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题名线性压电马达驱动系统的摩擦补偿控制研究
被引量：2
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作者
李先峰
高慧斌
郭旭
张军强
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
长光禹辰信息技术与装备(青岛)有限公司
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出处
《电机与控制学报》
EI
CSCD
北大核心
2019年第11期135-142,共8页
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基金
国家重点研发计划(2016YFC0803000)
吉林省科技发展计划重点科技研发项目(20180201012GX)
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文摘
线性压电马达(LPCM)作为执行元件,自身明显的摩擦机理会降低系统跟踪精度,限制了它在光电跟踪领域的应用。为了克服该问题,结合线性压电马达驱动的某光电跟踪转台具体方案,针对马达摩擦驱动的原理进行分析。基于广义的Maxwell滑动(GMS)模型建立系统的摩擦模型,并分别针对滑动阶段和预滑阶段的相关模型进行参数辨识和模型校验。在控制系统中进一步设计引入摩擦前馈补偿环节,通过样机试验结果显示,对于幅值为0. 174 rad、频率为0. 159 Hz的等效正弦引导,在传统控制策略基础上结合采用的摩擦前馈补偿方法,系统位置跟踪均方根(RMS)误差值仅15μrad,相比Coulomb摩擦前馈补偿的控制方法提高了42. 3%,且误差尖峰削弱明显,减少了73. 8%。满足光电跟踪实际应用中对线性压电马达驱动系统的要求。
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关键词
光电跟踪控制
线性压电马达
系统辨识
摩擦补偿
广义Maxwell滑动模型
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Keywords
photonics tracking control
linear piezoelectric ceramic motor
system identification
friction compensation
generalized Maxwell-slip model
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名压电线性马达与纳米马达
被引量：4
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作者
费继承
王庆康
万永中
段智勇
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机构
上海交通大学微纳米院微电子所
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第4期295-298,共4页
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文摘
国外对压电线性马达的研究已经进行了有些年了,并已有较为成熟的应用。它利用压电陶瓷基片或薄膜、电致伸缩材料等功能部件实现驱动,主要特征是能够提供较大的横向输出力,同时,又可能实现超高精度和小位移——毫米级的位移行程和原子级的精度。一般用空载速度、最大推进力、效率及其他一些参数来表征压电线性马达。该文首先介绍几种类型的压电线性马达,包括它们的结构、运行原理和特性等,然后再介绍纳米马达。应该指出,纳米马达是压电线性马达的发展,其特点是能够实现纳米级精度的位移,国外已经在精密仪器、航天航空、自动控制、办公自动化、微型机械系统、微装配、纳米定位等领域得到了实际应用。
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关键词
压电线性马达
纳米马达
驱动器
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Keywords
piezoelectric linear motor
nanomotor
actuator
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分类号
TM253
[一般工业技术—材料科学与工程]
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