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测量线性工作台滚转角误差的多探头法
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作者 韩林 张大卫 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期122-127,共6页
针对线性工作台运动过程中的滚转角误差,提出一种多探头测量方法.与传统的用2个位移传感器和1个具有高平面度的感应物测量滚转角误差的方法相比,所提出的方法利用4个位移传感器,无需高平面度的感应物,更容易实现测量.分析了各项几何误... 针对线性工作台运动过程中的滚转角误差,提出一种多探头测量方法.与传统的用2个位移传感器和1个具有高平面度的感应物测量滚转角误差的方法相比,所提出的方法利用4个位移传感器,无需高平面度的感应物,更容易实现测量.分析了各项几何误差对传感器读数的影响,利用顺序两点法采集传感器信号.根据传感器融合技术,得到滚转角误差的差分表达式;对测量系统进行了灵敏度和仿真分析.仿真和实验结果表明了该测量方法的可行性. 展开更多
关键词 线性工作台 滚转角误差 位移传感器 顺序两点法
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直线导轨平行度误差对工作台运动误差的影响规律
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作者 李海涛 耿瑞霖 +1 位作者 王雅雯 陈敬林 《郑州大学学报(工学版)》 北大核心 2025年第3期118-127,共10页
现有研究多以线性工作台整体为研究对象,只能获得不同误差对一维线性工作台的局部影响规律,无法完全揭示不同类型误差之间的耦合机制,以及对工作台整体运动误差的影响规律。针对这一不足,以双导轨四滑块线性工作台为研究对象,通过动结... 现有研究多以线性工作台整体为研究对象,只能获得不同误差对一维线性工作台的局部影响规律,无法完全揭示不同类型误差之间的耦合机制,以及对工作台整体运动误差的影响规律。针对这一不足,以双导轨四滑块线性工作台为研究对象,通过动结合面刚度等效,求解滑块约束刚度矩阵,进而联合滑块在导轨和工作台双重约束下工作台协调变形以后的位姿状态,建立了一维线性工作台的误差耦合模型。基于误差耦合模型,通过齐次变换将多项平行度误差映射到滑块初始误差上,最终建立导轨安装平行度误差到工作台运动误差的映射模型。基于映射模型,模拟分析了平行度误差对工作台运动误差的影响规律,并通过有限元模拟及实验验证了结果的一致性。实验结果表明:平行度误差映射模型与有限元模型之间的最大误差不超过9.8%,不同类型平行度误差对线性工作台影响程度差异较大,通过降低偏摆和俯仰平行度误差,可以大幅度降低工作台整体误差。所提方法为线性工作台误差补偿和精度设计提供了理论支撑。 展开更多
关键词 线性工作台 平行度误差 误差耦合 映射模型 运动误差
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