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题名临近空间飞行高温真空光纤绝压传感器设计
被引量：1
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作者
张雨彤
江毅
杨水旺
张大有
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机构
北京理工大学光电学院
信息光子技术工业和信息化部重点实验室
包头师范学院物理科学与技术学院
北京振兴计量测试研究所
北京航天计量测试技术研究所
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出处
《火箭推进》
CAS
北大核心
2024年第3期118-123,共6页
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基金
国家自然科学基金(U20B2057)。
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文摘
研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-Perot,FP)腔,可以同时测量温度和绝对压力,通过实时监测温度,对压力测量进行温度补偿,去除温度对压力测量的影响。实验结果表明:900℃内的每个温度点下,密封FP腔的光学腔长随压力线性变化;室温下,压力灵敏度为11.6 nm/kPa,压力灵敏度随温度的上升略微升高,压力测量的分辨率达到86 Pa。
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关键词
光纤压力传感器
非本征法布里-珀罗干涉仪
蓝宝石晶片
绝对压力测量
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Keywords
optical fiber pressure sensors
extrinsic Fabry-Perot interferometer
sapphire wafer
absolute pressure measurement
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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