气相沉积法制备聚对二甲苯薄膜 被引量：13

1

作者 张占文 李波 +2 位作者 王朝阳 余斌 林波 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第6期86-87,83,共3页

原子序数低的CH薄膜在惯性约束聚变实验用靶的制备中应用很广泛。介绍了真空气相沉积法制备聚对二甲苯薄膜的实验设备、实验原理和实验方法。制备聚对二甲苯薄膜的原料在400K附近蒸发,950K附近裂解成单体,单体在300K的低温表面聚合成膜... 原子序数低的CH薄膜在惯性约束聚变实验用靶的制备中应用很广泛。介绍了真空气相沉积法制备聚对二甲苯薄膜的实验设备、实验原理和实验方法。制备聚对二甲苯薄膜的原料在400K附近蒸发,950K附近裂解成单体,单体在300K的低温表面聚合成膜。研究了薄膜厚度的计算方法,并根据实验数据推导了计算公式,从而实现了对薄膜厚度的精确控制,使其在惯性约束聚变靶制备中得以应用。 展开更多

关键词 气相沉积法 制备 聚对二甲苯薄膜 惯性约束聚变 靶材料

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C型聚对二甲苯狗动脉植入──血液相容性初步研究 被引量：12

2

作者 陈曦 吴念曾 邵力为 《中国生物医学工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期206-212,共7页

C型聚对二甲苯包覆的NiTi记忆合金血管内支架植入狗动脉 ,用血液分析、X光透视、光学显微镜、扫描电子显微镜、透射电子显微镜进行观察和评价 。

关键词 血液相容性 C型聚对二甲苯 血管内支架

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NiTi基C型聚对二甲苯材料的等离子体处理初探

3

作者 邵力为 陈曦 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1996年第6期95-99,共5页

研究等离子体处理对ＮｉＴｉ基Ｃ型聚对二甲聚对二甲苯膜界面结合，Ｃ型聚对二甲苯腊表面荷电浸润性的影响，结果表明，等离子体处理适用于医用功能材料领域。

关键词 生物材料 等离子体处理 聚对二甲苯 镍钛合金

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聚对二甲苯膜老化的研究进展 被引量：6

4

作者 李小龙 褚明福 +1 位作者 帅茂兵 廖俊生 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期54-58,共5页

介绍了聚对二甲苯(Parylene)薄膜在热、紫外光和γ射线中的老化行为及产物,讨论了一些老化现象的机理,提出了今后需要加强研究的方向。Parylene抗辐射能力最强,而抗紫外线能力最差,其老化主要表现在亚甲基的氧化与断裂。在125℃左右,开... 介绍了聚对二甲苯(Parylene)薄膜在热、紫外光和γ射线中的老化行为及产物,讨论了一些老化现象的机理,提出了今后需要加强研究的方向。Parylene抗辐射能力最强,而抗紫外线能力最差,其老化主要表现在亚甲基的氧化与断裂。在125℃左右,开始出现较明显的热氧化,氧化速率与温度的关系符合Arrhenius关系式;在300nm的紫外光照射下发生较明显的降解,-Cl的存在对光解有加速作用;在空气气氛中,当γ辐照剂量超过50kGy后Parylene 将发生明显的氧化,其耗氧量与辐照剂量近似呈线性关系,而且薄膜的熔融温度下降,透湿系数提高。 展开更多

关键词 聚对二甲苯 热老化 紫外光老化 辐射老化

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UV固化与聚对二甲苯两种三防漆的防护差异及应用区别 被引量：2

5

作者 周珊 闫继豪 李汉杰 《中国高新科技》 2021年第18期95-96,共2页

PCBA三防技术因其对线路板有良好的保护作用,目前被越来越多地应用到各类产品中。三防漆的涂覆方式主要为液态涂覆,而聚对二甲苯类三防漆主要为气相沉积。这两种涂覆方式无论在设备选择、涂覆原理上均有明显区别。文章以无溶剂型丙烯酸... PCBA三防技术因其对线路板有良好的保护作用,目前被越来越多地应用到各类产品中。三防漆的涂覆方式主要为液态涂覆,而聚对二甲苯类三防漆主要为气相沉积。这两种涂覆方式无论在设备选择、涂覆原理上均有明显区别。文章以无溶剂型丙烯酸树脂类的UV固化三防漆作为液态涂覆的典型,与聚对二甲苯这种气相沉积三防漆从环境试验效果及试验数据方面对比两者的防护区别,并探讨各自的应用区别。 展开更多

