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薄膜铌酸锂切趾啁啾光栅研究
1
作者
隆嘉轩
吴侃
+2 位作者
蔡明璐
张栩嘉
陈建平
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第8期80-90,共11页
本文研究了基于薄膜铌酸锂的啁啾光栅性能,采用仿真分析的方法,研究了不同设计参数下,三种光栅切趾方式对称线性切趾、非对称线性切趾和高斯切趾在反射带宽和群延迟色散上的差异。通过最优化设计,在高斯切趾的啁啾光栅下,实现了3 dB带宽...
本文研究了基于薄膜铌酸锂的啁啾光栅性能,采用仿真分析的方法,研究了不同设计参数下,三种光栅切趾方式对称线性切趾、非对称线性切趾和高斯切趾在反射带宽和群延迟色散上的差异。通过最优化设计,在高斯切趾的啁啾光栅下,实现了3 dB带宽21.2 nm、群延迟色散值0.1385 ps/nm的啁啾光栅。本工作将为实现薄膜铌酸锂片上色散补偿和光信号处理奠定基础。
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关键词
啁啾光栅
切趾
绝缘体上铌酸锂
色散补偿
群延迟
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职称材料
集成铌酸锂光子器件技术的研究进展
被引量：
4
2
作者
张涛
何杰
+2 位作者
胡少勤
许昕
张玉蕾
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020年第6期837-842,共6页
铌酸锂单晶薄膜(LNOI)具有透光光谱宽,折射率高,二阶非线性高及压电响应大等优点,是一种重要的集成光子学基础材料。LNOI材料具有亚波长尺度的光约束和光电器件的高密度集成能力,能够实现具有更高性能、更低成本的全新器件及应用,给光...
铌酸锂单晶薄膜(LNOI)具有透光光谱宽,折射率高,二阶非线性高及压电响应大等优点,是一种重要的集成光子学基础材料。LNOI材料具有亚波长尺度的光约束和光电器件的高密度集成能力,能够实现具有更高性能、更低成本的全新器件及应用,给光通信和微波光子学带来革命性的变革。该文重点综述了LNOI的制备技术、LNOI电光调制器、LNOI声光调制器和LNOI电光频率梳的最新研究进展,简要讨论了铌酸锂光子器件在制作工艺和系统实现中面临的挑战。
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关键词
绝缘体上铌酸锂
集成光子器件
铌
酸
锂
单晶薄膜(LNOI)电光调制器
铌
酸
锂
单晶薄膜(LNOI)声光调制器
铌
酸
锂
单晶薄膜(LNOI)光学频率梳
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职称材料
基于电感耦合等离子体刻蚀的LNOI脊形微结构制备
被引量：
1
3
作者
吴玉航
杨忠华
+4 位作者
孟雪飞
宋泽乾
刘文
罗文博
张万里
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第2期239-242,共4页
铌酸锂(LiNbO 3,LN)是一种广泛使用的介电材料,由于其电光系数大,透明范围大,本征带宽宽,因而在集成和非线性光学器件中极为重要。但绝缘体上铌酸锂薄膜(LNOI)的化学稳定性好,刻蚀速率慢,其微结构参数难以控制。针对以上问题,该文开展...
