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AgO_x掩膜的制备和性能研究
被引量：
1
1
作者
张约品
阮昊
+1 位作者
沈德芳
干福熹
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期156-157,共2页
磁控反应溅射制备了AgOx掩膜,用聚焦激光热效应装置测得的光透过特性,分析了AgOx掩膜的开关性能。结果表明,AgOx 掩膜在较低的温度作用下有良好的开关性能,反应AgOx Ag+O2可逆,适用于LSC-super-RENS光盘。用X-ray和TEM分析了热处理后的A...
磁控反应溅射制备了AgOx掩膜,用聚焦激光热效应装置测得的光透过特性,分析了AgOx掩膜的开关性能。结果表明,AgOx 掩膜在较低的温度作用下有良好的开关性能,反应AgOx Ag+O2可逆,适用于LSC-super-RENS光盘。用X-ray和TEM分析了热处理后的AgOx薄膜的成分结构,表明200℃热处理AgOx掩膜存在纳米量级Ag颗粒。
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关键词
磁控反应溅射
AgOx掩膜
聚焦激光热效应
开关性能
制备
光盘
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职称材料
题名
AgO_x掩膜的制备和性能研究
被引量：
1
1
作者
张约品
阮昊
沈德芳
干福熹
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
宁波大学光电子功能材料研究所
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期156-157,共2页
基金
国家自然科学基金霉点资助项目(59832060)
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(19990330)
文摘
磁控反应溅射制备了AgOx掩膜,用聚焦激光热效应装置测得的光透过特性,分析了AgOx掩膜的开关性能。结果表明,AgOx 掩膜在较低的温度作用下有良好的开关性能,反应AgOx Ag+O2可逆,适用于LSC-super-RENS光盘。用X-ray和TEM分析了热处理后的AgOx薄膜的成分结构,表明200℃热处理AgOx掩膜存在纳米量级Ag颗粒。
关键词
磁控反应溅射
AgOx掩膜
聚焦激光热效应
开关性能
制备
光盘
Keywords
Film preparation
Nanostructured materials
Sputtering
Switching functions
X ray diffraction
分类号
TQ594 [化学工程—精细化工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
AgO_x掩膜的制备和性能研究
张约品
阮昊
沈德芳
干福熹
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
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