关键词 三防漆 聚对二甲苯类 涂覆 防护性能 UV固化 无溶剂型丙烯酸树脂类

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抗蛋白/细胞粘附的两性离子功能化聚对二甲苯薄膜

6

作者 钱思昊 潘齐超 +2 位作者 张亚琼 何勇 朱波 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期559-565,573,574,共9页

目前生物电子器件材料在复杂的生物环境中容易粘附蛋白/细胞等,进而影响器件的长期稳定性。研究并制备了抗非特异性蛋白/细胞粘附的两性离子功能化聚对二甲苯薄膜材料。通过原子转移自由基聚合方法在具有溴引发剂的聚对二甲苯表面接枝... 目前生物电子器件材料在复杂的生物环境中容易粘附蛋白/细胞等,进而影响器件的长期稳定性。研究并制备了抗非特异性蛋白/细胞粘附的两性离子功能化聚对二甲苯薄膜材料。通过原子转移自由基聚合方法在具有溴引发剂的聚对二甲苯表面接枝两性离子基团得到该薄膜材料。探索了不同两性离子聚合物分子链——聚甲基丙烯酸甲酯磷酸胆碱(PMPC)、聚甲基丙烯酸甲酯磺酸甜菜碱(PMSB)、聚甲基丙烯酸甲酯羧酸甜菜碱(PMCB)修饰的聚对二甲苯抗蛋白和细胞粘附的能力,发现PMPC修饰的聚对二甲苯性能最为优异。此外,采用光刻技术制备了PMPC修饰的聚对二甲苯图案化的生物界面,实现了在空间上控制细胞粘附行为。为聚对二甲苯薄膜的表面抗炎症细胞粘附及控制神经细胞生长提供了可能性,在生物电子器件领域具有潜在的应用价值。 展开更多

关键词 聚对二甲苯 两性离子 磷酸胆碱 抗非特异性粘附 图案化

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聚对二甲苯在电子领域中应用的新进展 被引量：26

7

作者 陈曦 《电子工艺技术》 2002年第4期146-148,共3页

介绍了聚对二甲苯新材料的主要性能和在印制电路组件、微电子集成电路、微电子机械系统 (MEMS)、传感器、生物医用电子、磁性材料、光纤光缆密封件、焊膏等电子领域中应用的新进展。

关键词 聚对二甲苯 印制电路组件 微电子集成电路 微电子机械系统 传感器 生物医用电子 磁性材料 光纤光缆密封件

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聚对二甲苯纳米纤维阵列的CVD液晶模板法制备及降解性能

8

作者 谢璠 陈珊珊 +3 位作者 卓龙海 陆赵情 高坤 代啓阳 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第8期2643-2650,共8页

聚对二甲苯(PPX)具有优异的生物相容性和化学稳定性,将其构建成仿细胞外基质结构的可降解纳米纤维在生物工程领域具有重要意义.本文采用化学气相沉积(CVD)法,以向列型热致液晶E7为模板,以4-羟甲基-对二甲苯二聚体(PCP-CH_(2)OH)为聚-(4... 聚对二甲苯(PPX)具有优异的生物相容性和化学稳定性,将其构建成仿细胞外基质结构的可降解纳米纤维在生物工程领域具有重要意义.本文采用化学气相沉积(CVD)法,以向列型热致液晶E7为模板,以4-羟甲基-对二甲苯二聚体(PCP-CH_(2)OH)为聚-(4-羟甲基-对二甲苯)(PPX-CH_(2)OH)的前驱体,通过在其分子链上引入5,6-苯并-2-亚甲基-1,3-二氧杂环庚烷(BMDO)链段制备BMDO/PPX-CH_(2OH共聚物纳米纤维阵列,探讨了共聚物纳米纤维阵列形貌的影响因素,分析得到了制备共聚物纳米纤维阵列的最佳反应条件,并研究了BMDO/PPX-CH_(2)OH共聚物纳米纤维阵列的生物降解性能.研究表明,在液晶模板作用下,通过CVD法成功地使PCP-CH_(2)OH与BMDO共聚,并得到了BMDO/PPX-CH_(2)OH共聚物纳米纤维阵列;其形貌主要受样品台的温度和沉积速率的影响,而单体质量比影响较小;经优化后CVD最佳条件为:样品台温度-10℃,沉积速率约为0.01 nm/s,单体质量比为10∶1;共聚物在37℃的0.1 mol/L Na_(2)CO_(3)/0.1 mol/L Na HCO_(3)的缓冲溶液体系下可有效降解,当降解时间超过23 d后,纳米纤维阵列中的酯基可完全分解;当降解时间超过30 d时,纳米纤维阵列基本降解完全,总体呈碎片状. 展开更多

