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STM电压脉冲法纳米超微加工机理的研究
1
作者
姚王非
齐小丁
胡小唐
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1996年第6期601-601,共1页
ＳＴＭ电压脉冲法纳米超微加工机理的研究姚王非①齐小丁②胡小唐②（天津大学分析中心①，天津大学精密仪器工程系②，天津３０）纳米制造是纳米技术的核心，尤其是微细尺寸的加工，ＳＴＭ工作时，针尖与样品间距非常小（一般小于１ｎ...
ＳＴＭ电压脉冲法纳米超微加工机理的研究姚王非①齐小丁②胡小唐②（天津大学分析中心①，天津大学精密仪器工程系②，天津３０）纳米制造是纳米技术的核心，尤其是微细尺寸的加工，ＳＴＭ工作时，针尖与样品间距非常小（一般小于１ｎｍ），在两者之间施加非常小的电压，...
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关键词
纳米超微加工
STM
电压脉冲法
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题名
STM电压脉冲法纳米超微加工机理的研究
1
作者
姚王非
齐小丁
胡小唐
机构
天津大学分析中心
天津大学精密仪器工程系
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1996年第6期601-601,共1页
文摘
ＳＴＭ电压脉冲法纳米超微加工机理的研究姚王非①齐小丁②胡小唐②（天津大学分析中心①，天津大学精密仪器工程系②，天津３０）纳米制造是纳米技术的核心，尤其是微细尺寸的加工，ＳＴＭ工作时，针尖与样品间距非常小（一般小于１ｎｍ），在两者之间施加非常小的电压，...
关键词
纳米超微加工
STM
电压脉冲法
分类号
TN05 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
STM电压脉冲法纳米超微加工机理的研究
姚王非
齐小丁
胡小唐
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1996
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