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单晶硅太阳电池的分步制绒工艺研究
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作者 曹文学 郭望东 +3 位作者 孙敬红 晏海刚 王慧芳 张绳亮 《太阳能》 2024年第12期84-89,共6页
制绒工艺是单晶硅太阳电池制备过程中的一个重要环节,其对于提升太阳电池的整体电性能至关重要。在工业化大规模生产中,单晶硅太阳电池的制绒工艺主要依托于氢氧化钠溶液体系。该溶液体系巧妙利用了单晶硅不同晶面间显著的腐蚀差异性特... 制绒工艺是单晶硅太阳电池制备过程中的一个重要环节,其对于提升太阳电池的整体电性能至关重要。在工业化大规模生产中,单晶硅太阳电池的制绒工艺主要依托于氢氧化钠溶液体系。该溶液体系巧妙利用了单晶硅不同晶面间显著的腐蚀差异性特点。当与低浓度氢氧化钠溶液接触时,这种腐蚀差异性得以充分发挥,进而驱动单晶硅表面演化出类似“金字塔”结构的微米级绒面形态。提出了不同于常规一步制绒工艺的分步制绒工艺,通过调整制绒槽的连接方式,实现了对绒面的再处理。针对不同制绒工艺对单晶硅片表面参数、微观形貌、膜层厚度及PERC太阳电池电性能的影响进行了对比分析。分析结果显示:1)相较于采用常规制绒工艺,采用分步制绒工艺后,单晶硅片表面的绒面高度、反射率均出现了下降,且出绒率有所提升;2)由分步制绒工艺得到的硅片表面“金字塔”结构较为密集,“金字塔”大小较为均匀,优于常规制绒工艺得到的“金字塔”;3)与采用常规制绒工艺后制备得到的PERC太阳电池相比,采用分步制绒工艺后制备得到的PERC太阳电池在光电转换效率、短路电流、填充因子方面均存在优势。 展开更多
关键词 单晶硅太阳电池 工艺 分步制 绒面优化 电性能
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