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表面钝化对多晶硅绒面形貌的影响
被引量：
6
1
作者
王坤霞
冯仕猛
+6 位作者
徐华天
单以洪
田嘉彤
黄建华
杨树泉
黄璐
周利荣
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期236-239,共4页
多晶硅表面制绒技术是太阳能光伏产业亟待突破的一个关键技术.本文根据多晶硅强酸制绒的基本原理,提出了表面活性剂钝化多晶硅表面以降低硅原子与酸反应速度从而改善多晶硅绒面形貌的方法.实验研究了不同含量的添加剂对酸液刻蚀多晶硅...
多晶硅表面制绒技术是太阳能光伏产业亟待突破的一个关键技术.本文根据多晶硅强酸制绒的基本原理,提出了表面活性剂钝化多晶硅表面以降低硅原子与酸反应速度从而改善多晶硅绒面形貌的方法.实验研究了不同含量的添加剂对酸液刻蚀多晶硅绒面形貌的影响,用扫描电镜观察对应的绒面结构,用积分反射仪测量其绒面的表面反射率.实验结果表明:加入活性剂后酸液能使多晶硅表面陷阱坑分布更加均匀,并且能有效消除产生漏电流的缺陷性深沟槽,样品表面反射率比较低,其表面反射率降低到21.5%.与传统酸液腐蚀的多晶硅绒面结构相比,陷阱坑密度明显增加,这种方法在多晶硅太阳电池的生产中是有价值的.
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关键词
多晶硅
绒面技术
陷光效应
反射率
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职称材料
题名
表面钝化对多晶硅绒面形貌的影响
被引量：
6
1
作者
王坤霞
冯仕猛
徐华天
单以洪
田嘉彤
黄建华
杨树泉
黄璐
周利荣
机构
上海交通大学物理系
上海交通大学林洋太阳能光伏研发中心
上海航天技术研究院
上海神舟新能源发展有限公司
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期236-239,共4页
基金
上海航天基金(No.GC072003)资助
文摘
多晶硅表面制绒技术是太阳能光伏产业亟待突破的一个关键技术.本文根据多晶硅强酸制绒的基本原理,提出了表面活性剂钝化多晶硅表面以降低硅原子与酸反应速度从而改善多晶硅绒面形貌的方法.实验研究了不同含量的添加剂对酸液刻蚀多晶硅绒面形貌的影响,用扫描电镜观察对应的绒面结构,用积分反射仪测量其绒面的表面反射率.实验结果表明:加入活性剂后酸液能使多晶硅表面陷阱坑分布更加均匀,并且能有效消除产生漏电流的缺陷性深沟槽,样品表面反射率比较低,其表面反射率降低到21.5%.与传统酸液腐蚀的多晶硅绒面结构相比,陷阱坑密度明显增加,这种方法在多晶硅太阳电池的生产中是有价值的.
关键词
多晶硅
绒面技术
陷光效应
反射率
Keywords
Multi-crystalline silicon
Surface etching
Topography
Reflectance
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
表面钝化对多晶硅绒面形貌的影响
王坤霞
冯仕猛
徐华天
单以洪
田嘉彤
黄建华
杨树泉
黄璐
周利荣
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
6
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