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PEN为衬底的柔性有机电致发光器件的光电性能
被引量：
2
1
作者
李杰
蒋亚东
+1 位作者
于欣格
于军胜
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012年第2期240-242,246,共4页
采用直流磁控溅射技术,在聚对萘二甲酸乙二醇酯(PEN)柔性衬底上制备了氧化物铟锡(ITO)导电薄膜,研究了衬底温度和薄膜厚度工艺参数对柔性衬底上导电薄膜光学性能与电学性能的影响。在优化工艺的条件下,所制备的PEN导电基板的方阻低至35...
采用直流磁控溅射技术,在聚对萘二甲酸乙二醇酯(PEN)柔性衬底上制备了氧化物铟锡(ITO)导电薄膜,研究了衬底温度和薄膜厚度工艺参数对柔性衬底上导电薄膜光学性能与电学性能的影响。在优化工艺的条件下,所制备的PEN导电基板的方阻低至35Ω/□,且可见光透过率大于95%;以此柔性ITO衬底为阳极,制备了结构为PEN/ITO/NPB/Alq3/Al的柔性有机电致发光器件。作为对比,选用多种不同的衬底材料制备了有机电致发光器件,并比较了各器件性能的差异。
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关键词
有机电致发光器件
聚
对萘二甲酸
乙二醇
酯
(
pen
)
柔性
衬
底
氧化物铟锡(ITO)薄膜
磁控溅射
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职称材料
题名
PEN为衬底的柔性有机电致发光器件的光电性能
被引量：
2
1
作者
李杰
蒋亚东
于欣格
于军胜
机构
电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012年第2期240-242,246,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60736005和61177032)
创新研究团队资助项目(61021061)
+1 种基金
教育部博士点基金资助项目(20090185110020)
中央高校基本科研业务费专项资助项目(ZYGX2010Z004)
文摘
采用直流磁控溅射技术,在聚对萘二甲酸乙二醇酯(PEN)柔性衬底上制备了氧化物铟锡(ITO)导电薄膜,研究了衬底温度和薄膜厚度工艺参数对柔性衬底上导电薄膜光学性能与电学性能的影响。在优化工艺的条件下,所制备的PEN导电基板的方阻低至35Ω/□,且可见光透过率大于95%;以此柔性ITO衬底为阳极,制备了结构为PEN/ITO/NPB/Alq3/Al的柔性有机电致发光器件。作为对比,选用多种不同的衬底材料制备了有机电致发光器件,并比较了各器件性能的差异。
关键词
有机电致发光器件
聚
对萘二甲酸
乙二醇
酯
(
pen
)
柔性
衬
底
氧化物铟锡(ITO)薄膜
磁控溅射
Keywords
organic light-emitting device
pen
flexible substrate
ITO thin films
DC magnetron sputtering
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
PEN为衬底的柔性有机电致发光器件的光电性能
李杰
蒋亚东
于欣格
于军胜
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012
2
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