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基于聚焦离子束-扫描电镜方法研究页岩有机孔三维结构 被引量:11
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作者 王羽 汪丽华 +3 位作者 王建强 姜政 金婵 王彦飞 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期235-243,共9页
页岩中纳米级有机孔的大小直接影响页岩气含气量,其连通性亦对气体运移和开采至关重要。本文选择漆辽地区龙马溪组富有机质页岩,利用聚焦离子束-扫描电镜(FIB-SEM)在纳米尺度上(10 nm)进行有机孔结构的三维重构。研究结果表明:(1)FIB-SE... 页岩中纳米级有机孔的大小直接影响页岩气含气量,其连通性亦对气体运移和开采至关重要。本文选择漆辽地区龙马溪组富有机质页岩,利用聚焦离子束-扫描电镜(FIB-SEM)在纳米尺度上(10 nm)进行有机孔结构的三维重构。研究结果表明:(1)FIB-SEM方法适用于微米级页岩的纳米(>3 nm)孔隙结构特征研究。(2)蜂窝状有机孔发育均匀,孔径集中于10~200 nm,连通性较差;界面有机孔孔径集中于200~300 nm,局部连通性较好。(3)页岩总孔隙度与有机质含量成正比。研究认为,对于以有机孔为重要储集空间的页岩,有机质分布越集中,连续性越好,研究孔隙度的表征单元体尺度越小。 展开更多
关键词 聚焦离子-扫描电镜 三维空间结构 有机孔 纳米孔隙结构 龙马溪组页岩
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聚焦离子束扫描电镜在石油地质研究中的综合应用 被引量:27
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作者 王晓琦 金旭 +3 位作者 李建明 焦航 吴松涛 刘晓丹 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期303-319,共17页
聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM),以其高分辨率电子束成像及高强度聚焦离子束微纳米级精密加工功能,成为非常规油气储层研究的重要表征手段,推动了我国非常规油气的勘探开发进程,并促进石油地质学开启了全新的领域—纳米地质学。本文重点... 聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM),以其高分辨率电子束成像及高强度聚焦离子束微纳米级精密加工功能,成为非常规油气储层研究的重要表征手段,推动了我国非常规油气的勘探开发进程,并促进石油地质学开启了全新的领域—纳米地质学。本文重点介绍了FIB-SEM在石油地质研究中的综合应用以及创新性开发情况。FIB-SEM的二维大面积成像与三维切片-成像分析可有效解决岩石样品非均质性强的表征难题,并可对岩石内部的孔隙、微裂缝、矿物、有机质和残留油等五大要素进行全面的成像分析,为数字岩心的构建提供具有纳米级分辨率的高质量原始数据。FIB-SEM强大的微纳加工功能,为下一代储层矿物分析、地球化学微观分析等技术的开发提供了制样手段。另外,FIB-SEM可以集成多种先进分析技术,形成集高分辨率成像、物理化学测试为一体的石油地质综合分析平台,应用前景广阔。 展开更多
关键词 聚焦离子扫描电镜 低加速电压成像 三维切片成像 微纳米加工 扫描透射显微成像
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聚焦离子束扫描电镜的三维图像配准方法研究 被引量:4
3
作者 李云琴 郭建胜 +1 位作者 谢礼 洪健 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2022年第7期63-67,共5页
