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硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理
被引量：
1
1
作者
邢维巍
樊尚春
《微纳电子技术》
CAS
2007年第7期20-21,24,共3页
为解决硅微机械谐振式压力传感器的微弱信号检测问题,并改善其可靠性和动态响应,提出在传感器原有结构上增加辅助传感器,构成组合敏感原理。利用根据辅助传感器测量结果推算出的谐振频率近似值,可控制带通滤波器的中心频率以改善噪声抑...
为解决硅微机械谐振式压力传感器的微弱信号检测问题,并改善其可靠性和动态响应,提出在传感器原有结构上增加辅助传感器,构成组合敏感原理。利用根据辅助传感器测量结果推算出的谐振频率近似值,可控制带通滤波器的中心频率以改善噪声抑制;可及时判断闭环系统失效;可在闭环系统失效状态下继续部分维持传感器的测量功能。辅助传感器的制造工艺与主传感器兼容,附加成本低。
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关键词
谐振式传感器
微机电系统
闭环系统
组合敏感原理
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职称材料
题名
硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理
被引量：
1
1
作者
邢维巍
樊尚春
机构
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第7期20-21,24,共3页
文摘
为解决硅微机械谐振式压力传感器的微弱信号检测问题,并改善其可靠性和动态响应,提出在传感器原有结构上增加辅助传感器,构成组合敏感原理。利用根据辅助传感器测量结果推算出的谐振频率近似值,可控制带通滤波器的中心频率以改善噪声抑制;可及时判断闭环系统失效;可在闭环系统失效状态下继续部分维持传感器的测量功能。辅助传感器的制造工艺与主传感器兼容,附加成本低。
关键词
谐振式传感器
微机电系统
闭环系统
组合敏感原理
Keywords
resonant sensor
MEMS
closed-loop system
combined sensing principle
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理
邢维巍
樊尚春
《微纳电子技术》
CAS
2007
1
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