-
题名基于频域滤波面形的毫米级束径离子束驻留时间补偿
- 1
-
-
作者
卞萌
胡海翔
唐瓦
季鹏
张学军
-
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造全国重点实验室
-
出处
《光学精密工程》
北大核心
2025年第11期1739-1749,共11页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(No.62127901,No.12103054,No.62405314,No.62305333,No.62375260)
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB3403405)
+4 种基金
中国科学院青年创新促进会(No.2019221,No.Y2023062)
中国科协青年人才托举工程资助项目(No.2022QNRC001)
吉林省青年精英科学家赞助计划(No.QT202222)
长春市科技计划资助项目(No.2024GZZ19)
吉林省科技发展计划资助项目(No.SKL202402021)。
-
文摘
为提升细束径去除函数对空间波长接近其特征尺寸的面形误差的修正能力,开展了毫米级束径离子束加工收敛率分析及优化研究,提出基于多频段面形“贝壳纹”加工程度的修形能力分析方法,通过分析均方根密度的频域分布特性与各频段的收敛率、不同周期面形幅值的加工结果,量化评估细束径去除函数的跨频段误差修正能力。在此基础上通过分析制定加工补偿策略,提出了一种基于频域滤波进行驻留时间补偿的收敛率优化提升方法,提高了可修正频段的收敛率,并通过仿真和实验进行验证。实验结果表明:以加工“贝壳纹”的方式可以实现去除函数多频段面形误差修正能力的高效分析,驻留时间补偿方法可有效提升细束径去除函数可修正频段内的单轮收敛率。针对2 mm半宽去除函数收敛能力发生转折的关键频段(0.186~0.385 mm^(-1)),实际平均收敛率从76.4%提升至91.7%。该方法有助于实现单束径去除函数加工时的全频段误差一致性收敛,适用于高精度光学元件加工。
-
关键词
超精密加工
离子束修形
驻留时间
收敛率
细束径去除函数
修形能力
-
Keywords
ultra-precision fabrication
ion beam figuring
dwell time
convergence rate
small-sized tool influence function
corrective capability
-
分类号
TN305.2
[电子电信—物理电子学]
-