该研究探索了一种用于聚焦离子束扫描电镜(focus ion beam-scanning electron microscope,FIB-SEM)的三维序列图像配准新方法,即对特定参照物分割后,将Z轴序列图像转化为时间序列图像,利用IMARIS软件的时间序列追踪算法对相邻帧图像之... 该研究探索了一种用于聚焦离子束扫描电镜(focus ion beam-scanning electron microscope,FIB-SEM)的三维序列图像配准新方法,即对特定参照物分割后,将Z轴序列图像转化为时间序列图像,利用IMARIS软件的时间序列追踪算法对相邻帧图像之间的位错进行纠正,从而达到配准的目的。配准的结果使得Z轴序列图像中锯齿状位错大为减少,图像和结构更清晰完整。针对同一套FIB-SEM序列图像的数据,其纠错效果与传统AMIRA软件实现的配准相比,效果达到预期,操作更加简便有效。该研究为电镜三维图像的位置配准提供了新方法。 展开更多
关键词 图像位置配准 三维重构 聚焦离子扫描电镜
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聚焦离子束扫描电镜研究微体化石的微观孔隙结构 被引量:3
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作者 胥畅 王文卉 姚素平 《高校地质学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期207-212,共6页
聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)是将聚焦离子束切割和扫描电镜结合起来的双束系统,可以在纳米尺度对样品进行切割加工与实时成像。文中用聚焦离子束扫描电镜对兰多维列统(志留系)龙马溪组黑色页岩内的几类微体化石进行了观察研究,并显示... 聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)是将聚焦离子束切割和扫描电镜结合起来的双束系统,可以在纳米尺度对样品进行切割加工与实时成像。文中用聚焦离子束扫描电镜对兰多维列统(志留系)龙马溪组黑色页岩内的几类微体化石进行了观察研究,并显示牙形刺、几丁石、疑源类均发育有亚微米至纳米级孔隙,这些孔隙可以为页岩气的储集提供有效空间,不同的微体化石孔隙发育的差异可以为页岩中有机质孔隙非均质性成因研究提供重要依据。 展开更多
关键词 聚焦离子扫描电镜(FIB-SEM) 兰多维列统 龙马溪组 微体化石 纳米孔隙
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聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)在页岩纳米级孔隙结构研究中的应用 被引量:44
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作者 马勇 钟宁宁 +2 位作者 黄小艳 郭州平 姚立鹏 《电子显微学报》 CAS CSCD 2014年第3期251-256,共6页
页岩中大量发育的纳米级孔隙组成了页岩气储集的主要空间。聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)通过对页岩样品的连续切割和成像,能够在纳米尺度上三维重建页岩的空间分布。依据不同岩石组分灰度值的差异,可以将页岩内的孔隙、有机质、黄铁矿... 页岩中大量发育的纳米级孔隙组成了页岩气储集的主要空间。聚集离子束扫描电镜(FIB-SEM)通过对页岩样品的连续切割和成像,能够在纳米尺度上三维重建页岩的空间分布。依据不同岩石组分灰度值的差异,可以将页岩内的孔隙、有机质、黄铁矿等分割提取出来,不仅可以三维展示其空间分布形态,还可以对孔隙的分布特征和孔隙度等参数进行定量计算。聚集离子束扫描电镜在页岩纳米孔隙中的应用,将给页岩微观结构的深入研究提供新的研究手段。 展开更多
关键词 页岩气 聚焦离子扫描电镜 FIB-SEM 页岩纳米孔隙 三维重构
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聚焦离子束快速制备锆合金三维原子探针样品 被引量:4
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作者 梁雪 韩洪秀 +2 位作者 黄娇 李慧 李强 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2018年第8期34-36,共3页