关键词 聚对二甲苯 纳米纤维阵列 化学气相沉积 液晶模板 降解性能

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一种化学气相沉积法制备聚对二甲苯纳米纤维的方法

9

《化学分析计量》 CAS 2018年第1期38-38,共1页

本发明公开了一种化学气相沉积法制备聚对二甲苯纳米纤维的方法,属材料技术领域。本发明采用化学气相沉积技术,以聚对二甲苯为前驱体,以向列型液晶为模板,通过气相沉积聚合反应成功制备了聚对二甲苯纳米纤维,该制备方法具有纤维自身的... 本发明公开了一种化学气相沉积法制备聚对二甲苯纳米纤维的方法,属材料技术领域。本发明采用化学气相沉积技术,以聚对二甲苯为前驱体,以向列型液晶为模板,通过气相沉积聚合反应成功制备了聚对二甲苯纳米纤维,该制备方法具有纤维自身的尺寸、形貌、组成可控的特点,避免了传统静电纺丝法制备纤维存在溶剂后处理问题,环境污染严重等缺点,所得可应用于药物释放体系、组织工程、微流体装置等,具有很高的应用价值。 展开更多

关键词 化学气相沉积法 聚对二甲苯 纳米纤维 制备方法 化学气相沉积技术 药物释放体系 向列型液晶 静电纺丝法

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化学改性聚氯代对二甲苯薄膜表面润湿性的研究 被引量：6

10

作者 张立生 周元林 +1 位作者 刘剑 王恩泽 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期48-50,共3页

采用了一种自制的改性剂对聚氯代对二甲苯薄膜表面改性,研究了不同改性剂浓度以及反应时间对聚氯代对二甲苯薄膜表面改性效果的影响,用X射线荧光光谱(XRF)、X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)研究了改性前后薄膜的表面特性。结果表... 采用了一种自制的改性剂对聚氯代对二甲苯薄膜表面改性,研究了不同改性剂浓度以及反应时间对聚氯代对二甲苯薄膜表面改性效果的影响,用X射线荧光光谱(XRF)、X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)研究了改性前后薄膜的表面特性。结果表明,改性剂浓度为1.5mol/L和反应处理时间为10min时处理效果最好,聚氯代对二甲苯薄膜表面与去离子水的接触角从未改性时的96.49°减小到改性后的67.5°,改性后的聚氯代对二甲苯薄膜表面能由未改性时的14.335mJ/m2提高到34.798mJ/m2,薄膜表面氯元素含量显著降低。 展开更多

关键词 化学改性 聚氯代对二甲苯 薄膜 润湿性

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基体温度对气相沉积聚氯代对二甲苯膜结构与性能的影响

11

作者 陈艳平 帅茂兵 +2 位作者 鲜晓斌 吉祥波 唐贤臣 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期40-42,46,共4页

用化学气相沉积法制备的聚氯代对二甲苯膜具有优异的耐溶剂腐蚀及气体阻隔性能。文中采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)表征了不同基体温度下制备聚氯代对二甲苯膜的微观组织结构;采用MOCON透湿仪测试了其水汽渗透率。结果表明,随基体... 用化学气相沉积法制备的聚氯代对二甲苯膜具有优异的耐溶剂腐蚀及气体阻隔性能。文中采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)表征了不同基体温度下制备聚氯代对二甲苯膜的微观组织结构;采用MOCON透湿仪测试了其水汽渗透率。结果表明,随基体温度升高,膜内聚合物分子链取向度先升高、后降低,且在较高温度下聚合物苯环基团更倾向于垂直基体表面。水汽在膜内渗透速率随基体温度升高先降低、后升高,且在约30℃～45℃处达到最低值。 展开更多

关键词 聚氯代对二甲苯膜 基体温度 微观结构 渗透性

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气体分子在聚氯代对二甲苯中渗透行为的数值模拟 被引量：5

12

作者 范昌改 帅茂兵 +2 位作者 周元林 邵虹 齐晶晶 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期112-117,共6页

