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题名透明塑料用耐磨薄膜材料的研究进展
被引量：11
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作者
杨辉
王家邦
陆静娟
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机构
浙江大学材料科学与工程学系
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出处
《材料科学与工程》
CSCD
北大核心
2002年第2期290-293,共4页
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基金
浙江省科技计划资助项目
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文摘
透明又耐磨的薄膜涂层是改善透明塑料表面抗划伤性和耐磨性的有效方法。本文综述了透明耐磨薄膜的种类和制备方法 ,从成膜材料、溶剂、增强材料、固化及测试方法总结了有机
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关键词
透明塑料
耐磨薄膜
杂化
薄膜涂层
表面涂层
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Keywords
transparent plastic
anti\|abrasive coating
hybrid
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分类号
TQ320.672
[化学工程—合成树脂塑料工业]
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题名物理气相沉积减摩与耐磨薄膜
被引量：13
- 2
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作者
于德洋
翁立军
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机构
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室
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出处
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第3期282-288,共7页
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基金
国家自然科学基金
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文摘
在摩擦学研究的基础上，综合评述与探讨了物理气相沉积薄膜摩擦和磨损的机械－化学作用机理；根据这种机理分析讨论了对物理气相沉积润滑和耐磨薄膜的基本要求；
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关键词
物理气相沉积
薄膜润滑
耐磨薄膜
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Keywords
physical vapour deposition thin film lubricating antifriction wear resistance mechanical chemical mechanism
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分类号
TB43
[一般工业技术]
TH117.1
[机械工程—机械设计及理论]
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题名影响微电子机械系统成品率和可靠性的粘合力和摩擦力
被引量：5
- 3
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作者
王渭源
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机构
中国科学院上海冶金研究所
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出处
《中国工程科学》
2000年第3期36-41,共6页
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基金
国家攀登计划B微电子机械系统 (MEMS)资助项目! ( 85 -3 7)
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文摘
文章评述了影响微电子机械系统 (MEMS)成品率和可靠性的粘合力和摩擦力问题。在用氢氟酸(HF)腐蚀牺牲层、释放多晶Si微结构、干燥时 ,由于Si片表面薄层水的表面张力使两片亲水、间隙在微米量级的Si片粘合起来 ,称为“释放有关粘合”。粘合也发生在封装后器件中 ,当输入信号过冲时 ,由于Si片表面的化学状态将Si片粘合起来 ,称为“使用中粘合”。解决粘合的最好办法是 :在MEMS微结构的表面涂以抗粘合薄膜 ,将成品器件在干燥气氛下封装。介绍了抗粘合薄膜的制备工艺和目前存在的问题。相比之下 ,具有高速运动的MEMS ,其摩擦力问题更为复杂。应用抗粘合薄膜 ,解决了粘合 ,也降低了摩擦力 ,但摩擦依然存在。摩擦带来磨损 ,降低器件可靠性和寿命。寻找既抗粘合、又耐磨的薄膜 。
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关键词
微电子机构系统
粘合力
摩擦力
抗粘合薄膜
耐磨损薄膜
成品率
可靠性
微电子器件
微机械器件
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Keywords
micro electro mechanical systems
stiction
friction
anti stiction films
wear resisting films
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分类号
TN4
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TH－39
[机械工程]
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题名哈一工与德国企业组建镀膜公司
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出处
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2005年第5期3-3,共1页
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文摘
哈尔滨第一工具有限公司与德国PVT超耐磨薄膜技术公司合资合作，成立了哈一工普威特镀膜有限公司。合资公司于2004年9月底正式投产。该公司采用PVT公司世界先进的PVTM2／ARC镀膜技术与工艺，进行单层与多层复合超硬耐磨层的沉积，使沉积的涂层拥有极高密度和硬度。该镀膜技术广泛应用于超耐磨镀膜、润滑膜镀膜、耐腐蚀膜、装饰膜等领域。
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关键词
哈尔滨第一工具有限公司
德国PVT超耐磨薄膜技术公司
哈一工普威特镀膜有限公司
超硬耐磨层
镀膜技术
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分类号
F407.4
[经济管理—产业经济]
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