利用聚焦离子束快速精确的定位加工了锆合金的三维原子探针样品,通过合理控制加工束流和时间,制备出的针尖样品满足了三维原子探针观察样品的要求。利用三维原子探针从该样品上采集到了8 000多万的原子信息。聚焦离子束可实现三维原子... 利用聚焦离子束快速精确的定位加工了锆合金的三维原子探针样品,通过合理控制加工束流和时间,制备出的针尖样品满足了三维原子探针观察样品的要求。利用三维原子探针从该样品上采集到了8 000多万的原子信息。聚焦离子束可实现三维原子探针样品的快速,便捷,高效制备。 展开更多
关键词 聚焦离子 针尖样品 三维原子探针 锆合金
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聚焦离子束技术在常温生物样品三维重构方面的方法探讨 被引量:10
7
作者 李晓敏 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期196-205,共10页
聚焦离子束连续切片扫描电镜(focused ion beam serial block face scanning electron microscopy,FIB-SEM)技术,目前已被广泛应用于小体积细胞或组织样品的三维重构,具有自动化程度高、Z轴分辨高等优点。本文从包埋块样品准备与处理、... 聚焦离子束连续切片扫描电镜(focused ion beam serial block face scanning electron microscopy,FIB-SEM)技术,目前已被广泛应用于小体积细胞或组织样品的三维重构,具有自动化程度高、Z轴分辨高等优点。本文从包埋块样品准备与处理、样品区域选定、软件设置前准备、软件参数(离子束加工和电子束扫描)设置、软件运行与图像采集和图像处理等多个方面,详细介绍应用FIB-SEM技术对常温生物包埋块样品进行三维重构的流程和细节,并对某些关键性参数展开讨论。 展开更多
关键词 聚焦离子连续切片扫描电镜技术 生物包埋块 自动化数据收集 三维重构
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聚焦离子束显微镜技术及其在地球和行星科学研究中的应用 被引量:9
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作者 谷立新 李金华 《矿物岩石地球化学通报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期1119-1140,共22页
聚焦离子束-扫描电子显微镜作为重要的微纳米尺度精细加工、微小样品制备和微区原位显微分析设备,与其他高精尖显微分析仪器(如透射电镜、离子探针、原子探针和同步辐射等)配合使用,可为纳米地球科学发展提供重要技术支撑。本文在简要... 聚焦离子束-扫描电子显微镜作为重要的微纳米尺度精细加工、微小样品制备和微区原位显微分析设备,与其他高精尖显微分析仪器(如透射电镜、离子探针、原子探针和同步辐射等)配合使用,可为纳米地球科学发展提供重要技术支撑。本文在简要介绍聚焦离子束-扫描电镜技术的原理、功能和技术发展的基础上,重点展示该技术在加工制备透射电镜超薄片样品和原子探针针尖样品中的应用,以及在代表性地学样品(如矿化微生物和页岩等)样品三维重构成像分析上的应用。最后,分析了该技术的未来发展趋势,并对它在地球和行星科学研究中的注意事项进行了初步探讨。 展开更多
关键词 聚焦离子 扫描电镜 透射电镜 原子探针 纳米地球科学 行星科学
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聚焦离子束加工微锥形结构的制造误差分析 被引量:2
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作者 徐宗伟 申雪岑 +3 位作者 李云涛 李康 林枫 贾瑞丽 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期827-833,共7页
