期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
线形同轴耦合微波等离子体诊断及硅薄膜制备
被引量：
3
1
作者
李慧
吴爱民
+3 位作者
张文兰
陆文琪
秦福文
董闯
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期423-426,共4页
开发了一种新型线形同轴耦合大面积微波等离子体源,针对该新型等离子体源放电空间等离子密度及分布的不明确性,利用朗缪尔单探针法研究了不同放电参数下该等离子体源等离子体密度及空间分布情况。以微波功率,氢氩总流量(氢氩流量比为3...
开发了一种新型线形同轴耦合大面积微波等离子体源,针对该新型等离子体源放电空间等离子密度及分布的不明确性,利用朗缪尔单探针法研究了不同放电参数下该等离子体源等离子体密度及空间分布情况。以微波功率,氢氩总流量(氢氩流量比为3∶1)和距石英管的距离Z为3个因素设计正交实验探究了宏观放电参量对等离子体参数的影响。测试结果表明该型等离子体源的电子密度均在1010cm-3以上。其次,诊断了在距石英管Z为14 cm处,等离子体参数沿空间水平的分布情况,探究薄膜的最佳沉积区域。最后,根据等离子诊断情况进行硅薄膜的沉积,由XRD结果表明薄膜为多晶结构,拉曼光谱显示沉积硅薄膜晶化率均在92%以上,沉积速率在8 nm/min。
展开更多
关键词
线形同轴耦合微波等离子体
等离子体
诊断
电子密度
多晶硅薄膜
拉曼
XRD
在线阅读
下载PDF
职称材料
线形同轴耦合式微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜
被引量：
13
2
作者
杨志威
陈立民
+4 位作者
耿春雷
唐伟忠
吕反修
苗晋琦
赵中琴
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期432-435,共4页
线形同轴耦合式微波等离子体CVD装置是一种利用微波天线产生轴向分布的等离子体柱的新型微波等离子体CVD装置。由于它产生的等离子体是沿微波天线分布的 ,因而可避免石英管式、石英钟罩式以及不锈钢谐振腔式微波等离子体CVD装置中等离...
线形同轴耦合式微波等离子体CVD装置是一种利用微波天线产生轴向分布的等离子体柱的新型微波等离子体CVD装置。由于它产生的等离子体是沿微波天线分布的 ,因而可避免石英管式、石英钟罩式以及不锈钢谐振腔式微波等离子体CVD装置中等离子体的分布容易受到金属工件位置干扰的缺点。本文将首先讨论线形同轴耦合式微波等离子体CVD装置的工作原理 ,其后介绍利用此装置进行的金刚石薄膜沉积实验的初步结果。实验结果表明 ,利用线形同轴耦合式微波等离子体CVD装置 。
展开更多
关键词
金刚石薄膜
制备方法
线形
同轴
耦合
微波
等离子体
CVD法
化学气相沉积技术
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
线形同轴耦合微波等离子体诊断及硅薄膜制备
被引量：
3
1
作者
李慧
吴爱民
张文兰
陆文琪
秦福文
董闯
机构
大连理工大学材料科学与工程学院
大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室
大连理工大学常州研究院
大连理工大学物理与光电工程学院
出处
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期423-426,共4页
基金
江苏省自然科学基金资助项目(BK2011252)
常州市工业支撑计划资助项目(CE20110012)
+1 种基金
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(DUT13JN08
DUT12JN02)
文摘
开发了一种新型线形同轴耦合大面积微波等离子体源,针对该新型等离子体源放电空间等离子密度及分布的不明确性,利用朗缪尔单探针法研究了不同放电参数下该等离子体源等离子体密度及空间分布情况。以微波功率,氢氩总流量(氢氩流量比为3∶1)和距石英管的距离Z为3个因素设计正交实验探究了宏观放电参量对等离子体参数的影响。测试结果表明该型等离子体源的电子密度均在1010cm-3以上。其次,诊断了在距石英管Z为14 cm处,等离子体参数沿空间水平的分布情况,探究薄膜的最佳沉积区域。最后,根据等离子诊断情况进行硅薄膜的沉积,由XRD结果表明薄膜为多晶结构,拉曼光谱显示沉积硅薄膜晶化率均在92%以上,沉积速率在8 nm/min。
关键词
线形同轴耦合微波等离子体
等离子体
诊断
电子密度
多晶硅薄膜
拉曼
XRD
Keywords
linearly coaxially coupled microwave plasma
plasma diagnosis
electron density
polycrystalline silicon thin films
Raman spectra
X-ray diffraction（XRD）
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
线形同轴耦合式微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜
被引量：
13
2
作者
杨志威
陈立民
耿春雷
唐伟忠
吕反修
苗晋琦
赵中琴
机构
北京科技大学材料科学与工程学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期432-435,共4页
文摘
线形同轴耦合式微波等离子体CVD装置是一种利用微波天线产生轴向分布的等离子体柱的新型微波等离子体CVD装置。由于它产生的等离子体是沿微波天线分布的 ,因而可避免石英管式、石英钟罩式以及不锈钢谐振腔式微波等离子体CVD装置中等离子体的分布容易受到金属工件位置干扰的缺点。本文将首先讨论线形同轴耦合式微波等离子体CVD装置的工作原理 ,其后介绍利用此装置进行的金刚石薄膜沉积实验的初步结果。实验结果表明 ,利用线形同轴耦合式微波等离子体CVD装置 。
关键词
金刚石薄膜
制备方法
线形
同轴
耦合
微波
等离子体
CVD法
化学气相沉积技术
Keywords
linearly coaxially coupled
microwave plasma
CVD
diamond coatings
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
线形同轴耦合微波等离子体诊断及硅薄膜制备
李慧
吴爱民
张文兰
陆文琪
秦福文
董闯
《哈尔滨工程大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
线形同轴耦合式微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜
杨志威
陈立民
耿春雷
唐伟忠
吕反修
苗晋琦
赵中琴
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
13
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
