统。具体讨论了双束系统上的主要功能,如离子束镜筒、气体注入系统(GIS)、超高分辨率的扫描电镜镜筒及将离子束和电子束合为体的独特优势。例举了双束系统的系列应用,如制作纳米图形用的多种加工方法,气体注入系统在制作纳米图形中的应用,透射电镜及原子探针的样品制备,三维形貌表征,三维能谱成分表征,三维EBSD晶体位相表征和电路修补。详细介绍了这些相关应用的发展现状及特点,比较了各种应用的优缺点。文章还介绍了在中国科研领域双束系统的应用状况及中国科研工作者利用双束系统获得的重要成果。 展开更多
关键词 聚焦离子 气体注入系统 微纳图形加工 三维表征
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聚焦离子束技术在常温生物样品三维重构方面的方法探讨 被引量:10
16
作者 李晓敏 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期196-205,共10页
聚焦离子束连续切片扫描电镜(focused ion beam serial block face scanning electron microscopy,FIB-SEM)技术,目前已被广泛应用于小体积细胞或组织样品的三维重构,具有自动化程度高、Z轴分辨高等优点。本文从包埋块样品准备与处理、... 聚焦离子束连续切片扫描电镜(focused ion beam serial block face scanning electron microscopy,FIB-SEM)技术,目前已被广泛应用于小体积细胞或组织样品的三维重构,具有自动化程度高、Z轴分辨高等优点。本文从包埋块样品准备与处理、样品区域选定、软件设置前准备、软件参数(离子束加工和电子束扫描)设置、软件运行与图像采集和图像处理等多个方面,详细介绍应用FIB-SEM技术对常温生物包埋块样品进行三维重构的流程和细节,并对某些关键性参数展开讨论。 展开更多
关键词 聚焦离子连续切片扫描电镜技术 生物包埋块 自动化数据收集 三维重构
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双驱动射频负氢离子源匹配网络设计与实验研究
17
作者 阳璞琼 李宇乾 +4 位作者 蒋才超 潘军军 刘波 陈世勇 谢远来 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期155-160,共6页
随着磁约束聚变实验装置对中性束注入器的输出束流强度与脉冲时间的要求越来越高,开展高功率大面积射频离子源的研究迫在眉睫。为了实现大面积、高密度均匀等离子体放电,基于多驱动射频离子源的设计是当前的发展趋势,而阻抗匹配网络是... 随着磁约束聚变实验装置对中性束注入器的输出束流强度与脉冲时间的要求越来越高,开展高功率大面积射频离子源的研究迫在眉睫。为了实现大面积、高密度均匀等离子体放电,基于多驱动射频离子源的设计是当前的发展趋势,而阻抗匹配网络是射频功率源将最大功率输送至线圈并耦合至等离子体的关键,故对其结构设计和调谐特性的研究是不可或缺的。基于前期在单驱动射频离子源的研究基础上,结合双驱动射频离子源的放电需求,开展了双驱动阻抗匹配网络优化结构的设计与分析,通过实验中对匹配网络的调谐,成功实现了140 kW高功率和25 kW/1 000 s长脉冲的稳定运行。随后在等离子体稳定放电的基础上研究了两个驱动器之间的功率分配均匀性问题,实验结果表明了该匹配网络的优化设计合理可行,上下驱动器的射频功率分配基本均匀。 展开更多
关键词 中性注入系统 驱动射频离子 阻抗匹配 射频功率传输系统 离子
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超高精度离子束抛光工具设计与性能分析
18
作者 鹿迎 解旭辉 +1 位作者 周林 彭文强 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期17-20,共4页
为了解决高精度光学修形问题,进行离子束抛光工具的设计与性能分析研究。通过开展离子束抛光工具设计方法的研究、聚焦离子光学系统结构设计和离子束流特性的分析,进行计算机仿真研究和中和器一体化设计;研制聚焦离子光学系统和中和器,... 为了解决高精度光学修形问题,进行离子束抛光工具的设计与性能分析研究。通过开展离子束抛光工具设计方法的研究、聚焦离子光学系统结构设计和离子束流特性的分析,进行计算机仿真研究和中和器一体化设计;研制聚焦离子光学系统和中和器,并采用15mm和10mm的聚焦离子光学系统进行修形加工实验,将口径150mm的熔石英平面镜从初始面形误差RMS15.58nm修正到RMS0.79nm。结果证明了聚焦离子光学系统设计的有效性,一体化离子束抛光工具具有亚纳米精度的修形能力。 展开更多
关键词 离子修形 聚焦离子光学系统 离子特性
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一种改进的观测系统双聚焦成像分析方法及应用
19
作者 侯海龙 禹金营 +2 位作者 崔庆辉 倪良健 林文龙 《石油物探》 CSCD 北大核心 2023年第4期605-613,共9页
基于偏移成像分辨率对观测系统进行量化评价,可在地震采集设计阶段为获得最佳成像效果提供保证。目前基于偏移成像分辨率的观测系统评价方法以双聚焦分析为主,其实现过程包含了波场延拓,因而导致双聚焦计算效率低。针对常规双聚焦分析... 基于偏移成像分辨率对观测系统进行量化评价,可在地震采集设计阶段为获得最佳成像效果提供保证。目前基于偏移成像分辨率的观测系统评价方法以双聚焦分析为主,其实现过程包含了波场延拓,因而导致双聚焦计算效率低。针对常规双聚焦分析方法效率低的缺点,对其进行如下改进:首先利用基于有限频斯奈尔定律和粘弹介质模型的高斯束正演得到目标点的CFP道集,再根据计算得到的旅行时,将CFP道集在目标点平面内进行检波点和炮点双聚焦,最后以聚焦主能量的宽度作为偏移成像分辨率对观测系统进行评价。改进后的双聚焦分析方法在射线追踪时考虑了菲涅尔带的影响,同时在动力学追踪时考虑了品质因子的影响以及子波主频的变化,因此计算结果更为真实可靠。该方法原理与叠前深度偏移一致,模型应用结果表明,该方法能够高效、可靠地针对地下某一目标点或目标层进行观测系统偏移成像分辨率量化评价,对于复杂地质目标的三维观测系统设计具有较高的应用价值。 展开更多
关键词 观测系统 聚焦 高斯 有限频斯奈尔定律 品质因子
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基于FIB-SEM制备尖晶石微米颗粒的球差校正透射电镜样品 被引量:9
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作者 王磊 曲迪 +1 位作者 姬静远 白国人 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期50-54,共5页
针对尖晶石微米颗粒材料,利用聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM),在传统透射电镜样品制备方法的基础上进行技术性改进,成功制备了高质量的球差校正透射电镜样品。并利用球差校正透射电镜成功观察到了尖晶石颗粒的截面原子结构,为更... 针对尖晶石微米颗粒材料,利用聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM),在传统透射电镜样品制备方法的基础上进行技术性改进,成功制备了高质量的球差校正透射电镜样品。并利用球差校正透射电镜成功观察到了尖晶石颗粒的截面原子结构,为更深入地研究尖晶石材料的结构和性能奠定了基础。 展开更多
关键词 聚焦离子束扫描电镜双束系统 微米颗粒 球差校正透射电镜样品
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