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电化学沉积DLC膜及其表征
被引量：
11
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作者
阎兴斌
徐洮
+1 位作者
王博
杨生荣
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期656-659,共4页
采用电化学沉积方法 ,甲醇有机溶剂作碳源 ,在直流电源作用下在单晶硅表面沉积得到碳薄膜。薄膜不溶于苯、丙酮等有机溶剂 ,具有较高的硬度 (16GPa左右 ) ,用AFM、Raman和FTIR分析手段对该薄膜表面形貌和结构进行表征 ,Raman和FTIR结果...
采用电化学沉积方法 ,甲醇有机溶剂作碳源 ,在直流电源作用下在单晶硅表面沉积得到碳薄膜。薄膜不溶于苯、丙酮等有机溶剂 ,具有较高的硬度 (16GPa左右 ) ,用AFM、Raman和FTIR分析手段对该薄膜表面形貌和结构进行表征 ,Raman和FTIR结果表明电化学沉积得到的是含氢的类金刚石碳薄膜。通过研究样品薄膜的XPS和XAES谱图特征 ,进一步证实薄膜是DLC薄膜 ,并用线性插入法估算出样品薄膜中SP3的相对含量为 6 0 % 。
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关键词
电化学沉积
DLC膜
甲醇
单晶硅
硬度
线性插入法
类金刚石碳膜
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职称材料
应用AHP法评价区域卫生事业工作的探讨
被引量：
3
2
作者
林中珉
《中国卫生事业管理》
1995年第5期247-250,共4页
本文应用层次分析综合评价法（ＡＨＰ）综合分析某市９个区县卫生事业工作现况。结果表明，该法系统性强，各项考核指标等级划分细，重点突出，方法简便易行，能客观、合理地评价一个地区的卫生工作水平。
关键词
层次分析
目标树图
权重
线性插入法
综合指数
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职称材料
题名
电化学沉积DLC膜及其表征
被引量：
11
1
作者
阎兴斌
徐洮
王博
杨生荣
机构
中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期656-659,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 (50 0 2 30 0 1 )
文摘
采用电化学沉积方法 ,甲醇有机溶剂作碳源 ,在直流电源作用下在单晶硅表面沉积得到碳薄膜。薄膜不溶于苯、丙酮等有机溶剂 ,具有较高的硬度 (16GPa左右 ) ,用AFM、Raman和FTIR分析手段对该薄膜表面形貌和结构进行表征 ,Raman和FTIR结果表明电化学沉积得到的是含氢的类金刚石碳薄膜。通过研究样品薄膜的XPS和XAES谱图特征 ,进一步证实薄膜是DLC薄膜 ,并用线性插入法估算出样品薄膜中SP3的相对含量为 6 0 % 。
关键词
电化学沉积
DLC膜
甲醇
单晶硅
硬度
线性插入法
类金刚石碳膜
Keywords
electrochemical deposition
DLC
Raman
XAES
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
应用AHP法评价区域卫生事业工作的探讨
被引量：
3
2
作者
林中珉
机构
北京职工医学院
出处
《中国卫生事业管理》
1995年第5期247-250,共4页
文摘
本文应用层次分析综合评价法（ＡＨＰ）综合分析某市９个区县卫生事业工作现况。结果表明，该法系统性强，各项考核指标等级划分细，重点突出，方法简便易行，能客观、合理地评价一个地区的卫生工作水平。
关键词
层次分析
目标树图
权重
线性插入法
综合指数
分类号
R197.32 [医药卫生—卫生事业管理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
电化学沉积DLC膜及其表征
阎兴斌
徐洮
王博
杨生荣
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003
11
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职称材料
2
应用AHP法评价区域卫生事业工作的探讨
林中珉
《中国卫生事业管理》
1995
3
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职称材料
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