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聚对羟基苯乙烯衍生物及其共聚物的制备与成膜性能: 1; 作者廖耘皎张睿杰 +2 位作者王雨楠张凯杨鸣波《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期36-45,共10页; 聚对羟基苯乙烯成膜树脂因其优异的抗刻蚀能力和良好的深紫外透过率被广泛用于光刻技术,然而,其衍生物聚对叔丁氧酰氧基苯乙烯的玻璃化转变温度低,成膜性较差,导致其在光刻胶中的应用受到限制。为解决该问题,文中引入刚性结构3-羟基-1-... 展开更多; 关键词聚对羟基苯乙烯共聚物玻璃化转变温度成膜性; 在线阅读下载PDF 职称材料

聚对羟基苯乙烯单体的中间体——对特丁氧酰氧基苯乙烯合成方法的改进被引量：3: 2; 作者刘建国李平 +1 位作者李萍郑家燊《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期361-364,共4页; 通过改进反应溶剂,用Wittig反应合成了对特丁氧酰氧基苯乙烯,以中性Al2O3为固定相,正己烷为流动相,采用普通液相色谱分离提纯了混合产物,改进简化了分离方法。结果表明,所得目标产物对特丁氧酰氧基苯乙烯纯度达99%以上,产率为60%-70%,... 展开更多; 关键词光致抗蚀剂聚对羟基苯乙烯对特丁氧酰氧基苯乙烯; 在线阅读下载PDF 职称材料

[PSF-PDMS-PHS]_n/PSF共混物的相容性及表面组成: 3; 作者史林启许观藩 +1 位作者郑国栋冯之榴《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期45-48,共4页; 利用ＤＳＣ、ＤＭＡ、ＴＥＭ和ＸＰＳ对［ＰＳＦ－ＰＤＭＳ－ＰＨＳ］ｎ／ＰＳＦ共混物的相容性及表面组成进行了研究．结果表明，ＰＤＭＳ在共混物表面的富集与ＰＳＦ均聚物和［ＰＳＦ－ＰＤＭＳ－ＰＨＳ］ｎ中硬段的相容性有关；ＰＤ... 展开更多; 关键词共混物相容性聚砜聚对羟基苯乙烯 PDMS; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种高感度深紫外正性化学增幅型抗蚀剂的制备: 4; 作者吴立萍胡凡华 +2 位作者王倩倩王菁王力元《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期896-901,共6页; 聚对羟基苯乙烯和环己基乙烯基醚反应得到缩醛保护的聚合物.该聚合物易溶于常见的有机溶剂,具有较好的热稳定性,在248 nm处透明性良好.该聚合物可与聚对羟基苯乙烯-甲基丙烯酸金刚烷基酯及二砜光产酸剂等组成一种三组分正性化学增幅型... 展开更多; 关键词光致抗蚀剂深紫外化学增幅聚对羟基苯乙烯缩醛; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名聚对羟基苯乙烯衍生物及其共聚物的制备与成膜性能: 1; 作者廖耘皎张睿杰王雨楠张凯杨鸣波; 机构四川大学高分子科学与工程学院高分子材料工程国家重点实验室; 出处《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期36-45,共10页; 基金四川省科技厅2022年国际科技创新合作项目(2022YFH0085)。; 文摘聚对羟基苯乙烯成膜树脂因其优异的抗刻蚀能力和良好的深紫外透过率被广泛用于光刻技术,然而,其衍生物聚对叔丁氧酰氧基苯乙烯的玻璃化转变温度低,成膜性较差,导致其在光刻胶中的应用受到限制。为解决该问题,文中引入刚性结构3-羟基-1-金刚烷基甲基丙烯酸酯(HADMA)来探究刚性结构及含量对树脂玻璃化转变温度和成膜性的影响。通过傅里叶变换红外光谱、核磁共振氢谱、凝胶渗透色谱证明了共聚物的合成。进一步通过差示扫描量热法、热重分析仪等方法表征了材料的热性能,利用流变仪、台阶仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜讨论了刚性结构对材料成膜性能的影响。结果表明,随着HADMA含量的增加,聚合物的玻璃化转变温度从111.7℃提升至132.4℃,聚合物膜开裂和孔洞情况得到显著改善,表面粗糙度保持在2nm内,证明引入刚性结构3-羟基-1-金刚烷基甲基丙烯酸酯能有效提高其玻璃化转变温度和成膜性能。; 关键词聚对羟基苯乙烯共聚物玻璃化转变温度成膜性; Keywords poly(p-hydroxystyrene) copolymer glass transition temperature film-forming property; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名聚对羟基苯乙烯单体的中间体——对特丁氧酰氧基苯乙烯合成方法的改进被引量：3: 2; 作者刘建国李平李萍郑家燊; 机构华中科技大学化学系; 出处《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期361-364,共4页; 基金广东省科技攻关资助项目(2006B11801004); 文摘通过改进反应溶剂,用Wittig反应合成了对特丁氧酰氧基苯乙烯,以中性Al2O3为固定相,正己烷为流动相,采用普通液相色谱分离提纯了混合产物,改进简化了分离方法。