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基于硅隔离技术的耐高温压力传感器研究被引量：8: 1; 作者赵玉龙赵立波蒋庄德《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1156-1158,共3页; 采用硅隔离SoI(SilicononInsulator)技术 ,应用高能氧离子的注入方法 ,在单晶硅材料中形成埋层二氧化硅 ,用以隔离作为测量电路的顶部硅层与体硅之间因温度升高而造成的漏电流 .采用梁膜结合的压力传递机构 ,将被测压力与SoI敏感元件隔... 展开更多; 关键词硅隔离技术耐高温压力传感器压力传递机构离子注入敏感元件压力测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS耐高温压力传感器封装工艺被引量：4: 2; 作者孟超赵玉龙 +2 位作者赵立波王新波刘元浩《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第9期9-11,14,共4页; MEMS耐高温压力传感器在封装结构上采用薄膜隔离式结构,在油腔与波纹片所形成的密闭容腔里面填充高温硅油。由于传感器的工作温度达250℃,硅油、壳体基座及波纹片将会产生不同程度的热膨胀,最终将给压阻力敏芯片形成一定附加压力,严重... 展开更多; 关键词 MEMS 耐高温压力传感器封装薄膜隔离式结构平膜膜片波纹状膜片热膨胀; 在线阅读下载PDF 职称材料

耐高温压力传感器的设计研究被引量：1: 3; 作者陈雨杨继昌丁建宁《机械设计与制造》北大核心 2008年第10期19-21,共3页; 借助弹性力学和板壳力学理论,建立了双岛型耐高温压力传感器应变膜的简化力学模型,得到近似应力分布的数学模型。利用有限元分析方法,借助ANSYS仿真软件,对应变膜进行一系列的计算机模拟,探讨了简化应力模型的合理性以及温度对应力差分... 展开更多; 关键词耐高温压力传感器力敏电阻芯片优化; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于SOI的E型膜结构耐高温压力芯片的设计与制造被引量：4: 4; 作者李闯赵立波 +2 位作者王尊敬张磊殷振《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第1期20-24,共5页; 文中设计了一种基于SOI材料的E型膜结构无引线倒封装压力芯片。SOI材料的选用解决了高温环境下漏电流的问题,可以满足目前航空发动机对于高温使用环境的要求。E型膜结构与传统C型膜结构相比解决了灵敏度与线性度无法同时满足需求的难题... 展开更多; 关键词耐高温压力传感器绝缘体上硅SOI E型可动膜片无引线倒封装高精度小体积; 在线阅读下载PDF 职称材料

电站锅炉空气预热器漏风控制系统: 5; 《西安理工大学学报》 CAS 2001年第1期95-95,共1页; 关键词火力发电厂锅炉空气预热器漏风控制系统耐高温传感器测量范围; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于双电荷放大器的数字式两线制HART涡街流量变送器: 6; 作者舒张平徐科军 +1 位作者邵春莉方敏《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第6期702-707,共6页; 针对耐高温涡街流量传感器灵敏度低及引入HART通信增加数字式两线制仪表的功耗且通信稳定性容易受电源影响的问题,研制了基于双电荷放大器的数字式两线制HART涡街流量变送器。采用两级电荷放大器和两级低通滤波器的信号调理电路,对耐高... 展开更多; 关键词计量学涡街流量变送器双电荷放大器两路隔离电源耐高温涡街流量传感器两线制HART; 在线阅读下载PDF 职称材料

科技动态: 7; 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期75-76,共2页; 国内规模最大的中空纤维膜产业化示范工程通过专家验收，中科院大连化物所膜电极三合一制造技术获突破，MES系统在安庆石化上线成功，天津大学石化中心开发成功双酚A新工艺，耐高温压力传感器研制成功，四川研制生态复合功能涂料，南京... 展开更多; 关键词中空纤维膜产业化工厂膜电极 MES系统双酚A 生产工艺耐高温压力传感器生态复合功能涂料羟基膦羧酸水处理剂; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于硅隔离技术的耐高温压力传感器研究被引量：8: 1; 作者赵玉龙赵立波蒋庄德; 机构西安交通大学机械工程学院; 出处《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1156-1158,共3页; 基金国家"八六三"计划资助项目 ( 10 1-0 1); 文摘采用硅隔离SoI(SilicononInsulator)技术 ,应用高能氧离子的注入方法 ,在单晶硅材料中形成埋层二氧化硅 ,用以隔离作为测量电路的顶部硅层与体硅之间因温度升高而造成的漏电流 .