聚焦离子束(FIB)纳米制造技术已经成为微纳米尺度功能器件加工的一种重要方法,利用聚焦离子束直写加工可实现复杂二维微纳结构的高精度制造.然而由于离子溅射产额随入射角度非线性变化规律、再沉积现象及离子束能量分布特性的综合影响,... 聚焦离子束(FIB)纳米制造技术已经成为微纳米尺度功能器件加工的一种重要方法,利用聚焦离子束直写加工可实现复杂二维微纳结构的高精度制造.然而由于离子溅射产额随入射角度非线性变化规律、再沉积现象及离子束能量分布特性的综合影响,FIB在三维结构加工中会存在复杂形貌误差.针对FIB加工凹面中存在的典型平底现象这一形貌误差进行了分析和实验研究,通过仿真分析和FIB加工直径4,μm锥形凹坑结构的实验验证,阐明了聚焦离子束高斯能量分布特性与溅射产额规律耦合是产生平底现象的主要原因,为FIB三维结构加工的误差的修正提供了重要的基础和依据. 展开更多
关键词 聚焦离子 微纳制造 直写加工 三维结构加工 高斯分布 溅射产额
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聚焦离子束显微镜技术在锂离子电池领域的研究进展 被引量:3
10
作者 杨妮 苏岳锋 +3 位作者 王联 李宁 马亮 朱晨 《储能科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期1283-1294,共12页
电极材料作为锂离子电池的关键结构组成部分,其结构稳定性直接决定着锂离子电池的电化学性能。由于电极材料具有对空气、水分敏感,不耐电子束辐照等特性,且在充放电过程中,电极本身及其所处化学环境不断变化,表征其微观组织形貌和结构... 电极材料作为锂离子电池的关键结构组成部分,其结构稳定性直接决定着锂离子电池的电化学性能。由于电极材料具有对空气、水分敏感,不耐电子束辐照等特性,且在充放电过程中,电极本身及其所处化学环境不断变化,表征其微观组织形貌和结构具有挑战性。聚焦离子束-扫描电子显微镜作为重要的微纳米尺度精细加工设备,是制备透射样品的重要手段,已广泛应用于半导体、生物等领域。本文通过对近年来相关文献的探讨,综述了聚焦离子束基于锂离子电池领域的解决方案,着重阐述了聚焦离子束在三维重构、冷冻加工、构建单颗粒电池方面的最新进展,采用三维重构技术可以获取电极材料中的孔隙网络、多相结构、体积变化等三维特征信息,进行定量评估,建立微观结构模型对电池性能进行预测。基于冷冻加工技术,将液态电解质、Li金属等束流敏感材料冷冻,保持其原始形貌和化学性质,可以有效表征Li金属阳极以及固液界面的本征信息。构建单颗粒微型电池可以实现原位观察单粒子循环过程中的微观结构演化,避免黏结剂、导电添加物等对材料本征性能的影响,确定电极材料的内在特性。本文详细介绍了聚焦离子束在这3个方面的加工过程,并分析加工过程中存在的不足,提出目前面临的主要挑战。本文从锂离子电池材料特性和聚焦离子束实验方法出发,为该领域科研人员提供便利。 展开更多
关键词 离子电池 聚焦离子 三维重构 冷冻加工技术
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聚焦离子束(FIB)及其应用 被引量:32
11
作者 韩伟 肖思群 《中国材料进展》 CAS CSCD 2013年第12期716-727,751,共13页
简单介绍了聚焦离子束(FIB)的历史和工作原理,以及将离子束和电子束合为体的双束系统。具体讨论了双束系统上的主要功能,如离子束镜筒、气体注入系统(GIS)、超高分辨率的扫描电镜镜筒及将离子束和电子束合为体的独特优势。例举了双束系... 简单介绍了聚焦离子束(FIB)的历史和工作原理,以及将离子束和电子束合为体的双束系统。具体讨论了双束系统上的主要功能,如离子束镜筒、气体注入系统(GIS)、超高分辨率的扫描电镜镜筒及将离子束和电子束合为体的独特优势。例举了双束系统的系列应用,如制作纳米图形用的多种加工方法,气体注入系统在制作纳米图形中的应用,透射电镜及原子探针的样品制备,三维形貌表征,三维能谱成分表征,三维EBSD晶体位相表征和电路修补。详细介绍了这些相关应用的发展现状及特点,比较了各种应用的优缺点。文章还介绍了在中国科研领域双束系统的应用状况及中国科研工作者利用双束系统获得的重要成果。 展开更多
关键词 聚焦离子 气体注入系统 微纳图形加工 三维表征
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电子束诱导沉积工艺的优化与简化
12
作者 高尚 黄梦诗 +1 位作者 肖飞 孙千 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第4期340-348,共9页