结果表明,所得目标产物对特丁氧酰氧基苯乙烯纯度达99%以上,产率为60%-70%,中间产物对特丁氧酰氧基苯甲醛可以定量合成,反应的副产物主要是三苯基氧化膦。对目标产物、中间产物和一些反应副产物进行了红外和核磁共振分析。; 关键词光致抗蚀剂聚对羟基苯乙烯对特丁氧酰氧基苯乙烯; Keywords photoresist, poly （p-hydroxystyrene） ,p-tert-butoxycarbonyloxystyrene; 分类号 O621.3 [理学—有机化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名[PSF-PDMS-PHS]_n/PSF共混物的相容性及表面组成: 3; 作者史林启许观藩郑国栋冯之榴; 机构中国科学院长春应用化学研究所; 出处《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期45-48,共4页; 文摘利用ＤＳＣ、ＤＭＡ、ＴＥＭ和ＸＰＳ对［ＰＳＦ－ＰＤＭＳ－ＰＨＳ］ｎ／ＰＳＦ共混物的相容性及表面组成进行了研究．结果表明，ＰＤＭＳ在共混物表面的富集与ＰＳＦ均聚物和［ＰＳＦ－ＰＤＭＳ－ＰＨＳ］ｎ中硬段的相容性有关；ＰＤＭＳ在相容的共混物体系表面的富集与对应的多嵌段共聚物组成基本相近；不相容共混物体系表面ＰＤＭＳ的富集程度相对较高，当共混物本体中有机硅含量从１％增至５％，表面层ＰＤＭＳ的含量迅速增加，可达到嵌段共聚物中ＰＤＭＳ的含量．; 关键词共混物相容性聚砜聚对羟基苯乙烯 PDMS; Keywords blend compatibility,surface enrichment,polysulfone,polydimethyl siloxane,polyhydroxy styrene; 分类号 TQ326.55 [化学工程—合成树脂塑料工业] TQ325.2 [化学工程—合成树脂塑料工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种高感度深紫外正性化学增幅型抗蚀剂的制备: 4; 作者吴立萍胡凡华王倩倩王菁王力元; 机构北京师范大学化学学院; 出处《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期896-901,共6页; 基金国家重点基础研究发展计划项目(批准号:2013CBA01703) 国家自然科学基金(批准号:51641301)资助~~; 文摘聚对羟基苯乙烯和环己基乙烯基醚反应得到缩醛保护的聚合物.该聚合物易溶于常见的有机溶剂,具有较好的热稳定性,在248 nm处透明性良好.该聚合物可与聚对羟基苯乙烯-甲基丙烯酸金刚烷基酯及二砜光产酸剂等组成一种三组分正性化学增幅型深紫外光致抗蚀剂,初步研究了该抗蚀剂的感光成像性能.采用Kr F激光(248 nm)曝光,在较低的后烘温度下,显影得到分辨率为180 nm的线条图形.显影后的留膜率在99%以上.在光致抗蚀剂体系中引入对羟基苯乙烯-金刚烷基甲基丙烯酸酯共聚物,可提高光刻胶材料的玻璃化转变温度,有利于其实际应用.; 关键词光致抗蚀剂深紫外化学增幅聚对羟基苯乙烯缩醛; Keywords Photoresist Deep ultraviolet Chemical amplification Poly （4-hydroxylstyrene） Acetal; 分类号 O632.4 [理学—高分子化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	聚对羟基苯乙烯衍生物及其共聚物的制备与成膜性能	廖耘皎张睿杰王雨楠张凯杨鸣波	《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	聚对羟基苯乙烯单体的中间体——对特丁氧酰氧基苯乙烯合成方法的改进	刘建国李平李萍郑家燊	《应用化学》 CAS CSCD 北大核心	2007	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	[PSF-PDMS-PHS]_n/PSF共混物的相容性及表面组成	史林启许观藩郑国栋冯之榴	《应用化学》 CAS CSCD 北大核心	1997	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	一种高感度深紫外正性化学增幅型抗蚀剂的制备	吴立萍胡凡华王倩倩王菁王力元	《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2017	0	在线阅读下载PDF 职称材料