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复杂微力－电系统的细微尺度力学
被引量：
8
1
作者
余寿文
《力学进展》
EI
CSCD
北大核心
1995年第2期249-259,共11页
现代高新技术的崛起，提出了大量新的经典力学所不能完全包容的力学问题。这将是现代应用力学发展的巨大动力。微电子技术中微电子材料、器件、系统和微电子－机械系统（ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏ－ｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ，...
现代高新技术的崛起，提出了大量新的经典力学所不能完全包容的力学问题。这将是现代应用力学发展的巨大动力。微电子技术中微电子材料、器件、系统和微电子－机械系统（ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏ－ｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ，ＭＥＭＳ）所组成的复杂微力－电系统，是跨世纪发展的新科技方向，本文简要介绍了复杂微力，电系统的工业技术背景和发展；综述了这一领域存在的力学问题，主要讨论细微尺度下的结构力学与破坏力学。并评介与展望了这一新的力学领域的研究状况和发展趋势。
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关键词
微电子
机械系统
细微尺度
结构力学
工程力学
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职称材料
低维度薄膜传热机理与表征
2
作者
蒋迪波
殷明志
+1 位作者
彭焕英
李博
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期121-125,共5页
低维度薄膜传热学是建立在微小器件研究基础上的纳米学科分支之一。综述了细微尺度传热的主要方式,着重介绍了对流换热、热传导、热辐射、相变传热、微重力传热;详细阐述了导热系数的表征方式,包括温度传感器法、光声法、显微拉曼散射...
低维度薄膜传热学是建立在微小器件研究基础上的纳米学科分支之一。综述了细微尺度传热的主要方式,着重介绍了对流换热、热传导、热辐射、相变传热、微重力传热;详细阐述了导热系数的表征方式,包括温度传感器法、光声法、显微拉曼散射法、激光泵浦法、温度探测扫描电镜法、动态热线法。最后,分析与评述了国内外研发应用现状。
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关键词
细微尺度
传热
微纳米
孔隙率
导热系数
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职称材料
题名
复杂微力－电系统的细微尺度力学
被引量：
8
1
作者
余寿文
机构
清华大学
出处
《力学进展》
EI
CSCD
北大核心
1995年第2期249-259,共11页
基金
国家自然科学基金
国家教委博士点基金
文摘
现代高新技术的崛起，提出了大量新的经典力学所不能完全包容的力学问题。这将是现代应用力学发展的巨大动力。微电子技术中微电子材料、器件、系统和微电子－机械系统（ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏ－ｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ，ＭＥＭＳ）所组成的复杂微力－电系统，是跨世纪发展的新科技方向，本文简要介绍了复杂微力，电系统的工业技术背景和发展；综述了这一领域存在的力学问题，主要讨论细微尺度下的结构力学与破坏力学。并评介与展望了这一新的力学领域的研究状况和发展趋势。
关键词
微电子
机械系统
细微尺度
结构力学
工程力学
Keywords
multi-layer micro-structure
microelectrical-mechanical system
meso- and micro-scopic structural mechanics
meso-and micro-scopic failure mechanics
分类号
TB12－39 [理学—工程力学]
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职称材料
题名
低维度薄膜传热机理与表征
2
作者
蒋迪波
殷明志
彭焕英
李博
机构
西北工业大学理学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期121-125,共5页
基金
航天支撑基金(2009XW110001)
文摘
低维度薄膜传热学是建立在微小器件研究基础上的纳米学科分支之一。综述了细微尺度传热的主要方式,着重介绍了对流换热、热传导、热辐射、相变传热、微重力传热;详细阐述了导热系数的表征方式,包括温度传感器法、光声法、显微拉曼散射法、激光泵浦法、温度探测扫描电镜法、动态热线法。最后,分析与评述了国内外研发应用现状。
关键词
细微尺度
传热
微纳米
孔隙率
导热系数
Keywords
micro-scale heat transfer, micro-nano, porosity, thermal conductivity
分类号
TK124 [动力工程及工程热物理—工程热物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
复杂微力－电系统的细微尺度力学
余寿文
《力学进展》
EI
CSCD
北大核心
1995
8
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职称材料
2
低维度薄膜传热机理与表征
蒋迪波
殷明志
彭焕英
李博
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
0
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职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
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