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终极钻石盘的晶圆薄化特性研究
1
作者
金旭星
《制造技术与机床》
北大核心
2013年第1期136-140,共5页
提出了晶圆薄化刀具的改进策略,终极钻石盘能减少晶圆薄化过程中的裂痕,可降低刀具的磨耗速度,并分别以加工参数影响实验、切削力与比切削能实验、刀具磨耗实验论证了终极钻石盘的移除机理及薄化特性。
关键词
终极钻石盘
晶圆薄化
切削
裂痕
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职称材料
题名
终极钻石盘的晶圆薄化特性研究
1
作者
金旭星
机构
无锡职业技术学院机械系
出处
《制造技术与机床》
北大核心
2013年第1期136-140,共5页
基金
江苏省高校优秀中青年教师和校长境外研修计划项目(JSE2011930)
文摘
提出了晶圆薄化刀具的改进策略,终极钻石盘能减少晶圆薄化过程中的裂痕,可降低刀具的磨耗速度,并分别以加工参数影响实验、切削力与比切削能实验、刀具磨耗实验论证了终极钻石盘的移除机理及薄化特性。
关键词
终极钻石盘
晶圆薄化
切削
裂痕
Keywords
Ultimate Diamond Disk
Wafer Thinning
Cutting
Crack
分类号
TG73 [金属学及工艺—刀具与模具]
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作者
出处
发文年
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1
终极钻石盘的晶圆薄化特性研究
金旭星
《制造技术与机床》
北大核心
2013
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