电子束诱导沉积(EBID)因沉积速率慢、沉积物纯度低等缺点,常被限制在离子束诱导沉积(IBID)工艺前的保护层制备等辅助性工艺中。文章针对工艺的效率提升与流程简化展开系统研究,重点分析了关键工艺参数对沉积速率和效果的影响,并提出了... 电子束诱导沉积(EBID)因沉积速率慢、沉积物纯度低等缺点,常被限制在离子束诱导沉积(IBID)工艺前的保护层制备等辅助性工艺中。文章针对工艺的效率提升与流程简化展开系统研究,重点分析了关键工艺参数对沉积速率和效果的影响,并提出了一种基于扫描电镜缩小框功能的简化工艺。研究表明,低加速电压条件下,沉积速率显著提高;束流与沉积厚度呈线性正相关;短驻留时间有助于获得更高的沉积速率。通过优化参数,研究实现EBID沉积效率达到0.03μm^(3)/nC,显著优于既往文献报道的效率范围。简化工艺无需依赖复杂的专用程序,操作便捷。特别是在对精度要求不高但重视效率的场景中,优化后的EBID工艺可在某些应用中完全替代IBID工艺。因此,通过优化聚焦离子束-扫描电镜中电子束诱导沉积的参数,提高沉积速率并简化操作流程,具有重要应用价值,为沉积保护层提供了全新的解决思路与替代方案。 展开更多
关键词 电子诱导沉积 沉积速率 工艺参数优化 聚焦离子-扫描电镜
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多孔介质微观孔隙结构三维成像技术 被引量:21
13
作者 关振良 谢丛姣 +1 位作者 董虎 罗国平 《地质科技情报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期115-121,共7页
详细介绍目前国际上最先进的多孔介质微观结构三维成像技术,包括系列切片技术、聚焦离子束技术(FIB)、激光共聚焦扫描显微镜、Micro-CT技术,分析了各自的优越性及局限性,探讨了Micro-CT技术的应用现状及其在地质学领域的应用前景。分析... 详细介绍目前国际上最先进的多孔介质微观结构三维成像技术,包括系列切片技术、聚焦离子束技术(FIB)、激光共聚焦扫描显微镜、Micro-CT技术,分析了各自的优越性及局限性,探讨了Micro-CT技术的应用现状及其在地质学领域的应用前景。分析结果表明,Micro-CT及今后的Nano-CT技术是一种无损伤的3D成像技术,不但可获得足够分辨率的多孔介质微观孔隙结构3D图像,而且还可以现场实时检测孔隙中流体的渗流状态,在多孔介质孔隙结构及渗流机理研究中具有重要的应用价值。该技术必定成为今后的主流技术,不仅将在石油工程、水文工程等领域发挥重要的作用,而且还将广泛应用于岩石学、矿物学、古生物学、材料学、资源科学及环境科学等领域。该技术的研究和应用在我国还处在起步阶段,应加大设备引进和研究力度。 展开更多
关键词 系列切片 聚焦离子技术(FIB) 激光共聚焦扫描显微镜 MICRO-CT 三维成像 孔隙网络模型
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涡轮叶片热障涂层三维成像研究进展 被引量:3
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作者 敖波 邬冠华 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2021年第4期20-27,共8页
热障涂层是涡轮叶片高温防护关键技术,具有典型的层状结构特征,且热障涂层服役过程中高温氧化产生热生长氧化物结构,迫切需要利用三维成像方法无损探知热障涂层内部结构。由于计算机断层成像技术能提供三维立体图像,准确再现物体内部三... 热障涂层是涡轮叶片高温防护关键技术,具有典型的层状结构特征,且热障涂层服役过程中高温氧化产生热生长氧化物结构,迫切需要利用三维成像方法无损探知热障涂层内部结构。由于计算机断层成像技术能提供三维立体图像,准确再现物体内部三维结构,是热障涂层层状结构最佳分析手段之一,在热障涂层喷涂质量评价和高温氧化监测方面具有很好的前景。重点介绍了国内外在热障涂层微米CT成像、同步辐射CT成像、聚焦离子束–扫描电镜(FIB–SEM)三维成像及热应力有限元仿真方面的进展。最后指出了热障涂层无损检测可能的发展方向。 展开更多
关键词 热障涂层 微米CT 同步辐射CT 聚焦离子扫描电镜(FIB–SEM) 涡轮叶片 无损检测
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体电子显微成像技术在肝癌细胞超微结构分析中的应用研究