采用梁膜结合的压力传递机构 ,将被测压力与SoI敏感元件隔离开来 ,因此避免了被测压力的瞬时高温冲击 .给出了传感器的结构模型和实验数据 ,测试结果表明 ,这种新型结构的耐高压力传感器 ,具有较好的动静态特性 .; 关键词硅隔离技术耐高温压力传感器压力传递机构离子注入敏感元件压力测量; Keywords High temperature effects Separation Silicon on insulator technology; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS耐高温压力传感器封装工艺被引量：4: 2; 作者孟超赵玉龙赵立波王新波刘元浩; 机构西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第9期9-11,14,共4页; 基金国家自然基金(60776048 50535030) 教育部新世纪人才支持计划(NCET-05-0842); 文摘 MEMS耐高温压力传感器在封装结构上采用薄膜隔离式结构,在油腔与波纹片所形成的密闭容腔里面填充高温硅油。由于传感器的工作温度达250℃,硅油、壳体基座及波纹片将会产生不同程度的热膨胀,最终将给压阻力敏芯片形成一定附加压力,严重影响传感器的精度。文中主要就硅油、壳体基座及波纹片在250℃工作时由于不同的热膨胀系数而导致的膨胀不一致情况进行ANSYS仿真分析,研究了平膜膜片及波纹状膜片情况下的硅油热膨胀问题,最后相应地得到了硅油相对于壳体和波纹片的热膨胀率,同时分析得出了合理设计波纹片结构可以有效减小硅油热膨胀时所产生的附加压力,提高传感器的工作灵敏度与稳定性。; 关键词 MEMS 耐高温压力传感器封装薄膜隔离式结构平膜膜片波纹状膜片热膨胀; Keywords MEMS high temperature pressure transducer packaging film isolated structure flat tablets wavy tablets thermal expansion; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名耐高温压力传感器的设计研究被引量：1: 3; 作者陈雨杨继昌丁建宁; 机构江苏大学微纳米科学技术研究中心; 出处《机械设计与制造》北大核心 2008年第10期19-21,共3页; 文摘借助弹性力学和板壳力学理论,建立了双岛型耐高温压力传感器应变膜的简化力学模型,得到近似应力分布的数学模型。利用有限元分析方法,借助ANSYS仿真软件,对应变膜进行一系列的计算机模拟,探讨了简化应力模型的合理性以及温度对应力差分布的影响,为力敏电阻在应变膜上的布置、研发新颖的高温压力传感器芯片提供有力的依据。; 关键词耐高温压力传感器力敏电阻芯片优化; Keywords High temperature pressure sensor Sensing resistor Chip Optimization; 分类号 TH12 [机械工程—机械设计及理论] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于SOI的E型膜结构耐高温压力芯片的设计与制造被引量：4: 4; 作者李闯赵立波王尊敬张磊殷振; 机构苏州长风航空电子有限公司传感器事业部西安交通大学机械学院苏州科技大学机械工程学院; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第1期20-24,共5页; 基金博士后国际交流计划引进项目(博管办[2018]115号) 中国博士后科学基金第65批面上资助(2019M651934) 2019江苏省资助招收博士后项目(苏人社发[2019]155号)。; 文摘文中设计了一种基于SOI材料的E型膜结构无引线倒封装压力芯片。SOI材料的选用解决了高温环境下漏电流的问题,可以满足目前航空发动机对于高温使用环境的要求。E型膜结构与传统C型膜结构相比解决了灵敏度与线性度无法同时满足需求的难题。通过无引线倒封装工艺,实现了传感器小型化、轻量化的设计需求。设计的压力传感器量程为0~1.5 MPa,400℃输出灵敏度为80 mV/MPa,线性度0.17%FS,综合精度0.18%FS。传感器最大外廓尺寸为S10 mm×20 mm,传感器质量为15.5 g。