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可调波长半导体激光测量台阶高度方法研究
被引量：
1
1
作者
蒋天罡
李岩
+1 位作者
王昕
张书练
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第7期518-520,共3页
文章在分析台阶高度测量现状和背景的基础上,着重介绍了用半导体激光器实现台阶高度的绝对干涉测量方案,提出以可调谐半导体激光器作为光源,采用可调合成波长链法实现纳米级精度毫米级量程的台阶高度测量,并详细分析了本方案的原理、误差。
关键词
可调合成波长链
台阶高度
可调谐半导体激光器
绝对干涉测量
在线阅读
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职称材料
题名
可调波长半导体激光测量台阶高度方法研究
被引量：
1
1
作者
蒋天罡
李岩
王昕
张书练
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第7期518-520,共3页
文摘
文章在分析台阶高度测量现状和背景的基础上,着重介绍了用半导体激光器实现台阶高度的绝对干涉测量方案,提出以可调谐半导体激光器作为光源,采用可调合成波长链法实现纳米级精度毫米级量程的台阶高度测量,并详细分析了本方案的原理、误差。
关键词
可调合成波长链
台阶高度
可调谐半导体激光器
绝对干涉测量
Keywords
changeable synthetic wavelength chain （CSWC）
step height
tunable diode laser
absolute distance interferometry （ADI）
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
可调波长半导体激光测量台阶高度方法研究
蒋天罡
李岩
王昕
张书练
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
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