15
作者 郭建胜 张兴 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期479-486,共8页
体电子显微成像技术(volume electron microscopy)可以在更大三维空间中对样品进行纳米分辨率三维结构分析,获取样品内部结构的三维模型和各结构之间的位置关系、体积比例等信息,更加全面地反映样品的超微结构与功能的关系。本文利用基... 体电子显微成像技术(volume electron microscopy)可以在更大三维空间中对样品进行纳米分辨率三维结构分析,获取样品内部结构的三维模型和各结构之间的位置关系、体积比例等信息,更加全面地反映样品的超微结构与功能的关系。本文利用基于聚焦离子束扫描电镜的体电子显微成像技术对人源肝癌细胞的三维超微结构进行分析,获得了多种细胞器包括细胞核、线粒体、内质网和高尔基体等的高分辨率三维结构模型。 展开更多
关键词 聚焦离子扫描电镜 体电子显微成像技术 人源肝癌细胞 三维重构 超微结构
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FIB加工、扫描及透射电子显微镜相结合的复杂合金相层状组织表征 被引量:8
16
作者 周玲玲 孙威 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期590-595,共6页
扫描电子显微镜(SEM)与聚焦离子束(FIB)可集成为双束系统,实现微区形貌观察与样品加工一体化,同时也可实现截面薄样品的定位提取。利用该技术并结合透射电镜(TEM)技术研究了Al-Pd-Fe复杂合金系铸态组织中层片结构的构成与分布特征。结... 扫描电子显微镜(SEM)与聚焦离子束(FIB)可集成为双束系统,实现微区形貌观察与样品加工一体化,同时也可实现截面薄样品的定位提取。利用该技术并结合透射电镜(TEM)技术研究了Al-Pd-Fe复杂合金系铸态组织中层片结构的构成与分布特征。结果表明,铸态Al_(75)Pd_(15)Fe_(10)合金中的层片组织由M-Al_(13)Fe_4相与准晶相构成。通过对比发现,相同层片组织在背散射电子像与透射电镜观察下呈现出明显不同的分布特征。结合扫描与透射电子显微学成像原理,阐明了SEM和TEM两种表征方式产生不同结果的原因,指出了通过SEM,FIB以及TEM相结合对表征微细多相混合组织真实三维空间分布特征的必要性和有效性。 展开更多
关键词 复杂合金相 片层组织 背散射电子成像 聚焦离子 透射电子显微镜
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EB-PVD热障涂层TGO三维结构分析 被引量:3
17
作者 敖波 钟建兰 古玉祺 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期136-142,共7页
热生长氧化物(TGO)的厚度及形貌是影响热障涂层热应力的关键因素。首先开展了电子束物理气相沉积(EB-PVD)热障涂层1 050℃恒温氧化实验,采用聚焦离子束-扫描电子显微镜(FIB-SEM)实现了EB-PVD热障涂层三维成像,获得了576幅热障涂... 热生长氧化物(TGO)的厚度及形貌是影响热障涂层热应力的关键因素。首先开展了电子束物理气相沉积(EB-PVD)热障涂层1 050℃恒温氧化实验,采用聚焦离子束-扫描电子显微镜(FIB-SEM)实现了EB-PVD热障涂层三维成像,获得了576幅热障涂层高温氧化48 h后的SEM图像;其次,通过EB-PVD热障涂层三维结构的分割与提取,得到了真实TGO三维结构和柱间孔隙三维分布,实现了TGO层的厚度测量;最后建立了基于TGO三维结构和柱间孔隙三维分布的EB-PVD热障涂层有限元热应力分析模型,分析了真实TGO三维结构和柱间孔隙三维分布对EB-PVD热障涂层热应力的影响。结果表明,TGO层的平均厚度为2.37μm,有限元模型中最大拉应力为403 MPa,最大压应力为-282 MPa,最大拉应力与最大压应力均出现在陶瓷层中的柱间孔隙处。 展开更多
关键词 电子物理气相沉积 热生长氧化物 聚焦离子-扫描电子显微镜 三维结构
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基于DeepLabv3+网络的煤体孔隙识别及分析