铌酸锂(LiNbO 3,LN)是一种广泛使用的介电材料,由于其电光系数大,透明范围大,本征带宽宽,因而在集成和非线性光学器件中极为重要。但绝缘体上铌酸锂薄膜(LNOI)的化学稳定性好,刻蚀速率慢,其微结构参数难以控制。针对以上问题,该文开展了基于电感耦合等离子体刻蚀(ICP-RIE)的LNOI脊形微结构的制备工艺研究,分析了腔室压强、气体总流量及刻蚀功率等参数对刻蚀速率、刻蚀倾角和表面粗糙度(RMS)的影响。研究表明,在优化的工艺条件下,LNOI薄膜的刻蚀速率达到24.9 nm/min,制备出刻蚀深度249 nm、刻蚀倾角76°、表面粗糙度(RMS)0.716 nm的LNOI脊形微结构。该文通过对刻蚀工艺与微观结构参数的研究,建立了基于ICP的LNOI微结构刻蚀方法,为控制LNOI脊形光波导和提升性能提供了工艺支撑。
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关键词
绝缘体上铌酸锂
薄膜(LNOI)
集成光子学
脊形结构
电感耦合等离子体刻蚀
微结构参数
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职称材料
题名
薄膜铌酸锂切趾啁啾光栅研究
1
作者
隆嘉轩
吴侃
蔡明璐
张栩嘉
陈建平
机构
上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第8期80-90,共11页
基金
国家自然科学基金(No.61922056)。
文摘
本文研究了基于薄膜铌酸锂的啁啾光栅性能,采用仿真分析的方法,研究了不同设计参数下,三种光栅切趾方式对称线性切趾、非对称线性切趾和高斯切趾在反射带宽和群延迟色散上的差异。通过最优化设计,在高斯切趾的啁啾光栅下,实现了3 dB带宽21.2 nm、群延迟色散值0.1385 ps/nm的啁啾光栅。本工作将为实现薄膜铌酸锂片上色散补偿和光信号处理奠定基础。
关键词
啁啾光栅
切趾
绝缘体上铌酸锂
色散补偿
群延迟
Keywords
Chirped grating
Apodization
LNOI
Dispersion compensation
Group delay
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
集成铌酸锂光子器件技术的研究进展
被引量：
4
2
作者
张涛
何杰
胡少勤
许昕
张玉蕾
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
中国电子科技集团公司第四十四研究所
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020年第6期837-842,共6页
文摘
铌酸锂单晶薄膜(LNOI)具有透光光谱宽,折射率高,二阶非线性高及压电响应大等优点,是一种重要的集成光子学基础材料。LNOI材料具有亚波长尺度的光约束和光电器件的高密度集成能力,能够实现具有更高性能、更低成本的全新器件及应用,给光通信和微波光子学带来革命性的变革。该文重点综述了LNOI的制备技术、LNOI电光调制器、LNOI声光调制器和LNOI电光频率梳的最新研究进展,简要讨论了铌酸锂光子器件在制作工艺和系统实现中面临的挑战。
关键词
绝缘体上铌酸锂
集成光子器件
铌
酸
锂
单晶薄膜(LNOI)电光调制器
铌
酸
锂
单晶薄膜(LNOI)声光调制器
铌
酸
锂
单晶薄膜(LNOI)光学频率梳
Keywords
lithium niobate(LiNbO3)on insulator(LNOI)
integrated photonic device
LNOI electro-optic modulator
LNOIacousto-opticmodulator
LNOIelectro-opticfrequencycomb
分类号
TM282 [一般工业技术—材料科学与工程]
TN2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于电感耦合等离子体刻蚀的LNOI脊形微结构制备
被引量：
1
3
作者
吴玉航
杨忠华
孟雪飞
宋泽乾
刘文
罗文博
张万里
机构
重庆邮电大学光电工程学院
电子科技大学重庆微电子产业技术研究院
电子科技大学电子科学与工程学院
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第2期239-242,共4页
文摘
铌酸锂(LiNbO 3,LN)是一种广泛使用的介电材料,由于其电光系数大,透明范围大,本征带宽宽,因而在集成和非线性光学器件中极为重要。但绝缘体上铌酸锂薄膜(LNOI)的化学稳定性好,刻蚀速率慢,其微结构参数难以控制。针对以上问题,该文开展了基于电感耦合等离子体刻蚀(ICP-RIE)的LNOI脊形微结构的制备工艺研究,分析了腔室压强、气体总流量及刻蚀功率等参数对刻蚀速率、刻蚀倾角和表面粗糙度(RMS)的影响。研究表明,在优化的工艺条件下,LNOI薄膜的刻蚀速率达到24.9 nm/min,制备出刻蚀深度249 nm、刻蚀倾角76°、表面粗糙度(RMS)0.716 nm的LNOI脊形微结构。该文通过对刻蚀工艺与微观结构参数的研究,建立了基于ICP的LNOI微结构刻蚀方法,为控制LNOI脊形光波导和提升性能提供了工艺支撑。
关键词
绝缘体上铌酸锂
薄膜(LNOI)
集成光子学
脊形结构
电感耦合等离子体刻蚀
微结构参数
Keywords
lithium niobate on insulator(LNOI)
integrated photonics
ridge structure
inductively coupled plasma etching
microstructural parameters
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
薄膜铌酸锂切趾啁啾光栅研究
隆嘉轩
吴侃
蔡明璐
张栩嘉
陈建平
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
集成铌酸锂光子器件技术的研究进展
张涛
何杰
胡少勤
许昕
张玉蕾
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于电感耦合等离子体刻蚀的LNOI脊形微结构制备
吴玉航
杨忠华
孟雪飞
宋泽乾
刘文
罗文博
张万里
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023
1
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职称材料
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