用数值模拟方法对气体分子在聚氯代对二甲苯(Parylene C)中的溶解、扩散和渗透行为进行了研究。构建了含300个对二甲苯单元的聚氯代对二甲苯分子链模型,经结构优化处理,获得了具有一定有序性,密度、玻璃化转变温度与实验数据接近的聚合... 用数值模拟方法对气体分子在聚氯代对二甲苯(Parylene C)中的溶解、扩散和渗透行为进行了研究。构建了含300个对二甲苯单元的聚氯代对二甲苯分子链模型,经结构优化处理,获得了具有一定有序性,密度、玻璃化转变温度与实验数据接近的聚合物分子链结构模型。计算了该聚合物中的自由体积,结果表明Parylene C聚合物具有很小的自由体积,不易形成分子渗透的有效通道,这是其具有高气体阻隔性能的重要原因。结合分子动力学(MD)和巨正则蒙特卡洛方法(GCMC),计算获得了几种气体分子在Parylene C中的扩散系数、溶解系数和渗透系数,发现相比H2、He、O2、N2等分子,H2O分子更易被Parylene C聚合物吸附溶解。分子动力学模型说明在Parylene C聚合物中,气体扩散和渗透符合跳跃机理。 展开更多

关键词 聚氯代对二甲苯 分子动力学模拟 气体扩散 气体渗透

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聚氯代对二甲苯/石墨烯高阻水复合膜的制备与性能 被引量：1

13

作者 景泽坤 郭亚昆 +3 位作者 赵星滔 任猛 周元林 帅茂兵 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第10期70-77,共8页

聚氯代对二甲苯膜(PC膜)在防潮、封装等领域具有重要应用,但因其本体结构限制而不能满足电子、军工等对高阻水、柔性膜的要求。文中利用石墨烯膜强度高、气体阻隔性好、透光性优良和紫外固化胶黏剂快速固化的特点将PC膜与石墨烯膜进行复... 聚氯代对二甲苯膜(PC膜)在防潮、封装等领域具有重要应用,但因其本体结构限制而不能满足电子、军工等对高阻水、柔性膜的要求。文中利用石墨烯膜强度高、气体阻隔性好、透光性优良和紫外固化胶黏剂快速固化的特点将PC膜与石墨烯膜进行复合,制备了聚氯代对二甲苯/石墨烯多层复合膜。红外分析表明紫外固化胶黏剂的反应程度达到99%以上,力学和水汽透过率测试表明复合膜的阻水和力学性能显著提高,水汽透过率从1.1968g/(m^(2)·d)降至4.9×10^(-3)g/(m^(2)·d),下降了2个数量级,拉伸强度和断裂伸长率分别提高了60.0%和792.4%。 展开更多

关键词 聚氯代对二甲苯 石墨烯 阻水 多层复合膜

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聚氯代对二甲苯薄膜聚集态结构的研究进展

14

作者 张豪 温茂萍 +1 位作者 田勇 谭凯元 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期99-102,共4页

介绍了国内外聚氯代对二甲苯薄膜(PC膜)聚集态结构的研究动态,包括PC膜聚集态结构的表征,随沉积条件、温度变化的演变及其与宏观性能的关系。对PC膜聚集态结构的表征主要局限于晶胞结构、细观形貌。在沉积条件中,沉积压力和温度是影响P... 介绍了国内外聚氯代对二甲苯薄膜(PC膜)聚集态结构的研究动态,包括PC膜聚集态结构的表征,随沉积条件、温度变化的演变及其与宏观性能的关系。对PC膜聚集态结构的表征主要局限于晶胞结构、细观形貌。在沉积条件中,沉积压力和温度是影响PC膜聚集态结构的主要因素,同时PC膜在高温下会发生晶相转换以及结晶度的变化,而其聚集态结构的差异会对PC膜的透湿性、力学性能及其表面性能产生显著影响。针对PC膜面向微器件的应用,进一步提出在其聚集态结构方面有待深入研究的问题。 展开更多

关键词 聚氯代对二甲苯 PC膜 聚集态

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柔性聚合物基材上三维纳米间隙的制作及互连

15

作者 李兴辉 Selvapraba Selvarasah +1 位作者 Chia-Ling Chen Mehmet R.Dokmeci 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第10期674-678,共5页

利用普通的紫外光刻、等离子体刻蚀、剥离和薄膜技术,在生物和半导体技术兼容的柔性聚对二甲苯-C基材上制作出了三维纳米间隙结构。室温下,使用介质电泳的方法对制作的纳米间隙进行材料集成实验。在间距80 nm的间隙电极间,实现了碳纳米... 利用普通的紫外光刻、等离子体刻蚀、剥离和薄膜技术,在生物和半导体技术兼容的柔性聚对二甲苯-C基材上制作出了三维纳米间隙结构。室温下,使用介质电泳的方法对制作的纳米间隙进行材料集成实验。在间距80 nm的间隙电极间,实现了碳纳米管的互连。I-V特性测试显示,互联后电极之间表现出了较好的线性导电特征。当使用的碳纳米管电泳液浓度为0.004 g/mL时,通过介质电泳方法得到连接于两电极间的碳管束的电阻约为13 kΩ。研究结果表明,这种柔性三维纳米间隙结构有望应用于柔性电子学、分子生物学和纳米材料科学等领域。 展开更多