18
作者 刘纪坤 张博浩 +2 位作者 王翠霞 赵兰华 徐栋梁 《西安科技大学学报》 北大核心 2025年第3期481-490,共10页
煤基质孔隙结构影响着瓦斯赋存、运移形式,对瓦斯涌出量预测、煤层气安全开采至关重要。为实现煤体孔隙的准确表征,以小保当(XBD)和桑树坪(SSP)2个矿区煤样为例,通过聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)试验获取煤体孔隙分布图像,建立数据集。... 煤基质孔隙结构影响着瓦斯赋存、运移形式,对瓦斯涌出量预测、煤层气安全开采至关重要。为实现煤体孔隙的准确表征,以小保当(XBD)和桑树坪(SSP)2个矿区煤样为例,通过聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)试验获取煤体孔隙分布图像,建立数据集。基于机器学习方法构建了煤体孔隙图像识别分割的DeepLabv3+模型,并与经典网络模型PSPnet和UNet进行对比,实现煤体孔隙结构的快速识别及分析。结果表明:DeepLabv3+网络分割效果良好,平均交并比达到92.71%,较PSPnet和UNet网络分别提升了12.67%、2.32%,对于微纳米孔隙的识别能力较强;XBD煤样孔径大于50 nm的大孔分布较多,占总孔的55.02%,以角砾孔、粒间孔和溶蚀孔为主,孔隙连通性较好,而SSP孔径2~50 nm的过渡孔及大孔数量较多,所占孔隙比例为76.04%,形态相对简单,平均圆度达到0.531μm,但孔隙间连通性差,不利于瓦斯气体运移,与瓦斯涌出量的测定结果一致。研究结果证明了DeepLabv3+模型在煤体孔隙图像分割方面具有良好的适用性,为煤体孔隙结构表征及分析提供了参考依据。 展开更多
关键词 孔隙结构 瓦斯涌出量 聚焦离子扫描电镜 机器学习 DeepLabv3+模型
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基于FIB辐照加工制备三维结构的动态过程 被引量:2
19
作者 沈贇靓 瞿敏妮 +1 位作者 王英 付学成 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2020年第2期44-47,共4页
基于FIB直写及辐照技术加工制备了金膜的三维立体结构,并测量了薄膜结构形变量随辐照时间的变化,分析了其动态变化过程及机理。结果表明,金膜在离子束辐照下,金原子和镓离子相互作用,在金膜内部产生空位及位错,从而引起薄膜应力,经过一... 基于FIB直写及辐照技术加工制备了金膜的三维立体结构,并测量了薄膜结构形变量随辐照时间的变化,分析了其动态变化过程及机理。结果表明,金膜在离子束辐照下,金原子和镓离子相互作用,在金膜内部产生空位及位错,从而引起薄膜应力,经过一定的弛豫时间,应力发生释放,随后三维结构的形变量随着镓离子辐照剂量的增加缓慢变化。 展开更多
关键词 三维微纳结构 聚焦离子 辐照 动态分析 金膜
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贵金属超细丝材截面的EBSD与三维重构表征 被引量:1
20
作者 袁晓虹 王一晴 +5 位作者 周文艳 甘建壮 陈国华 康菲菲 毛端 毕勤嵩 《贵金属》 CAS 北大核心 2021年第3期64-70,共7页
贵金属超细丝材常用于精密电子功能器件的关键位置,但由于其加工成品尺寸微细传统技术无法准确表征超细丝材的微观精细结构。采用聚焦离子束-电子背散射衍射(FIB-EBSD)联用的超细丝材截面制样与表征方法,精确表征出了4种不同材质贵金属... 贵金属超细丝材常用于精密电子功能器件的关键位置,但由于其加工成品尺寸微细传统技术无法准确表征超细丝材的微观精细结构。采用聚焦离子束-电子背散射衍射(FIB-EBSD)联用的超细丝材截面制样与表征方法,精确表征出了4种不同材质贵金属超细丝材的晶粒、取向、织构以及晶界等微观结构信息;而3D EBSD三维重构技术将微观结构分析实现为3D动态过程,更加直观地反应出超细丝材的真实微观结构信息。 展开更多
关键词 金属材料 超细丝材 扫描电子显微镜 聚焦离子 电子背散射衍射 三维重构
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