; 关键词耐高温压力传感器绝缘体上硅SOI E型可动膜片无引线倒封装高精度小体积; Keywords high temperature pressure sensor silicon on insulator SOI E-type membrane leadless packaging high accuracy small volume; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电站锅炉空气预热器漏风控制系统: 5; 机构西安理工大学科技成果转化中心; 出处《西安理工大学学报》 CAS 2001年第1期95-95,共1页; 关键词火力发电厂锅炉空气预热器漏风控制系统耐高温传感器测量范围; 分类号 TM621.2 [电气工程—电力系统及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于双电荷放大器的数字式两线制HART涡街流量变送器: 6; 作者舒张平徐科军邵春莉方敏; 机构合肥工业大学电气与自动化工程学院; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第6期702-707,共6页; 文摘针对耐高温涡街流量传感器灵敏度低及引入HART通信增加数字式两线制仪表的功耗且通信稳定性容易受电源影响的问题,研制了基于双电荷放大器的数字式两线制HART涡街流量变送器。采用两级电荷放大器和两级低通滤波器的信号调理电路,对耐高温涡街流量传感器输出的幅值较小的信号进行放大和滤波,获得稳定的流量信号;采用两路隔离电源的电源设计方案,提高电源的负载能力,并保证通信的稳定性,在进行数字信号处理的同时,实现两线制HART通信。实验结果表明,该变送器测量精度较高、量程下限较低,且满足低功耗要求。; 关键词计量学涡街流量变送器双电荷放大器两路隔离电源耐高温涡街流量传感器两线制HART; Keywords metrology vortex flowmeter transmitter two-stage charge amplifier two isolated power supply hightemperature resistant vortex flowmeter sensor two-wire HART; 分类号 TB937 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名科技动态: 7; 出处《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期75-76,共2页; 文摘国内规模最大的中空纤维膜产业化示范工程通过专家验收，中科院大连化物所膜电极三合一制造技术获突破，MES系统在安庆石化上线成功，天津大学石化中心开发成功双酚A新工艺，耐高温压力传感器研制成功，四川研制生态复合功能涂料，南京问世新型羟基膦羧酸水处理剂。; 关键词中空纤维膜产业化工厂膜电极 MES系统双酚A 生产工艺耐高温压力传感器生态复合功能涂料羟基膦羧酸水处理剂; 分类号 TQ63 [化学工程—精细化工] TQ243.11 [化学工程—有机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于硅隔离技术的耐高温压力传感器研究	赵玉龙赵立波蒋庄德	《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2002	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	MEMS耐高温压力传感器封装工艺	孟超赵玉龙赵立波王新波刘元浩	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2009	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	耐高温压力传感器的设计研究	陈雨杨继昌丁建宁	《机械设计与制造》北大核心	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于SOI的E型膜结构耐高温压力芯片的设计与制造	李闯赵立波王尊敬张磊殷振	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2021	4	在线阅读下载PDF 职称材料
5	电站锅炉空气预热器漏风控制系统		《西安理工大学学报》 CAS	2001	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	基于双电荷放大器的数字式两线制HART涡街流量变送器	舒张平徐科军邵春莉方敏	《计量学报》 CSCD 北大核心	2017	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	科技动态		《现代化工》 CAS CSCD 北大核心	2005	0	在线阅读下载PDF 职称材料