关键词 柔性基材 纳米间隙 介质电泳 单壁碳纳米管 三维 聚对二甲苯

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基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究 被引量：7

16

作者 吴义伯 侯安州 +3 位作者 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1018-1020,1036,共4页

基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一... 基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等。该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势。 展开更多

关键词 柔性微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 神经接口

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Parylene薄膜及其在MEMS中的应用 被引量：7

17

作者 王亚军 刘景全 +2 位作者 杨春生 沈修成 郭忠元 《微纳电子技术》 CAS 2008年第7期403-410,415,共9页

介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用... 介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用在各种MEMS微结构、微传感器和微驱动器上,Parylene在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景。 展开更多

关键词 聚对二甲苯 微阀 微泵 微通道 人工耳蜗 视网膜假体 微机电系统

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Parylene敷形涂层绝缘性能研究 被引量：3

18

作者 吴礼群 陈旭 +1 位作者 梁元军 杨军华 《现代雷达》 CSCD 北大核心 2012年第12期82-84,共3页

聚对二甲苯(Parylene)是一种性能优异的敷形涂层材料,在航空、航天、电子领域的应用前景非常广泛。文中介绍了Parylene涂层绝缘性能的试验方法和试验过程,使用真空气相沉积技术制备了Parylene C、Parylene N、Parylene D涂层,对3种涂层... 聚对二甲苯(Parylene)是一种性能优异的敷形涂层材料,在航空、航天、电子领域的应用前景非常广泛。文中介绍了Parylene涂层绝缘性能的试验方法和试验过程,使用真空气相沉积技术制备了Parylene C、Parylene N、Parylene D涂层,对3种涂层不同厚度情况下的绝缘性能进行了比较,研究了涂层在常态下和温度冲击、湿热试验后的绝缘性能变化情况。为Parylene涂层在电子组件防护中的应用提供了技术支撑。 展开更多

关键词 聚对二甲苯 敷形涂层 气相沉积 绝缘性能

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基于CVD技术的异步多通路电针灸针的研究 被引量：2

19

作者 邱可可 刘景全 +3 位作者 芮岳峰 杨春生 王宇娟 李克勇 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第5期788-790,共3页

针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法,随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合,传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等。该文提出一种异步多通路刺激的电针灸针。基于传统的毫针,通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激电... 针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法,随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合,传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等。该文提出一种异步多通路刺激的电针灸针。基于传统的毫针,通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激电极,微加工工艺包括溅射金属层及化学气相沉积(CVD)绝缘层聚对二甲苯。聚对二甲苯作为电极间的绝缘材料,具有无针孔涂覆、更低的液气渗透率、良好的生物相容性、透明性和柔韧性、以及较好的机械强度。通过连接电针灸仪,在一根针上即可实现异步多条电流通路的刺激。 展开更多

关键词 电针灸 异步 多通路 电针 化学气相沉积(CVD) 聚对二甲苯

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Parylene膜对半导体激光器性能的影响 被引量：1

20

作者 井红旗 赵懿昊 +3 位作者 吴霞 王鑫 刘素平 马骁宇 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期204-209,共6页

为了解决潮湿对半导体激光器的危害,采用真空气相沉积工艺制备了用于半导体激光器的新型保护膜,即聚对二甲苯(parylene)涂敷膜。探讨了工艺条件对N型和C型parylene薄膜质量的影响。分别使用椭偏仪、紫外分光光度计测试膜的吸收系数和反... 为了解决潮湿对半导体激光器的危害,采用真空气相沉积工艺制备了用于半导体激光器的新型保护膜,即聚对二甲苯(parylene)涂敷膜。探讨了工艺条件对N型和C型parylene薄膜质量的影响。分别使用椭偏仪、紫外分光光度计测试膜的吸收系数和反射系数,研究了parylene薄膜对半导体激光器出光性能的影响。在808 nm半导体激光器上涂覆厚度为1.65μm的parylene膜,24 h的湿热和盐雾环境实验结果表明,半导体激光器性能优于未涂覆parylene膜半导体激光器的性能。Parylene膜对半导体激光器起到了很好的保护作用,腔面基本完好,提高了半导体激光器的稳定性和可靠性。 展开更多

关键词 聚对二甲苯 激光器 光功率 潮湿 可靠性

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