期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
考虑微加工误差的微机械谐振器/滤波器结构鲁棒设计
被引量：
9
1
作者
杨华
孙蓓蓓
+1 位作者
李普
孙庆鸿
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2005年第1期33-36,共4页
基于结构鲁棒设计思想,针对两个振动自由度的静电梳驱动折叠梁微机械滤波器,在指定耦合梁宽度等 于振子折叠梁宽度的前提下,推导出了两个固有频率对微梁宽度工艺误差的灵敏度模型,得到了对工艺误差不敏感的条 件。并以矩形作为振子...
基于结构鲁棒设计思想,针对两个振动自由度的静电梳驱动折叠梁微机械滤波器,在指定耦合梁宽度等 于振子折叠梁宽度的前提下,推导出了两个固有频率对微梁宽度工艺误差的灵敏度模型,得到了对工艺误差不敏感的条 件。并以矩形作为振子基本形状,提出了振子结构鲁棒设计方法,推导出了折叠梁宽度a0与补偿孔壁厚t、补偿孔数量N 的重要关系。最后,给出了设计实例。得到的相关结论对其它类型的微机械滤波器的设计也有指导意义。
展开更多
关键词
MEMS
谐振器
滤波器
梳状谐振器
结构鲁棒设计
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
考虑微加工误差的微机械谐振器/滤波器结构鲁棒设计
被引量：
9
1
作者
杨华
孙蓓蓓
李普
孙庆鸿
机构
东南大学机械工程系
出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2005年第1期33-36,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(项目批准号:50305002)
文摘
基于结构鲁棒设计思想,针对两个振动自由度的静电梳驱动折叠梁微机械滤波器,在指定耦合梁宽度等 于振子折叠梁宽度的前提下,推导出了两个固有频率对微梁宽度工艺误差的灵敏度模型,得到了对工艺误差不敏感的条 件。并以矩形作为振子基本形状,提出了振子结构鲁棒设计方法,推导出了折叠梁宽度a0与补偿孔壁厚t、补偿孔数量N 的重要关系。最后,给出了设计实例。得到的相关结论对其它类型的微机械滤波器的设计也有指导意义。
关键词
MEMS
谐振器
滤波器
梳状谐振器
结构鲁棒设计
Keywords
Electromechanical filters
Microelectromechanical devices
Vibrations (mechanical)
分类号
TN703 [电子电信—电路与系统]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
考虑微加工误差的微机械谐振器/滤波器结构鲁棒设计
杨华
孙蓓蓓
李普
孙庆鸿
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2005
9
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
