期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
低压力铜化学机械抛光集散控制系统
被引量：
3
1
作者
门延武
张辉
+1 位作者
周凯
叶佩青
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2010年第12期2653-2660,共8页
针对化学机械抛光设备提出了PC+NC+实时网络分布式可编程自动控制器的控制方案,并介绍了该系统的总体结构和主控制系统、网络化协调控制子系统、分布式执行控制子系统等核心环节的软硬件实现技术。单区域抛光头气压控制结果表明,该系统...
针对化学机械抛光设备提出了PC+NC+实时网络分布式可编程自动控制器的控制方案,并介绍了该系统的总体结构和主控制系统、网络化协调控制子系统、分布式执行控制子系统等核心环节的软硬件实现技术。单区域抛光头气压控制结果表明,该系统具有较高的稳定性和可靠性,能很好地满足化学机械抛光项目的总体要求。
展开更多
关键词
化学机械抛光
运动控制
网络化递阶系统
分布式执行
可编程自动控制器
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
低压力铜化学机械抛光集散控制系统
被引量：
3
1
作者
门延武
张辉
周凯
叶佩青
机构
清华大学摩擦学国家重点实验室
出处
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2010年第12期2653-2660,共8页
基金
国家科技重大专项资助项目(2008ZX02104)
摩擦学国家重点实验室基金资助项目(SKLT08B08)~~
文摘
针对化学机械抛光设备提出了PC+NC+实时网络分布式可编程自动控制器的控制方案,并介绍了该系统的总体结构和主控制系统、网络化协调控制子系统、分布式执行控制子系统等核心环节的软硬件实现技术。单区域抛光头气压控制结果表明,该系统具有较高的稳定性和可靠性,能很好地满足化学机械抛光项目的总体要求。
关键词
化学机械抛光
运动控制
网络化递阶系统
分布式执行
可编程自动控制器
Keywords
chemical mechanical polishing
motion control
network rank system
distributed implement
programmable automation controllers
分类号
TP14 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低压力铜化学机械抛光集散控制系统
门延武
张辉
周凯
叶佩青
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2010
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
